Fuji errorcode.pdf - 第3589页

3. 提供的警员图表数据有可能是未按照。。。。。。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F753"> <disp> 基文件通信异常（晶圆供料机） </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ： MW U 与 COM…

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>应答数据分析失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：应答数据的分析是失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>发生通信障碍（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：具体内容请参考子码。( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>图表文件模块名异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：该料槽的 Job 的 FeederSetup-PartNumber 与扫描条形码下载的晶圆图

表数据内的 DEVICE 标签页(SEMI 格式时）所指定的信息不一致。

注意）晶圆图表数据的 DEVICE 标签页名根据用户所利用的格式不同而不同。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1．请确认补充的晶圆是否正确。

2.补充的晶圆正确时，请在 FeederSetup-PartNumber 的晶圆图表数据的 DEVICE 标签页上输

入被指定的名称。

3.提供的警员图表数据有可能是未按照。。。。。。</remedy>

<img />

</code>

<disp>基文件通信异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：MWU 与 COMAPI 之间的通信发生了异常。( 补充编码的子码是 OS 所

反馈的错误编码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>

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</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：使用 NULL 指针等( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读取２：

写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：(1) 请重新接通电源。(2)如果采取上述措施后还是无法消除异常，请

收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：文件名超出 128 个字符。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读

取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请缩短文件名。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：设置文件名时使用了禁用的字符( 补充编码字母以及右侧显示的字符

为可以使用字符 !# $ % & - ` \ @ ~ / . _ : 注意：除了文件地址以外禁止使用: 字符。例 ×

A:Readme.txt ○ A:/Readme.txt 具有代表性的禁用文字 + ( ) { } 半角空格子码表示为存取类

型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：如果是使用了晶圆图文件名称所禁用的字符，那么请变更为可使用

的字符。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：没有找到晶圆图表文件。( 补充编码 )</cause>