Fuji errorcode.pdf - 第2360页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>[ MWU 固件 (3) ] 现在不使用此错误编码 ( 补充编码 ) < /cause> <remedy > 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司 Support 联系。 </remedy> <img /> </code> <co…

NX032 吸取工作头工作头 1 下降端 OFF

NX034 吸取工作头工作头 2 下降端 OFF

NX036 吸取工作头工作头 3 下降端 OFF

NX038 吸取工作头工作头 4 下降端 OFF

如果上述 I/O 中的一个为 ON 时，为异常。

3．使用 1 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据连同 2 的结

果一起，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

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<disp>晶圆尺寸匹配异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 小于 JOB 中指定的晶圆尺寸的晶圆被安装了。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请确认晶圆的尺寸。</remedy>

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<disp>晶圆供料托架 2D 代码异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 晶圆供料托架的 2D 代码读取失败。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请确认晶圆供料托架的 2D 代码，如果脏了，请擦去。</remedy>