Fuji errorcode.pdf - 第3618页

<img /> </code> <code id="8 000F7B1"> <disp>flip ch ip 传递确认错误 ( 晶圆喂料机 )< /disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：无法确认到 flip chip 是否已传递。 ( 补充编码 )< /cause&gt…

<cause>MWU12i：吸取开始位置超出指定范围。(补充编码子码编码表示现在吸取位置

与吸取范围的位置关系。 (图))</cause>

<remedy>MWU12i：因为在机器重新开始运转后将进行吸取开始位置指定与吸取范围指

定，所以请事先实施以下任意处理。

1. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取开始位置指定到吸取范围内。

2. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取范围指定为能够覆盖吸取开始位置的数值。

</remedy>

<img>NXT\EN\PickupStartPosOutsidePickupRange.gif</img>

</code>

<disp>不能参照旁边的参考裸芯片的参考裸芯片配置。</disp>

<cause>MWU12i：登录在晶圆图表上的参考裸芯片的分配不规律，所以无法参照旁边的

参考裸芯片。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子码「1」： 1.请确认登录在 Job 中的参考裸芯片中最上面的参考裸

芯片的坐标。2.请确认晶圆图表，确认与登录的参考裸芯片相同行、相同列中有参考裸芯

片。行与列中都必须有参考裸芯片。子码「2」： 1.请确认登录在 Job 中的参考裸芯片中

最上面的参考裸芯片的坐标。2.请确认晶圆图表，确认登录的参考裸芯片以及周围 8 个裸

芯片的配置与没有登录到 Job 中的参考裸芯片以及周围 8 个裸芯片的配置没有差异。裸芯

片的配置分为「参考裸芯片」、「参考裸芯片以外」和「晶圆图表外」。配置不同时请在

Job 中登录相同配置的参考裸芯片。3.变更 Job 时请重新传送 Job 并再次进行补充。详细内

容请参照参考运用手册。</remedy>

<img />

</code>

<disp>旁边的参考裸芯片影像处理异常</disp>

<cause>MWU12i：因参照旁边的参考裸芯片时影像处理发生异常而停止。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：补充完成后从可吸取的位置上设定吸取开始点并重新开始运转。

</remedy>

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<disp>flip chip 传递确认错误(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：无法确认到 flip chip 是否已传递。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：将机器调至 ReadyOn 状态并重新开动机器之后异常有可能可以解

除。如果重新开动机器之后还是出错，则请将电源关闭后再重新打开。如果还是发生错

误，则有可能是主机与 MWU 之间出现了通信异常。请收集发生报错时的跟踪数据并联系

售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>不能追踪晶圆图</disp>

<cause>MWU12i：生产时影像处理追踪中吸取开始行的下一行，发生了以下的 1～4 中

的之一的问题。

1.Good Die 与 Good Die 之间有 Good Die 以外的 Die。

2.定期影像处理为 OFF 时，不存在一个 Good Die。

3.定期影像处理为 ON 时，Good Die 或者 Bad Die 一个都不存在。

4.对于 1PP 内的需要吸取的裸芯片的总数，吸取开始行和下一行的裸芯片的总数不足。(补

充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：・生产时使用影像处理追踪功能时，请将吸取开始点设置在不满

1～4 条件的位置。

・晶圆图的裸芯片状态配置不是生产时影像处理追踪功能推荐的配置时，请将[Package

Data]-[Do FollowingVisionProcessing]变更为"No"。

详细内容请参看「晶圆图运用手册」。 </remedy>

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<disp>料盘接合片 2D 码读取异常</disp>

<cause>MWU12i：料盘接合片上的 2D 码读取失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请清扫条形码标签。

・请确认条形码标签是否剥落或者起皱。

・请更换料盘接合片。</remedy>

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<disp>晶圆环的特殊接合片的 2D 码读取异常</disp>

<cause>MWU12i：晶圆环的特殊接合片上 2D 码的读取失败了。( 补充编码空:2D 码的影

像识别失败了。1:2D 码的内容（数值,文字列）超出规格。请重新粘贴贴纸。)</cause>

<remedy>MWU12i：A.使用晶圆环的特殊接合片时请从辅助软件取得影像，并进行以下

确认。不能连续识别时，请更换接合片。・条形码贴纸模糊或者有污垢时，请清洁条形码

贴纸。・条形码贴纸有剥落或者起伏时，请确认粘贴状态。B.不使用晶圆环的特殊接合片

时接合片种类的识别失败了。请确认接合片的接合片识别功能块有无污垢或者破损。不能

连续识别时，请更换接合片。</remedy>

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</code>

<disp>不能读入晶圆条形码过滤器(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：存在超过晶圆条形码过滤器读入范围的数据。