Fuji errorcode.pdf - 第3578页
<cause>M WU12i ： MW U 的 Pod changer 下降失败了。 ( 补充编码 )</cau se> <remedy >MWU12i ： (1) 有干渉物 时，请取出干 涉物后重新 进行。 (2) 重新进行也不能 解除时，请具有 维修保养资格 的人员进行 以下确认。 NY042 Pod chang er 上升 OFF 、 NY043 Pod chang er 下降 ON 时，请进行…
<remedy>MWU12i：(1)有干渉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 OFF、
NY041 吸嘴更换器下降 ON
时，请进行调整使：
NX040 吸嘴更换器上升端 OFF、
NX041 吸嘴更换器下降端 ON
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F707">
<disp>Pod changer 上升异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 的 Pod changer 上升失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：(1)有干渉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY042 Pod changer 上升 ON、
NY043 Pod changer 下降 OFF
时，请进行调整使：
NX050 Pod changer 上升端 ON、
NX051 Pod changer 下降端 OFF
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F708">
<disp>Pod changer 下降异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 的 Pod changer 下降失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：(1)有干渉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY042 Pod changer 上升 OFF、
NY043 Pod changer 下降 ON
时，请进行调整使：
NX050 Pod changer 上升端 OFF、
NX051 Pod changer 下降端 ON
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F709">
<disp>除静电装置复位异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F70A">
<disp>除静电装置放电开始异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F70B">
<disp>除静电装置放电停止异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F70C">
<disp>元件料尽显示闩锁 ON 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：元件料尽闩锁 ON 控制时发生超时。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F70D">
<disp>元件料尽显示闩锁 OFF 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：元件料尽闩锁 OFF 控制时发生超时。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F70E">
<disp>紧急停止 SWON 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT：按下了紧急停止 SW。( 补充编码 )</cause>
<remedy>NXT：请解除紧急停止 SW。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F70F">