Fuji errorcode.pdf - 第2350页

在预定供应的晶圆元件的往复臂供应中不能够供应与预定不一致的元件。 ( 补充编码 ) < /cause> <remedy > １．请重新按下开始按钮。２．通过 1 的方法不能解除时，请重新接通电源。３．通过 1 ， 2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。 </re medy> <img /> </c…

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<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

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<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 在料盘或者晶圆的直接供应中从模组处接收了晶圆的往复臂供应

指示。

在料盘或者晶圆的直接供应中不能够进行晶圆元件的往复臂供应。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>１．请重新按下开始按钮。

２．通过 1 的方法不能解除时，请重新接通电源。

３．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝

公司 Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 在预定供应的的晶圆元件的往复臂供应中从模组处接收了不同的

元件的供应指示。

在预定供应的晶圆元件的往复臂供应中不能够供应与预定不一致的元件。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>１．请重新按下开始按钮。

２．通过 1 的方法不能解除时，请重新接通电源。

３．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝

公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>基准(Reference)异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 因为基准晶片的指定在１个以下，不能实行基准(Reference)处

理。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请指定基准晶片在 2 个以上。</remedy>

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</code>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 由于相邻晶片与参考晶片为相同的类型，因此不能够进行参考晶

片的判断。