Fuji errorcode.pdf - 第3604页

<remedy >MWU12i ：１．当正在实行版本升级时，请关闭重复的版本升级操作。２．发生其他错误时，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F77B"> <disp> 版本升级时 SRA M 的数据初始化异常（晶圆供料…

<disp>更新版本与当前版本相同（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：因为当前版本与要更新的版本相同，所以没有必要进行 MWU 的版本

升级。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为要更新的版本当前的应用软件的版本相同，所以没有必要进行

版本升级。</remedy>

<img />

</code>

<disp>版本升级时 APL 版本升级异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在 MWU 的版本升级时，APL 的版本升级失败了。具体的错误信息请

参考补充编码。( 补充编码的子码 1：未启动版本升级程序 2：正在版本升级中 3：基文件

的打开失败 4：基文件的读取失败 5：FC 写入失败 6：基文件的关闭失败 7：安装文件的

大小超出范围 8：文件指标的修复失败 9：adr 文件的打开失败 10：adr 文件的读取失败

11：adr 文件的关闭失败 12：CRC 检验错误 13：进度报告的识别符不正确 )

</cause>

<remedy>MWU12i：１．当正在实行版本升级时，请关闭重复的版本升级操作。２．发

生其他错误时，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>版本升级时 SRAM 的数据初始化异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在 MWU 的版本更新时，数据的初始化失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请先重新打开电源然后再实行。２．如果通过步骤１仍然无法

消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆供应设备的伺服版本升级异常</disp>

<cause>MWU12i：MWU 的版本升级时，伺服的版本升级失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1．请重新接通电源。

2.如果通过步骤 1 仍然无法消除该异常，请收集出错时的跟踪数据并联系本公司的代理点

或售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>用治具量规测定顶起量异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：用治具量规测定顶起量失败了。

子码表示错误的原因。

0:校正未结束

1:在测定中想要用不合适的 Job 测定( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i:子码是 0 的时候，请传送测定专用 Job 开始自动运转。请确认自动校

正值结束在周期循环停止后重新实施治具测定。

子码是 1 的时候，请传送测定专用 Job，进行上述的运转处理之后进行测定。

测定专用 Job 的规定：不能使用 1～4 料槽、最下段料槽测定。或者请用 1 个 Job 只在 1

个料槽上安装治具。</remedy>

<img />

</code>

<disp>校正未结束（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为校正未结束，所以机器不能动作。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请开始自动运转。显示补料画面，请确认自动校正是否结束。此

后，请在周期停止后重新实行校正。</remedy>

<img />

</code>

<disp>由于连接调整工具，所以不能运转机器。</disp>

<cause>NXT-H：由于需通过重启机器更新内容，所以不能继续运转机器。</cause>

<remedy>请关闭机器电源进行重启。</remedy>

<img />

</code>

<disp>可以贴装到子板上的元件不足</disp>

<cause>NXT-H：由于出现元件错误，所以与贴装到子板上的元件同等级的元件出现了不

足。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT-H：1)请补充晶圆(晶圆上的元件必须与贴装到子板上的元件同等级)。