Fuji errorcode.pdf - 第3490页

<disp> 吸嘴头 4 安装了不明吸嘴（晶圆供料机） </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：在吸嘴头 4 上安装了不明吸嘴。 ( 补充编码 )< /cause> <remedy >MWU12i ：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。 </remedy> <img /> <…

<cause>MWU12i：有可能是吸嘴头 4 的吸嘴脱落了。( 补充编码的子码显示为原来的存

放格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回原来的存放格中。</remedy>

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</code>

<disp>吸嘴头 1 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 1 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

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<disp>吸嘴头 2 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 2 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

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</code>

<disp>吸嘴头 3 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 3 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

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<disp>吸嘴头 4 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 4 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在装有可用吸嘴的吸嘴头。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新按下开始按钮。２．在执行１的操作后仍然不能解除异

常时，请重新开通电源。３．如果执行了１，２的操作后仍然不能恢复正常，请收集发生

错误时跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>自我诊断异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：由于正在吸取元件，因此无法切换到自我诊断模式。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请先实行维修保养指令-更换吸嘴，再废弃元件，然后重新切换到自

我诊断模式。</remedy>

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<disp>吸嘴返回异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴置放台已满吸嘴无法返回。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请取出不使用吸嘴置放台的吸嘴。</remedy>

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<disp>元件带回检测（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：检测出元件带回的现象。( 补充编码的子码代表对象吸嘴头的号码。1:

吸嘴头 1 2:吸嘴头 2 3:吸嘴头 1+吸嘴头 2 4:吸嘴头 3 5:吸嘴头 1+吸嘴头 3 6:吸嘴头 2+吸嘴

头 3 7:吸嘴头 1+吸嘴头 2+吸嘴头 3 8:吸嘴头 4 9:吸嘴头 1+吸嘴头 4 A:吸嘴头 2+吸嘴头 4 B:

吸嘴头 1+吸嘴头 2+吸嘴头 4 C:吸嘴头 3+吸嘴头 4 D:吸嘴头 1+吸嘴头 3+吸嘴头 4 E:吸嘴头

2+吸嘴头 3+吸嘴头 4 F:吸嘴头 1+吸嘴头 2+吸嘴头 3+吸嘴头 4 )

</cause>

<remedy>MWU12i：晶圆工作头内有剩余的元件时，请取出元件。没有剩余元件时，请

检查晶圆工作头的吸嘴是否阻塞。发现问题时请进行调整或更换。</remedy>

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