Fuji errorcode.pdf - 第3631页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：强制结束晶圆生产日志检查。检查结果： Cancel ed 由于没有完成检查，因此请先实施对策检查在重新开始运转。 ( 补充编码 )< /cause> <remedy >MWU12i ： (1) 实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。 (2) 请重新接通电源，实施手动指令的晶圆生产日志…

<disp>检查指令失败</disp>

<cause>MWU12i：未发现检查工具。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请接通电源，重新检查对象晶圆的生产日志。

(2) 执行 1 后仍没有解决问题时，请重装软件。

(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>

<img />

</code>

<disp>检查指令失败</disp>

<cause>MWU12i：由于未检测到检查工具的应答而中断处理。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。

(2)请接通电源并重新检查对象晶圆生产日志。

(3)执行 1、2 后仍没有解决问题时，请重装软件。

(4)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常(晶圆生产日志检查)</disp>

<cause>MWU12i：强制结束晶圆生产日志检查。

检查结果：Canceled

由于没有完成检查，因此请先实施对策检查在重新开始运转。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。

(2)请重新接通电源，实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。

(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>

<img />

</code>

<disp>影像处理对象元件搜索失败(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：以下的影像处理对象的搜索失败了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请从料盘箱中取出发生异常的料槽的托架。(2)请按下[START]按

钮，重新开始运转。显示补充向导画面，请实施更换指令。(3)请再次补充并指定吸取开始

点。如果还是发生异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>发生了裸芯片的吸取错误。（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：发生了裸芯片的吸取错误。重新开始运转后，指定吸取开始位置。吸

取错误的裸芯片在吸取开始位置指定画面上使用红色圆圈显示。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：想要再次对吸取错误的裸芯片进行吸取动作时，指定该裸芯片的开

始位置。</remedy>

<img />

</code>

<disp>发生吸取错误的元件不能重试。（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：因为吸取的位置信息丢失，所以不能将晶圆图的状态变更为吸取错

误。可能是吸取结果不能立即反映到上传的晶圆图内。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生

产时，请在异常解除后重新开始运转。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图状态变更失败。（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：不能变更晶圆图状态。可能是影像处理与吸取结果不能立即反映到上

传的晶圆图内。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生

产时，请在异常解除后重新开始运转。

</remedy>