Fuji errorcode.pdf - 第2174页
HolderD ： 4 )< /cause> <remedy >NXT-H ：吸嘴 上可能发生了堵 塞、灰尘黏附、前 端变形等。 或者存在吸取姿势不安 定的可能性 。 【对策】 １．不能使用特定的 Holder 进行吸取时，请清扫或 者更换吸嘴。 ２．不能使用所有的吸 嘴进行稳定 吸取时，请调 整突起高度 等的设定。 </re medy> <img /> </code> <…
３．重新启动也没有解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司
Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F0F">
<disp>晶圆供料单元吸取错误</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H：晶圆供料单元的工作头上发生了吸取错误。( 补充编码 发生异常的晶圆
供料单元的 Holder 号码如下所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )</cause>
<remedy>NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的 Holder 进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F10">
<disp>晶圆供料单元翻转动作时元件落下</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H：晶圆供料单元的工作头在翻转动作中发生了元件落下。( 补充编码 发生
异常的晶圆供料单元的 Holder 号码如下所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )</cause>
<remedy>NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的 Holder 进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F11">
<disp>晶圆供料单元停止时元件落下</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H：晶圆供料单元的工作头在机器停止中发生了元件落下。( 补充编码 发生
异常的晶圆供料单元的 Holder 号码如下所示。
HolderA：1
HolderB：2
HolderC：3
HolderD：4 )</cause>
<remedy>NXT-H：吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
１．不能使用特定的 Holder 进行吸取时，请清扫或者更换吸嘴。
２．不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时，请调整突起高度等的设定。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F12">
<disp>安装了未登录翻转生产工作头</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H：选择了翻转生产的设定，但是安装的工作头不是登录工作头。在没有登
录的工作头上，同时吸取时的吸取率有可能下降而不能开始生产。(补充编码)</cause>
<remedy>NXT-H：继续生产时，请将「Permit use of a head other than the head which is
registered for face-down production」的设置变更为「Allow」。变更设定时，请在调整吸取
后进行生产。或者，请更换为登录工作头。※详细内容请参照晶圆生产运用手册的
「Simultaneous Pickup On Flip」。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F13">
<disp>翻转生产未登录工作头使用许可设定为许可</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H：虽然安装了已登录翻转生产的工作头，但是「翻转生产未登录工作头使
用许可设定」为「许可」。(补充编码)</cause>
<remedy>NXT-H：因为使用了未登录工作头，模组功能设定的「翻转生产未登录工作头
使用许可设定」是「许可」的设定，因为回到了登录工作头的使用，所以请返回到「不许
可」。因为更换了工作头，所以请在调整吸取后进行生产。※详细内容请参照晶圆生产运
用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F14">
<disp>翻转生产专用的工作头未被登录</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H：虽然选择了翻转生产的设定，但是因为在翻转生产用时已经调整的工作
头没有登录到 MWU 中，所以不能开始生产。(补充编码)</cause>
<remedy>NXT-H：继续生产时，请将模组功能设定的「翻转生产未登录工作头使用许可
设定」变更为「许可」。※因为发生了不可同时吸取动作等限制，详细内容请参照晶圆生
产运用手册的「Simultaneous Pickup On Flip」。为了解除限制，需要调整 MWU 和 G04 后
登录组合到机器上，请联系本公司的售后服务人员。</remedy>
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</code>
<code id="80009000">
<disp>内部处理异常</disp>