Fuji errorcode.pdf - 第2373页
</code> <code id="8 0009284"> <disp> 数据 编辑范围外 异常 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>[ MWU 固件 (3) ] 在 MWU 中所编辑的数据 不能反映给机器 。 ( 补充编码 ) < /cause> <remedy > 此错误通常不…
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<code id="80009281">
<disp>测试指令异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 因为没有结束 TY 轴校正，不能执行测试指令。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请按下开始按钮结束元件补充后，按下 SUPPLY COPLT 按钮执行 TY 轴校正。结
束 TY 轴校正后，按下 CYCLE STOP 按钮中断生产，重新执行测试指令。</remedy>
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<code id="80009282">
<disp>测试指令异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 因为没有结束吸着点指定，不能执行测试指令。
( 补充编码 子错误编码意味着料槽号码。 ) </cause>
<remedy>请在指定吸取测试执行对象料槽的吸着点后重新执行吸取测试。</remedy>
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<code id="80009283">
<disp>测试指令异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 因为存在筒夹和晶圆环发生干涉的危险，所以不能实行吸取测
试。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>１．请确认筒夹种类的指定是否有误。
2．请选择比现在选择的晶片更加靠近晶圆中心的晶片后，重新进行吸取测试。</remedy>
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<code id="80009284">
<disp>数据编辑范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 在 MWU 中所编辑的数据不能反映给机器。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>此错误通常不发生。显示该错误时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据
和 JOB，与弊公司 Support 联系。</remedy>
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<code id="80009285">
<disp>料盘托架在 JOB 数据中不存在</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] NXT 要求料盘托架校正，但是在 JOB 数据中没有料盘托架。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪
数据，与弊公司 Support 联系。</remedy>
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<code id="80009286">
<disp>测试指令异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 由于没有完成参考定位点读取，因此不能执行测试指令。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请按下开始按钮，在完成元件补充后，按下 SUPPLY COPLT 按钮，执行参考定
位点读取。
参考定位点读取完成后，请按下 CYCLE STOP 按钮，中断生产，再次执行测试指令。
</remedy>
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<code id="80009287">
<disp>不明顶起销检出</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 筒夹上有可能被安装了多余的顶起销。
( 补充编码 子错误编码表示对象的筒夹号码。 ) </cause>
<remedy>１．请确认筒夹上是否被安装了多余的顶起销销。
２．请确认筒夹上面是否有损伤或污垢。</remedy>
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<code id="80009288">
<disp>通过时 Reference mark 参照异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 的识别失败了。行(列)可能发生偏移。( 补充编码 )</cause>
<remedy>请通过异常发生时补充画面进行以下处理。处理①．请确认晶圆为可以参照
Reference mark 的状态。 ・ 晶圆被固定在结合片中央。 ・ Reference mark 上没有污垢和
缺损。没有问题时，请完成元件补充。请在完成元件补充后的吸取开始点指定画面上，确
认吸取开始晶片有无偏移。发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行 Teaching 后，重新开始
生产。处理①不能解决时请进行以下处理。处理②．请确认 Local Reference 的 Job 设定。
（ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Local Ref. Die Info）通过时使用 Reference
功能时，需要将晶圆上的所有 Reference mark 登录为 Local Reference。为了避免发生异
常，请将晶圆上的 Reference mark 全部登录为 Locak Reference。进行以上对策后还是发生
异常时，请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。组合不正确时，请获取发生错误时
的跟踪数据和从辅助软件取得的影像并联系本公司的售后服务人员。</remedy>
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<code id="80009289">
<disp>生产晶片影像处理结果范围异常（检测出 1 个元件大小的偏移）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT：从复数生产晶片的影像处理结果中，检测到大于一个元件程度的偏移量。