Fuji errorcode.pdf - 第570页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT-H ：如果 MWU12i 内未搭载料盘箱或搭载的料盘箱尺寸与料盘箱料站数跟 Job 不符合，则不能开始生产 ( 补充编码子错误编码：应该安装的晶圆尺寸 0x0001 ： 6 英寸 0x0002 ： 8 英寸 0x0003 ： 12 英寸 )</cause> <remedy >NXT-H ：请安装与 Jo…

<cause>NXT-H：由于吸嘴置放台安装不良，所以无法启动生产( 补充编码)。</cause>

<remedy>NXT-H：请正确安装吸嘴置放台。</remedy>

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<disp>基座 CPU 箱温度异常</disp>

<cause>NXT：基座 CPU 箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认基座冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考 NXTⅢ机械

手册中的「7.16 更换冷却风扇」章节）如果冷却风扇工作正常，则请更换 CPU 箱。

</remedy>

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<disp>模组 CPU 箱温度异常</disp>

<cause>NXT：模组 CPU 箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认模组冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考 NXTⅢ机械

手册中的「7.16 更换冷却风扇」章节）另外，请清洁模组内的过滤器（关于详细内容，请

参考 NXTⅢ机械手册中的「5.7.4 模组内过滤器的清扫」章节）如果采取以上措施之后还是

无法消除温度异常，则请更换 CPU 箱。

</remedy>

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<disp>请搭载尺寸与料站数合理的晶圆箱</disp>

<cause>NXT-H：如果 MWU12i 内未搭载料盘箱或搭载的料盘箱尺寸与料盘箱料站数跟

Job 不符合，则不能开始生产( 补充编码子错误编码：应该安装的晶圆尺寸 0x0001：6 英

寸

0x0002：8 英寸

0x0003：12 英寸 )</cause>

<remedy>NXT-H：请安装与 Job 一致的料盘箱

料箱尺寸：请确认 Job 内元件的 Shape Data-Shape Process-Die-Wafer Size 尺寸。

料箱槽：请在 Configuration-Feeder Setup-Feeder Setup 上确认搭载元件的料槽。在使用 13

料槽型料箱时，如果 Job 指定了第 14 以后的料槽也会发生该错误。

补充编码显示合适的晶圆尺寸。</remedy>

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<disp>DX Protector 功能工作</disp>

<cause>通过 DX Protector 的保护动作，停止了轴动作。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请确认机器内部。</remedy>

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<disp>供料器间距离异常检测</disp>

<cause>运转中检测出供料器间的距离有空隙。(补充编码)</cause>

<remedy>请确认供料器间距离是否满足下记条件。不满足下记条件时，请变更供料器配

置。[公差值] 20mm 以下</remedy>

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<disp>加热器温度异常警告</disp>

<cause>NXT：加热器的温度不在正常范围内。可能是加热器未通电，或加热器已到使用

寿命。(补充编码)

</cause>

<remedy>NXT：参考手册也无法解决该问题时，请向 FUJI 咨询。</remedy>

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<disp>加热器断线</disp>

<cause>NXT：加热器断线。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT：参考手册也无法解决该问题时，请向 FUJI 咨询。</remedy>

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<cause>NXT：在基座的 CPU 电路板检测出 PCI 连接异常。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT：请重启机器。

如果经常发生，请更换 CPUBOX。</remedy>

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<cause>NXT：在模组的 CPU 电路板检测出 PCI 连接异常。(补充编码)</cause>