Fuji errorcode.pdf - 第3504页

<disp> 相机连接异常（晶圆供料机） </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：连接了未登录的相机。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：请连接到 MWU12i 晶圆相机 "FJ4000WF" 。临时消息、对应方法在发行 MWU12i 时…

如果晶圆工作头在不能拆除吸嘴的位置，请执行[手动指令]-[Exchange]-[MWU nozzles]。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>VP 版本升级异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：VP 版本升级失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码的子码

0x00000001 表示打开 System 版本升级基文件失败 0x00000002 表示读取 System 版本升级

基文件失败 0x00000003 表示打开 Venus 版本升级基文件失败 0x00000004 表示读取 Venus

版本升级基文件失败。)

</cause>

<remedy>MWU12i：正在讨论对策。临时消息、对应方法在发行 MWU12i 时重新修正。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>影像处理晶片数据登录异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：超出可在 VA 登录的晶片数量。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请保证在用于生产晶片与用于参考晶片的总和不超过 125 的状态下

变更 Job 数据。临时消息、对应方法在发行 MWU12i 时重新修正。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>相机连接异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：连接了未登录的相机。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请连接到 MWU12i 晶圆相机"FJ4000WF"。临时消息、对应方法在发

行 MWU12i 时重新修正。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>相机处理控制系统异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：MWU 相机处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・调试模

式的设定失败・WOI 尺寸(相机登录)失败的具体内容请参考子码。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>相机处理数据异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：MWU 相机登录失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・登录失

败・取消登录失败关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>不良晶片定位点影像处理控制系统异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不良晶片定位点的影像处理失败了。导致异常的原因可能是下述情

况。・读取失败・处理影像失败・获取结果失败・结果显示失败具体内容请参考子码。

( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>不良晶片定位点影像处理数据异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>

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<disp>相机连接检查处理控制系统异常（晶圆供料机）</disp>