Fuji errorcode.pdf - 第3573页

<remedy >MWU12i ： 1. 请先将 MWU 与机器分离，然后再确认安装面上是否有异物。 2. 如果执行步骤 1 之后异常还是无法消除，则请重新启动机器。 3. 如果执行步骤 2 之后异常还是无法消除，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F69E&q…

<disp>晶圆台前进端异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆台不在前进端。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为晶圆台前进端确认（NX03C）不能 ON，所以不能确认晶圆台在

前进端。</remedy>

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</code>

<disp>平台位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为晶圆供应装置的平台没有下降，所以塔滑块和滑块盖板的联锁不

能解除。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请实行手动指令-料盘箱退避（托架更换位置），下降晶圆台后，重

新开始运转。</remedy>

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</code>

<disp>自我诊断异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：由于正在拉出晶圆而不能切换为自我诊断模式。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请通过维修保养指令-单元退避菜单内实行退避指令，当金元收存到

料箱内后，再重新向自我诊断模式切换。</remedy>

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</code>

<disp>MWU 高度异常（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：MWU 高度测定结果超出规定范围。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请先将 MWU 与机器分离，然后再确认安装面上是否有异物。2.如

果执行步骤 1 之后异常还是无法消除，则请重新启动机器。3.如果执行步骤 2 之后异常还

是无法消除，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>MWU 供料托架厚度測定異常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：供料托架高度测定的测定结果发生了问题。有可能高度测定传感器的

安装处于不适合的状态或者高度测定传感器出现故障。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>料盘接合片定位点读取异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：料盘接合片定位点的读取失败了。请将料盘托盘安装在料盘箱内后重

启运转。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：（１）料盘托盘处于拉出状态时，请根据步骤向导，将晶圆托盘从

料站上拉出后返回到料槽上。

（２）请确认错误影像，确认接合片定位点上是否有污垢或者伤痕。因为污垢等影响不能

进行识别时请进行清扫。

（３）定位点自体没有异常时

（３-１）可能料盘没有被正确安装。安装时请将料盘向料盘箱里面推到底。

之后，请重启运转。

（３-２）料站轨道上有污垢时，可能不能正常拉出。请清扫轨道和料盘托盘。

之后，请重启运转。

（４）进行了以上对策后还是发生异常时，请更换料盘托盘。</remedy>

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</code>

<disp>MWU 托架高度测定异常</disp>

<cause>MWU12i：

可能是托架两边的某一边插入了错误的站位。如果托架两边都插入了同一站位，则有可能

是高度传感器安装不正确或出现了故障。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：

请确认托架两边的某一边是否插入了错误的站位，。如果站位有误，则请先重新装入托

架，然后再重新开始运转。

如果托架两边都插入了同一站位，请确认高度测定传感器的安装情况以及有无故障。

</remedy>

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</code>

<disp>动力 ON 异常（晶圆供应装置）</disp>

<remedy>MWU12i：请按下紧急停止 SW 后，确认料盘箱门、侧面盖罩、Tower slide。

为了查明原因，请确认安全继电器 ON 时必需的 IO。

DX000 安全继电器正常

DX001 料盘箱门关闭确认

DX002 Tower slide 关闭确认

DX003 料盘箱 Light Curtain 确认

DX005 侧面盖罩关闭确认

DX00A 紧急停止 SW 正常</remedy>