Fuji errorcode.pdf - 第3479页
<disp> 有可 能干涉 ( 晶圆 供料装置 )</disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause /> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F350"> <disp> 在晶 圆工作头的 吸嘴头 1 上，从吸取元件 的状态到开始真空破坏…
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F345">
<disp>PR 轴错误(晶圆供料装置)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬
间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>
<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。
【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错
误编码为 22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认
连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F346">
<disp>不能发表 Dam(晶圆供料装置)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：PZR 轴不能发表 Dam ( 补充编码 )</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F348">
<disp>增益切换失败(晶圆供料装置)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：PZR 轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F349">
<disp>有可能干涉(晶圆供料装置)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F350">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 1 上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F351">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 1 上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F360">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 2 上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F361">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 2 上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F370">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 3 上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F371">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 3 上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F380">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 4 上，从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />