2RGXBA020207ElectricalSchematic(AIMEXII) .pdf - 第137页
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３ ２ ９
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
電気回路線図
CIRCUIT DIAGRAM
１８
３
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
ＬＣＲチェッカ
LCR MEASUREMENT
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
９
２
Ａ３６
2RGXYL000101
３ ３ ０
FUJI SECRET
R102
T102
203
105
(A36MT1)
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲメータ
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ ＭＥＴＥＲ
ＡＣ ＰＯＷＥＲ
Ｎ
ＡＣ２００ＶＬ
ＡＣ２００Ｖ
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ測定プローブ
Ｅ
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＰＲＯＢＥ
測定プローブ（固定側）
Ｈｐｏｔ
ＭＡ Ｈ１
ＣＵＲ／ＰＯＴ
ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＰＲＯＢＥ
（ＦＩＸＥＤ ＳＩＤＥ）
ケース
Ｈｃｕｒ
ケース
測定プローブ（可動側）
Ｌｐｏｔ
ＭＡ Ｌ１
ＣＵＲ／ＰＯＴ
ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＰＲＯＢＥ
（ＭＯＶＡＢＬＥ ＳＩＤＥ）
ケース
Ｌｃｕｒ
ケース
ＧＵＡＲＤ
測定台ＢＫＴ部
ＬＡＮ
３ＲＸ＋
６ＲＸ－
１ＴＸ＋
２ＴＸ－
ＭＡ ＬＡＮ ＨＵＢ Ｐｏｒｔ１
４ＧＮＤ
５ＧＮＤ
７ＧＮＤ
８ＧＮＤ
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ダブルロボットＬＣＲ仕様
ＡＷＧ１６
b0X361Gq
b0X361Gq
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４ ２９
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
電気回路線図
CIRCUIT DIAGRAM
１８
４
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
ＬＣＲチェッカ
LCR MEASUREMENT
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
３
９
Ａ３６
2RGXYL000101
４ ３０
FUJI SECRET
AGB
AGB
AGB
AGB
AGB
A+24VB3
A+24VB3
A+24VB3
A+24VB3
X410
A+24VB3
A+24VB3
X408
X409
X400
X40A
X40B
A+24VB3
A+24VB3
AGB
AGB
X401
X412
Ｉ
Ｏ
X408
Ｉ
Ｏ
X409
Ｉ
Ｏ
X400
Ｉ
Ｏ
X410
(36LS1)
SQ1/36
(36LS2)
SQ2/36
(36LS3)
SQ3/36
Ｉ
Ｏ
X40A
Ｉ
Ｏ
X40B
Ｉ
Ｏ
X401
(36LS4)
ＳＱ４／３６
Ｉ
Ｏ
X411
Ｉ
Ｏ
X412
Ｉ
Ｏ
X413
１ １
MA42PCB21
AP21/MA42
MA42PCB21
AP21/MA42
ＣＮＢ
－１１
青 ＢＬＵ
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＬＣＲプローブ原位置確認
ＣＮＢ
ＣＮＢ
MA SIDE1
LCR MEASUREMENT PROBE
ORIGIN POSITION CHECK
－７
－９
茶 ＢＲＷ
白 ＷＨＴ
ＣＮＢ
－１２
青 ＢＬＵ
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＬＣＲ測定台原位置確認
ＣＮＢ
ＣＮＢ
MA SIDE1
LCR MEASUREMENT STAND
ORIGIN POSITION CHECKER OK
－８
－１０
茶 ＢＲＷ
ＣＮＢ
－６
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＬＣＲ測定台着座確認
ＣＮＢ
ＣＮＢ
MA SIDE1
LCR MEASUREMENT
STAND SET CHECK
－２
－４
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＬＣＲ測定台有確認
MA SIDE1 LCR
MEASUREMENT PRESET CHECK
ＣＮＣ
ＣＮＣ
－２
－３
白 ＷＨＴ
青
ＢＲＷ
黒
ＢＬＵ
ＢＬＫ
茶
ＣＮＤ
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ用
ＮＧパーツ廃棄BOX着座確認
－７
MA SIDE1 PARTS
EJECT BOX SET CHECK(LCR)
ＣＮＤ
ＣＮＤ
－３
－５
ＣＮＤ
予備
（ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＬＣＲ微小ﾊﾟｰﾂ吸着確認)
－８
ＣＮＤ
ＣＮＤ
－４
－６
予備
RESERVED
予約（ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ
測定ﾌﾟﾛｰﾌﾞＴＹＰＥ２）
(RESERVED)MA SIDE1 LCR
MEASUREMENT PROBE TYPE2
ＣＮＣ
－４
－１２
ＣＮＤ
－１４
ＣＮＤ
ＣＮＤ
－１０
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ測定
ﾌﾟﾛｰﾌﾞＴＹＰＥ１，ＯＰ混載仕様
MA SIDE1 LCR MEASUREMENT
PROBE TYPE1,
THE OP MIXED LOADING SPEC.
ＣＮＣ
－５
ＣＮＣ
予約（ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ測定
ﾌﾟﾛｰﾌﾞＴＹＰＥ２，ＯＰ混載仕様）
－６
(RESERVED)MA SIDE1 LCR
MEASUREMENT PROBE TYPE2,
THE OP MIXED LOADING SPEC.
ＳＨＯＲＴ
ＯＰＴＩＯＮ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＫＴ
オプションリモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ
３
２
１
６
５
４
９
８
７
Ｓ１ＬＣＲ ＣＮ１
オプションリモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ
ＯＰＴＩＯＮ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＫＴ
３
２
１
３６ＣＮ３
Ｓ１ＬＣＲ ＣＮ２
２
１
５
４
３
８
７
６
３６ＣＮ５
３
２
１
６
５
４
※
※：ＬＣＲチェッカー単体搭載時は接続しません。
ＳＨＯＲＴ
３６ＣＮ２
３
２
１
６
５
４
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ダブルロボットＬＣＲ仕様
２１
（RESERVED）
MA SIDE1 LCR MICRO PARTS
ADSORPTION CONFIRMATION
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
制御基板 制御基板
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
b0X361Gq
b0X361Gq
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ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
電気回路線図
CIRCUIT DIAGRAM
１８
５
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
ＬＣＲチェッカ
LCR MEASUREMENT
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
９
４
Ａ３６
2RGXYL000101
５ ３ ０
FUJI SECRET
A+24VB3
Y409
AGB
Y408
Y40A
Y40B
Y400
Ｉ
Ｏ
Y408
Ｉ
Ｏ
Y409
Ｉ
Ｏ
Y40A
Ｉ
Ｏ
Y40B
Ｉ
Ｏ
Y400
ｐ
36SOL2
YV2/36
ｐ
36SOL1
YV1/36
１
MA42PCB21
AP21/MA42
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ測定プローブ前進
ＣＮＢ
ＣＮＢ
MA SIDE1 LCR MEASUREMENT PROBE
FORWARD
－１３
－１５
ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ測定台後退
MA SIDE1 LCR MEASUREMENT STAND
BACKWARD
予備
（ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＬＣＲ微小ﾊﾟｰﾂﾊﾞｷｭｰﾑＯＮ）
（RESERVED）
MA SIDE1 LCR
MICRO PARTS VACUUM ON
予備
（ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＬＣＲ微小ﾊﾟｰﾂﾊﾞｷｭｰﾑＯＦＦ）
（RESERVED）
MA SIDE1 LCR
MICRO PARTS VACUUM OFF
－１４
ＣＮＢ
ＣＮＢ
－１６
－１７
ＣＮＢ
ＣＮＢ
－１９
－１８
ＣＮＢ
ＣＮＢ
－２０
ＣＮＢ
－３
ＣＮＢ
－５
予備
RESERVED
ＯＰＴＩＯＮ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＫＴ
オプションリモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ
Ｓ１ＬＣＲ ＣＮ１
１０
１１
１２
１３
１４
１５
１６
１７
６
７
８
５
３６ＣＮ４
４
３
２
１
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ダブルロボットＬＣＲ仕様
赤 ＲＥＤ
黒 ＢＬＫ
赤 ＲＥＤ
黒 ＢＬＫ
３
４
Ｓ１ＬＣＲ ＣＮ３
制御基板
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
b0X361Gq
b0X361Gq
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