Fuji errorcode.pdf - 第2103页
<code id="8 0008B7D"> <disp> 顶起 速度切换高 度设定异常 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>[ MWU 固件用 数据检查 ] ShapeDa ta-ShapePr ocess-Die-Pressur ePin- SpeedChangeHeig ht 的数据值超出 了 ShapeDat…
<code id="80008B7A">
<disp>Collet 规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 直径[Y]的数据、或者
Pod 直径[Y]超过了 0～999。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 直径[Y]并将 Pod 直径[Y]在 0～999 的范围内。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7B">
<disp>Collet 规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 X
的数据、或者 Pod 定位点读取位置修正 X 超过了-30～30。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 X 并将 Pod 定位点读取位置
修正 X 在-30～30 的范围内。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7C">
<disp>Collet 规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 Y
的数据、或者 Pod 定位点读取位置修正 Y 超过了-30～30。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 Y 并将 Pod 定位点读取位置
修正 Y 在-30～30 的范围内。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7D">
<disp>顶起速度切换高度设定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-
SpeedChangeHeight 的数据值超出了 ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-PushUpHeight
的数据值。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请按照 PushUpHeight ≧ SpeedChangeHeight 这一关系，设定数据值。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7E">
<disp>晶圆尺寸指定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 在元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸的指定中存在问
题。有可能是以下中的一个。
1．被指定了现在使用的 MWU 的类型所不能够生产的尺寸的晶圆托架或晶圆尺寸。
2．晶圆尺寸大于晶圆托架尺寸。晶圆尺寸必须小于或等于晶圆托架尺寸。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请分别确认现在使用的 MWU 的类型、元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸。
MWU 的类型
Machine Configuration - Stage Type
晶圆托架的尺寸
Package Data - Package Information - Pallet Type
晶圆的尺寸
Shape Data - Shape Process - Die - Wafer Size</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7F">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据，与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B80">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据，与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B81">
<disp>晶片供应方法设定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 超出 12.00mm 的（晶片尺寸＞12.00mm）晶片不能直
接供应。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-UseShuttle 的设定变成 Yes 或 Auto。
(Yes:1,Auto:2)</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B82">
<disp>分割影像处理设定异常</disp>