Fuji errorcode.pdf - 第3496页

<disp> 吸嘴落下异常（晶圆供应装置） </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：吸嘴有无确认时检测到吸嘴落下异常。吸嘴可能掉落在机器内。 ( 补充编码子错误编码的下位 4byte 上显示检测出吸嘴落下的吸嘴头号码。例 1 ）子错误编码： 0x00000001 ・吸嘴头１上检测出吸嘴落下（没有吸 …

<disp>吸嘴更换器上升异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴更换器或者顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认吸嘴更换器下降端(NX041)或者顶起筒更换器下降端

(NX051)是否为关闭状态。２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时

的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆工作头翻转判定传感器异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头向上确认或者向下确认的传感器发生了异常。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认晶圆工作头向上确认(NX020)与晶圆工作台头向下确认(NX021)

是否为同时启动的状态。</remedy>

<img />

</code>

<disp>顶起筒更换器上升异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认顶起筒上升端(NX050)是否是打开状态。２．如果通过步

骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴落下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴落下异常。

吸嘴可能掉落在机器内。 ( 补充编码子错误编码的下位 4byte 上显示检测出吸嘴落下的吸

嘴头号码。

例 1）子错误编码： 0x00000001

・吸嘴头１上检测出吸嘴落下

（没有吸取了元件的吸嘴头）

例 2）子错误编码： 0x00000013

・吸嘴头１上检测出吸嘴落下

・吸嘴头３上检测出吸嘴落下

（没有吸取了元件的吸嘴头）

子错误编码的上位 4byte 上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。

例３）子错误编码： 0x00010001

・吸嘴头１上检测出吸嘴落下

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

例４）子错误编码： 0x00130001

・吸嘴头上检测出吸嘴落下

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

・吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取)

</cause>

<remedy>MWU12i：请取出落下的吸嘴，按照 Job 的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放

台。

请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照 Job 的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放

台。

取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码

时，请确认机器内是否有落下的元件并取出。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>吸嘴错误装填（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴被错误装填了。

・可能吸嘴直接被装填在晶圆工作头上。

・可能吸嘴返回时失败了。( 补充编码子错误编码的下位４byte 上显示错误装填吸嘴的吸

嘴头号码。

例 1）

子错误编码： 0x00000001

・吸嘴头１上检测出吸嘴的错误装填

（没有吸取了元件的吸嘴头）

例 2）

子错误编码： 0x00000013

・吸嘴头１上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头３上检测出吸嘴的错误装填

（没有吸取了元件的吸嘴头）

子错误编码的上位 4byte 上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。

例３）子错误编码： 0x00010002

・吸嘴头２上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取