Fuji errorcode.pdf - 第4299页

<cause> 在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出高于 Job 设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >1) 请将安装在料槽上的元件更换为 Job 中设定的元件。 2 ）请确认晶圆夹环（ Grip ring ）厚度是否与 Job 相一致。 </remedy> <img /> </code> <code id=&…

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</code>

<disp>不能识别料站单元。</disp>

<cause>因无法识别料站单元，无法继续进行处理。( 补充编码无 )</cause>

<remedy>1.安装了料站单元时请执行手动指令的[更换单元]-[更换料站托架]的指令，暂

时拆除料站单元后重新安装后重新开始补料或重新换线。没有安装料站单元时，请先切断

机的器塑料外壳式断路器并进行连接，然后在重新进行元件补充或换线。2.不能解决时，

请获取发生错误时的跟踪数据并与本公司客服中心联系。</remedy>

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</code>

<disp>检测出规格范围外的晶圆或者料盘</disp>

<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出料槽占有的规格范围外的晶圆或者料盘。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>1)在对象料槽的上下存在生产中不使用的晶圆或者料槽时，可能出现高度误检

测。请在取出后再进行生产。

2)可以安装的规格根据料槽而不同，请对应高度变更料槽。

料槽１：6mm 以下

料槽２：16mm 以下

料槽３～：26mm 以下</remedy>

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</code>

<disp>晶圆或者料盘高于 Job 设定</disp>

<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出高于 Job 设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充

编码 )</cause>

<remedy>1)请将安装在料槽上的元件更换为 Job 中设定的元件。

2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与 Job 相一致。</remedy>

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<disp>晶圆或者料盘低于 Job 设定</disp>

<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出低于 Job 设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充

编码 ),NXT,AIMEX,NXT-H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER</cause>

<remedy>1)请将安装在料槽上的元件更换为 Job 中设定的元件。

2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与 Job 相一致。</remedy>

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</code>

<disp>晶圆环尺寸或者晶圆夹环尺寸异常</disp>

<cause>MWU12i：因为 Job 上设定的晶圆夹环内径大于机器上识别的晶圆环内径，机器

异常停止。对象料槽上安装的晶圆出错，或者 Job 的晶圆夹环的设定出错。关于每个晶圆

尺寸的最大值等，请参照「晶圆生产运用手册」。( 补充编

码 ),MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER</cause>

<remedy>MWU12i：安装的晶圆为尺寸合适时，请进行以下变更。

1．因为 Job 的[Package Data] - [Package Information] - [Grip Ring Inside Diameter]过大，请变

更到实际安装的晶圆夹环内径的尺寸。

2．使用晶圆环的特殊接合片时，因为 2D 码上记载的内径值成为最大值，变更１的设定时

请不要超过此尺寸。

3．使用方孔型的晶圆环的特殊接合片时，必须输入此值。不使用晶圆夹环时，请将 Job

的[Package Data] - [Package Information] - [Grip Ring Height]设定为 0。不需要高的吸取面

时，请设定 Job 的[Shape Data] - [Shape Process] - [Die] - [PressurePin] - [Push Up Pot Height

Offset]。</remedy>

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</code>

<disp>邻接子站位料盘状态异常</disp>

<cause>NXTR：在邻接子站位处发生了异常。推测原因如下。1. 邻接子站位处的料盘太

高。2. 在邻接子站位处料盘可能会与吸嘴发生干涉。(补充编码)

</cause>

<remedy>NXTR：1. 如果邻接子站位处的料盘是 Job 中未使用的料盘，则请移除料盘。如

果料盘叠放在一起，则请将料盘的高度降低即移除料盘。2. 如果邻接子站位处的料盘是

Job 中用到的料盘，则请换成其他站位。如果料盘叠放在一起，则请将料盘的高度降低即

移除料盘。

</remedy>

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<disp>内部处理异常( 确认料站的匹配性 )</disp>

<cause>系统内部发生了处理异常。