Fuji errorcode.pdf - 第2129页

－ 请对 Ref.Die P os Info by Waf erMap - Offset Y 在 -18.0 ～ 18.0 的范围 内进行指定。 修正后、请重新传送 Job 进行以上对策后还是发 生异常时， 请确认 Flexa 的版本和机 器软件版本的 组合。 组合不正确时，请联系 本公司的售 后服务人员。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 0…

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<disp>外形数据整合性异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 同一行列位置指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请对每个 Reference 指定不同的行列。
・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Col
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Row
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC2">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 修正量指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
・ Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
－ 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 在 -18.0 ～ 18.0 的范围内进行指定。
－ 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 在 -18.0 ～ 18.0 的范围内进行指定。
・Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
－ 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 在 -18.0 ～ 18.0 的范围内进行指定。
－ 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 在 -18.0 ～ 18.0 的范围内进行指定。
修正后、请重新传送 Job
进行以上对策后还是发生异常时，请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC3">
<disp>外形数据整合性异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 设定在了 Reference 晶片外。( 补充编码 )</cause>
<remedy>ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
・Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2 以内的范围内。
- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2 以内的范围内。
・Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2 以内的范围
内。
- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2 以内的范围
内。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC4">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>定期画像処理功能的有効／无效设定异常( 补充编码 )</cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Process Time Mode 设定
为 ”ON” 或者 ”OFF”。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC5">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>通过时 Reference 参照功能的有効／无效设定异常( 补充编码 )</cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Passage Ref. Die Mode 设
定为 ”ON” 或者 ”OFF”。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时，请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时，请联系本公司的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC6">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Local Reference 名称文字列异常