Fuji errorcode.pdf - 第3530页

<disp> 晶圆喂料机的 alignment mar k 影像处理异常 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：对 wafer table 的轨道二维码前面的基准定位点（ align ment mark ）进行影像处理时出现失败。异常可能是由以下原因所造成的。・ mark 受污染。・ mark 出现变形。・影…

<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>

<img />

</code>

<disp>分辨率测定定位点处理控制系统异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：处理分辨率测定定位点失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・

读取影像失败・处理影像失败・获取结果失败・显示结果失败关于具体内容请参考子

码。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>分辨率测定定位点处理数据异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：登录分辨率的测定定位点失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

<img />

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<disp>晶圆喂料机的 alignment mark 影像处理异常</disp>

<cause>MWU12i：对 wafer table 的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）进

行影像处理时出现失败。异常可能是由以下原因所造成的。・mark 受污染。・mark 出现

变形。・影像太亮或太暗。・mark 超出扫描区域。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请对 wafer table 的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）

进行查看。如果受到污染，则请进行清扫。・如果影像太亮或太暗，则需要对光源进行调

节。因此，请联系售后服务人员。

</remedy>

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<disp>alignment mark 登录异常</disp>

<cause>MWU12i：alignment mark 登录失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子错误编码。・请重启电源。如果还是发生错误，则有可能

是 MWU 的相机出现了通信异常。请收集发生报错时的跟踪数据并联系售后服务人员。

</remedy>

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<disp>料盘接合片定位点识别错误</disp>

<cause>MWU12i：料盘接合片定位点的影像处理失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认错误影像。因为污垢等影响不能进行识别时，请进行清

扫。影像处理错误的详细内容，请确认子编码内容。</remedy>

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<disp>料盘接合片定位点影像处理数据异常</disp>

<cause>MWU12i：料盘接合片定位点的识别数据的登录失败了。 ( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请重新启动机器进行修正处理。错误的详细内容，请确认子编码内

容。</remedy>

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<disp>晶圆转接器定位点影像处理异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆转接器定位点影像处理失败了。

关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认错误影像。因为污垢等的影响没能识别时请清扫。

关于错误的详细内容，请确认子码的内容。</remedy>

<img />

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<disp>晶圆转接器定位点的数据登录异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆转接器定位点登录处理失败了。可认为是以下原因。

・数据初始化失败