Fuji errorcode.pdf - 第3527页

<remedy >MWU12i ：请确认子码的内容。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F4D6"> <disp> 影像显示区域的设定控制系统异常（晶圆供料机） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU1…

<img />

</code>

<disp>晶圆平台旋转基准定位点处理数据异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：登录晶圆平台旋转基准定位点失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆平台基准定位点处理控制系统异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆平台基准定位点处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。

・读取失败・处理影像失败・获取影像处理结果失败・显示影像处理结果失败关于具体

内容请参考子码。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆平台基准定位点处理数据异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：登录晶圆平台基准定位点失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>影像显示区域的设定控制系统异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：影像显示区域的设定失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>影像显示区域的设定数据异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>

<img />

</code>

<disp>VP 版本升级控制系统异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：VP 版本升级失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・获取 VP 版

本升级信息失败・获取 VP 版本升级信息失败(VENUS) ・清除 VP 版本升级进度失败・

System 版本升级失败・System＆Venys 版本升级启动失败・Venys 版本升级失败・Venys

版本升级启动失败・版本省极度欣喜的是顶失败・极度错误编码设定失败关于具体内容请

参考子码。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>VP 版本升级数据异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )

</cause>

<img />

</code>

<disp>系统启动控制系统异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：VA 的初始化失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>系统启动数据异常（晶圆供料机）</disp>