Fuji errorcode.pdf - 第2152页

</code> <code id="8 0008BF9"> <disp> 指定了尚未对应的顶起模式 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：以 faceup 方式供料时，在外形数据中设置了尚未对应的顶起模式。・不支持 2 段式顶起的降低负载。 [Shape Data]-[…

<img />

</code>

<disp>由于无法以 4 点参考裸芯片补正，以 3 点进行补正。</disp>

<cause>MWU12i：参考裸芯片的配置为以下任意配置，无法以参考 4 点进行补正。改为

以 3 点进行补正。・No.1 与 No.2 的行号码(Y 坐标)相同・No.3 与 No.4 的行号码(Y 坐标)相

同・No.1 与 No.4 的列号码(X 坐标)相同・No.2 与 No.3 的列号码(X 坐标)相同( 补充编

码)</cause>

<remedy>MWU12i：请修改为能以参考 4 点补正进行补正的配置。[Part Data]-[Property]-

[Wafer Direction]中设置为"0deg"以外时以 [Wafer Direction]旋转后的坐标进行检查。

</remedy>

<img />

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<disp>为无法参考补正的配置</disp>

<cause>MWU12i：由于参考裸芯片的配置如下，所以无法参考补正。・3 点以上的参考

裸芯片以直线排列・参考裸芯片为 2 点时，行(Y 坐标)或列(X 坐标)相同( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请修正为可参考补正的配置。</remedy>

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<disp>Multi Block 设定异常</disp>

<cause>MWU12i：当前的设置是无法执行“Multi Block 生产”的设置(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：“Multi Block 生产”需用到晶圆图。请使用 Vendor 或 TemplateMap。

</remedy>

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<disp>指定了尚未对应的顶起模式</disp>

<cause>MWU12i：

以 faceup 方式供料时，在外形数据中设置了尚未对应的顶起模式。

・不支持 2 段式顶起的降低负载。

[Shape Data]-[Shape Process]-[Die]-[PressurePin]-[Two stage push up]de]的

[1st stage parameters]-[Synchronize with pick up] 和 [2nd stage parameters]-[Synchronize with

pick up]中设定了[Center pin]或者[Outside pin]。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：

请将外形数据内的吸取模式改为低负载吸取以外的模式。</remedy>

<img />

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<disp>顶起高度超过 3.00mm。</disp>

<cause>MWU12i：

没有对应超过 3.00mm 的顶起。

[Shape Data]-[Shape Process]-[Die]-[PressurePin]-[Two stage push up]de]的

[1st stage parameters]-[Center pin height]和[2nd stage parameters]-[Center pin height]的设定

值超过 3.00mm。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：

请将外形数据改为中央 PIN 的顶起高度在 3.00mm 以下进行生产。</remedy>

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<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ 吸取器上升端常时监视 ] 系统内发生了处理异常。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

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<disp>吸取器上升端异常检测</disp>

<cause>[ 吸取器上升端常时监视 ] XY 机械手动作中检测到了吸取器上升端 I/O 的 OFF。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请确认吸取器是否落下或者没有下降。

请确认模组内的吸取器是否有干涉。

详细请参照下图的[吸取器上升端异常的故障排除]。</remedy>

<img>NXT\EN\Troubleshooting the Picker Upper Limit Error.gif</img>

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<disp>LCR 补正测定错误</disp>

<cause>LCR 测试仪的开路/短路补正失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请根据使用说明书的预防保养，确认测定电缆是否断开、测定部分的动作有无

异常以及端子上有无异物落下。</remedy>

<img />

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<disp>LCR 补正测定错误</disp>