Fuji errorcode.pdf - 第3500页

<remedy >MWU12i ：因为所指定的吸取开始点位置连续出现不良裸芯片或跳过裸芯片，最终结果有可能导致实际吸取开始点与指定的位置发生很大差异。这种情况下，有可能是晶圆图整体发生偏移。请先进行偏移量的确认并重启设备，然后再通过吸取开始点的指定来改变位置。非上述情况时，请收集出错时的追踪数据并联系本公司的售后服务人员。 </remedy> <img /&…

<disp>吸取位置偏移异常（晶圆拾取机）</disp>

<cause>MWU12i：设置的吸取位置与实际吸取位置的差超过公差值。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追踪数据以及吸取时的影像数据并联系本公司的

售后服务人员。

获取追踪数据后重新指定吸取开始位置并重新启动机器。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴测定单元发现高度异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为使用顶起测定单元测定吸嘴测定单元高度的结果是超过了高度公

差值，所以停止了。图 A：吸嘴测定单元图 B：顶起测定单元( 补充编码子错误编码显示

发现的异常状态。1：接触位置过高。・・・可能有异物粘附。2：接触位置过低。・・・

测定单元相互之间接触不良。测定单元的动作不良时也出现此异常。)</cause>

<remedy>MWU12i：子错误编码：1 时 1. 请确认图 A 和图 B 的测定单元的前端是否粘附

有异物。粘附有异物时请进行清扫。子错误编码：2 时 1. 请确认图 A 和图 B 的测定单元的

安装位置是否有偏移。2. 请确认图 B 的测定单元是否固定和动作不良。异物・动作没有问

题时，可能是传感器故障，请取得错误发生时的跟踪数据。动作不良时，因为可能需要更

换部件，请对图示位置拍照。请获取跟踪数据或照片并联系本公司的代理店或售后服务人

员。</remedy>

<img>NXT\EN\NzlPushupMesUnit.gif</img>

</code>

<disp>吸取开始点指定位置偏移异常（晶圆拾取机）</disp>

<cause>MWU12i：实际的吸取开始点位置有可能与指定的吸取开始点位置发生偏移。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为所指定的吸取开始点位置连续出现不良裸芯片或跳过裸芯片，

最终结果有可能导致实际吸取开始点与指定的位置发生很大差异。

这种情况下，有可能是晶圆图整体发生偏移。请先进行偏移量的确认并重启设备，然后再

通过吸取开始点的指定来改变位置。

非上述情况时，请收集出错时的追踪数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴长度异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：检测出吸嘴的长度小于规定长度。( 补充编码子错误编码上显示检测

出异常的吸嘴头号码。

例）00000013

吸嘴头１和３上检测出异常。 )</cause>

<remedy>MWU12i：可能因为吸嘴缺损等导致长度有问题。

・请更换有问题的吸嘴。

・请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>吸嘴长度异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：检测出吸嘴的长度大于规定长度。( 补充编码子错误编码上显示检测

出异常的吸嘴头号码。

例）00000013

吸嘴头１和３上检测出异常。 )</cause>

<remedy>MWU12i：可能吸嘴没有被正常安装，或者吸嘴上有污垢。

・吸嘴有问题时，请进行清扫・更换等。

・请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>晶圆倾斜限制异常(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：通过参考定位点识别了晶圆的倾斜度。结果是倾斜度超出了限制范

围。( 补充编码在子码中会显示检测到异常的站位号。

例) 0x00000012

表示在 12 号站位上检测到了异常。)</cause>

<remedy>MWU12i：请更换晶圆或修改该晶圆的倾斜度。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸取开始点指定位置偏移异常（晶圆拾取机）</disp>

<cause>MWU12i：实际的吸取开始点位置有可能与指定的吸取开始点位置发生偏移。(补

充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：切割宽度可能偏离 Job 中的设定值。请在重新开始运转后的吸取开

始位置指定上修正位置。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>为了跳过 1 行以上的晶圆进行生产而停止了。</disp>

<cause>MWU12i：吸取对象裸芯片不超过 1 行。