2RGXBA020207ElectricalSchematic(AIMEXII) .pdf - 第273页
ＮＡＭＥ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. 機関接続図 CONNECTION DIAGRAM 2 RGX BA 00 68 05 プレースヘッド PLACE HEAD ＴＹＰＥ ＡＩＭＥＸⅡ ５ １ ７９ FUJI SECRET 56 72 72 72 リニアスケール制御基 板 リモートＩ／Ｏ基板 Ｒ Ｅ Ｍ Ｏ Ｔ Ｅ Ｉ ／ Ｏ Ｂ Ｏ Ａ Ｒ Ｄ Ｌ Ｉ Ｎ Ｅ Ａ Ｒ Ｓ Ｃ Ａ Ｌ Ｅ Ｃ Ｏ Ｎ Ｔ Ｒ Ｏ Ｌ Ｂ…
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXBA006805
ＳＹＮＱＮＥＴ
SYNQNET
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
５０
７９
FUJI SECRET
モジュールＡ モジュールＢ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＭＯＤＵＬＥ Ｂ
コントロールＢＯＸ
モジュールＣＰＵ ＢＯＸ
コントロールＢＯＸ モジュールＣＰＵ ＢＯＸ
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ ＢＯＸ
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ ＢＯＸ
サーボ基板
サーボ基板
インターフェース基板
インターフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＳＥＲＶＯ ＢＯＡＲＤ
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ＳＥＲＶＯ ＢＯＡＲＤ
ＡＣＮ１５ Ｉ／Ｏ ＢＣＮ１５
Ｉ／Ｏ
Ｉ／Ｆ
ＡＣＮ１５
ＭＡ ＣＰＵ２
ＳＥＲＶＯ Ｉ／Ｏ
Ｉ／Ｆ
ＢＣＮ１５
ＭＢ ＣＰＵ２
ＳＥＲＶＯ Ｉ／Ｏ
Ｙ２軸サーボアンプ Ｙ２軸サーボアンプ
Ｙ２ ＡＸＩＳ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ Ｙ２ ＡＸＩＳ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
２ＥＧＭＢＡ０３１６＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０３１７＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０５７５＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０５７６＊＊
ＯＵＴ
ＣＮ６Ａ
ＩＮ
ＣＮ６Ｂ
ＯＵＴ
ＯＵＴ
ＣＮ６Ａ
ＩＮ
ＣＮ６Ｂ
ＯＵＴ
ＭＡ Ｙ２ＳＡ
ＣＮ６Ａ
ＭＡ Ｙ２ＳＡ
ＣＮ６Ｂ
ＭＡ ＣＰＵ２
ＳＥＲＶＯ ＯＵＴ
ＭＢ Ｙ２ＳＡ
ＣＮ６Ａ
ＭＢ Ｙ２ＳＡ
ＣＮ６Ｂ
ＭＢ ＣＰＵ２
ＳＥＲＶＯ ＯＵＴ
ＭＡ Ｙ２ＳＡ ＭＢ Ｙ２ＳＡ
一体型サーボアンプ 一体型サーボアンプ
ＵＮＩＴＥＤ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ ＵＮＩＴＥＤ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
２ＥＧＭＢＡ０２２２＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０２３２＊＊
ＣＮ３Ｂ
ＩＮ
ＣＮ３Ａ
ＯＵＴ
ＩＮ
ＣＮ３Ｂ
ＩＮ
ＣＮ３Ａ
ＯＵＴ
ＩＮ
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ２ ＩＮ
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ２ ＯＵＴ
ＭＡ ＣＰＵ２
ＳＥＲＶＯ ＩＮ
ＭＢ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ２ ＩＮ
ＭＢ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ２ ＯＵＴ
ＭＢ ＣＰＵ２
ＳＥＲＶＯ ＩＮ
ＭＡ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ２ ＭＢ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ２
ＰＣＢ７ ＰＣＢ７
ＭＡ ＣＰＵ２ ＭＢ ＣＰＵ２
ＭＡ ２ロボット仕様 ＭＢ ２ロボット仕様
ＭＡ ２ＲＯＢＯＴ Ｓｐｃ． ＭＢ ２ＲＯＢＯＴ Ｓｐｃ．
モジュールＣＰＵ ＢＯＸ モジュールＣＰＵ ＢＯＸ
ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ ＢＯＸ ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ ＢＯＸ
サーボ基板 サーボ基板
ＳＥＲＶＯ ＢＯＡＲＤ ＳＥＲＶＯ ＢＯＡＲＤ
ＡＣＮ１４ Ｉ／Ｏ ＢＣＮ１４ Ｉ／Ｏ
Ｉ／Ｆ
ＡＣＮ１４
ＭＡ ＣＰＵ１
ＳＥＲＶＯ Ｉ／Ｏ
Ｉ／Ｆ
ＢＣＮ１４
ＭＢ ＣＰＵ１
ＳＥＲＶＯ Ｉ／Ｏ
Ｙ１軸サーボアンプ Ｙ１軸サーボアンプ
Ｍ１ＰＣＢ１ Ｍ１ＰＣＢ１
Ｙ１ ＡＸＩＳ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ Ｙ１ ＡＸＩＳ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
２ＥＧＭＢＡ０４８８＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０４８７＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０１５６＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０１５５＊＊
ＯＵＴ
ＣＮ６Ａ
ＩＮ
ＣＮ６Ｂ
ＯＵＴ
ＯＵＴ
ＣＮ６Ａ
ＩＮ
ＣＮ６Ｂ
ＯＵＴ
ＭＡ Ｙ１ＳＡ
ＣＮ６Ａ
ＭＡ Ｙ１ＳＡ
ＣＮ６Ｂ
ＭＡ ＣＰＵ１
ＳＥＲＶＯ ＯＵＴ
ＭＢ Ｙ１ＳＡ
ＣＮ６Ａ
ＭＢ Ｙ１ＳＡ
ＣＮ６Ｂ
ＭＢ ＣＰＵ１
ＳＥＲＶＯ ＯＵＴ
ＭＡ Ｙ１ＳＡ ＭＢ Ｙ１ＳＡ
一体型サーボアンプ
一体型サーボアンプ
ＵＮＩＴＥＤ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
ＵＮＩＴＥＤ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
２ＥＧＭＢＡ０１３５＊＊
２ＥＧＸＢＡ０２１８＊＊
ＣＮ３Ｂ
ＩＮ
ＣＮ３Ａ
ＯＵＴ
ＩＮ
ＣＮ３Ｂ
ＩＮ
ＣＮ３Ａ
ＯＵＴ
ＩＮ
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ ＩＮ
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ ＯＵＴ
ＭＡ ＣＰＵ１
ＳＥＲＶＯ ＩＮ
ＭＢ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ ＩＮ
ＭＢ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ ＯＵＴ
ＭＢ ＣＰＵ１
ＳＥＲＶＯ ＩＮ
ＭＡ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ１
ＭＢ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ１
ＰＣＢ７
ＰＣＢ７
ＭＡ ＣＰＵ１
ＭＢ ＣＰＵ１
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
２ＥＧＭＢＡ０２２１＊＊
２ＥＧＭＢＡ０１３２＊＊
２ＥＧＭＢＡ０５４４＊＊
２ＥＧＭＢＡ０４９９＊＊
b0X361Gq
b0X361Gq
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ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXBA006805
プレースヘッド
PLACE HEAD
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
５１
７９
FUJI SECRET
56
72
72
72
リニアスケール制御基板
リモートＩ／Ｏ基板
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ
ＬＩＮＥＡＲ ＳＣＡＬＥ
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
Ｙ２平型ケーブル
Ｙ２ ＦＬＡＴ ＣＡＢＬＥ
ＦＡＮ１
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ８
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ８
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＦＡＮ１，２
２ＥＧＭＢＡ０５４８＊＊
ＲＨ６２９１＊
２ＥＧＭＢＡ０５９５＊＊ ２ＡＧＸＳＡ００２１＊＊
Ｙ軸モータ冷却ファン１
ＣＮ３
ＣＮ１
Ｙ ＡＸＩＳ ＭＯＴＯＲ
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ １
ＭＡ Ｒ１
ＣＮ３
ＭＡ ＳＣＡＬＥ
ＰＣＢ１ ＣＮ１
ＦＡＮ２
Ａ２ＰＣＢ１１
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ８
ＣＮ６
２ＥＧＭＢＡ０３３９＊＊
Ｙ軸モータ冷却ファン２
Ｙ ＡＸＩＳ ＭＯＴＯＲ
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ ２
ＭＡ １ロボット仕様
コントロールＢＯＸ
ＭＡ １ＲＯＢＯＴ Ｓｐｃ．
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＭＡ ＳＣＡＬＥ
ＰＣＢ１ ＣＮ６
ＦＡＮ３
インターフェース基板
リモートＩ／Ｏ基板
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＦＡＮ３，４
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ
２ＡＧＸＳＡ００２２＊＊
Ｙ軸モータ冷却ファン３
Ａ１２ＰＣＢ１
Ｙ ＡＸＩＳ ＭＯＴＯＲ
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ ３
ＦＡＮ４
ＣＮ３
ＣＮ２７
ＭＢ Ｒ１
ＣＮ３
Ｙ軸モータ冷却ファン４
Ｙ ＡＸＩＳ ＭＯＴＯＲ
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ ４
Ｉ／Ｆ
ＣＮ２７
ＭＢ
Ｙ１ＣＮ８
ＭＢ
Ｙ１ＣＮ８
Ｂ２ＰＣＢ１１
Ｍ１ＰＣＢ１
Ｙモータ温度確認１
Ｒ１
Ｙ ＡＸＩＳ ＴＥＭＰＥＲＡＴＵＲＥ
ＣＨＥＣＫ １
ＭＢ
Ｙ１ＣＮ８
２ＥＧＭＢＡ０３４６＊＊
Ｙ１軸サーボアンプ
ＭＢ １ロボット仕様
Ｙ１ ＡＸＩＳ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
Ｙモータ温度確認２
Ｒ２
Ｙ ＡＸＩＳ ＴＥＭＰＥＲＡＴＵＲＥ
ＣＨＥＣＫ ２
ＭＢ １ＲＯＢＯＴ Ｓｐｃ．
ＭＡ
Ｙ１ ＳＣＡＬＥ
ＲＨ６２９５＊
Ｙ１軸リニアスケール
ＣＮ２ ＭＡ １２ＬＳＩ１
Ｙ１ ＡＸＩＳ ＬＩＮＥＡＲ ＳＣＡＬＥ
ＭＡ Ｙ１ＳＡ
ＣＮ２
フェライトコア
ＭＡ １２Ｍ１
ＦＥＲＲＩＴＥ ＣＯＲＥ
ＭＡ
１２Ｍ１
２ＥＧＭＢＡ００９１＊＊
Ｙ１軸リニアモーター
Ｕ，Ｖ
Ｗ
Ｍ
Ｙ１ ＡＸＩＳ ＬＩＮＥＡＲ ＭＯＴＯＲ
Ｈ３０１９Ｅ
ＴＡＫＥＵＣＨＩ
ＳＦＴ７２－ＳＮＬＣＢ－０２６Ｋ
２ＡＧＸＳＡ００１１＊＊
２ＥＧＭＢＡ０５９０＊＊
Ｙ軸回生抵抗
Ｂ１，Ｂ２ Ｒ
Ｙ ＡＸＩＳ
ＲＥＳＩＳＴＯＲ
ＭＡ Ｙ１ＳＡ
一体型サーボアンプ
ＵＮＩＴＥＤ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
Ｙ１平型ケーブル
Ｙ１ ＦＬＡＴ ＣＡＢＬＥ
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ１０
２ＥＧＭＢＡ０４８４＊＊ ＲＨ６２７５＊
ＰＧＸ
１１ＳＡ
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ １１ＳＡ
Ｘ１軸サーボモータ
Ｘ１ ＡＸＩＳ ＭＯＴＯＲ
ＢＡＣＫＵＰ
ＢＡＴ
ＭＡ Ｘ１
－ＢＡＴ
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ９
２ＥＧＭＢＡ０４８３＊＊ ＲＨ６２７３＊
ＴＢ
ＭＡ １１Ｍ１
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ ＴＢ
２ＡＧＸＳＡ０００７＊＊
前側（ＳＩＤＥ１）
ＭＡ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ１
ＦＲＯＮＴ ＳＩＤＥ（ＳＩＤＥ１）
ＭＡ ２ロボット仕様
ＭＡ ２ＲＯＢＯＴ Ｓｐｃ．
モジュールＡ
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
ＭＯＤＵＬＥ Ａ
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
ＭＢ １ＲＯＢＯＴ Ｓｐｃ．
ＭＢ ２ロボット仕様
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＦＡＮ１，２
オプション（コプラナリティ仕様）
ＯＰＴＩＯＮ（ＣＯＰＲＡＮＡＬＩＴＹ Ｓｐｃ．）
オプション（コプラナリティ仕様）
ＯＰＴＩＯＮ（ＣＯＰＲＡＮＡＬＩＴＹ Ｓｐｃ．）
ＭＡ ＳＩＤＥ１
ＦＡＮ３，４
ＯＰＴＩＯＮ（ＣＯＰＲＡＮＡＬＩＴＹ Ｓｐｃ．）
オプション（コプラナリティ仕様）
b0X361Gq
b0X361Gq
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ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXBA006805
プレースヘッド
PLACE HEAD
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
５２
７９
FUJI SECRET
22
55
55
18
モジュールＡ ２ロボット仕様
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ２ＲＯＢＯＴ Ｓｐｃ．
Ｙ１平型ケーブル Ｘ１平型ケーブル
Ｙ１ ＦＬＡＴ ＣＡＢＬＥ Ｘ１ ＦＬＡＴ ＣＡＢＬＥ
ＭＡ ＭＡＲＫ
ＣＡＭＥＲＡ１
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ２
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ２
ＲＨ６２７９＊ ＲＨ６２９９＊
マークカメラ
ＴＲＩＧ
モジュールＣＰＵ ＢＯＸ
ＭＡＲＫ ＣＡＭＥＲＡ
ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ ＢＯＸ
リピーター
ＲＥＰＥＡＴＥＲ
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ１
ＲＨ６２７７＊ ＲＨ６２９７＊
ＣＨ２ ＣＡＭＥＲＡ
画像基板
フェライトコア
ＭＡ
ＲＥＰＥＡＴＥＲ１
ＣＨ２
ＶＩＳＩＯＮ ＢＯＡＲＤ
ＦＥＲＲＩＴＥ ＣＯＲＥ
マークカメラ光源
２ＥＧＭＢＡ０５９９＊＊
ＨＥＡＤ ＣＨ１ ＬＥＤ
ＭＡ ＣＰＵ１
ＨＥＡＤ
ＸＨ００８１０
ＳＥＩＷＡ
Ｅ０４ＳＲ３０１３３４
ＭＡ
ＲＥＰＥＡＴＥＲ１
ＣＨ１
ＭＡＲＫ
ＬＥＤ
ＭＡＲＫ ＣＡＭＥＲＡ
ＬＡＭＰ
ＰＣＢ５ Ａ１４ＭＣＬ１
フェライトコア
ＣＨ３
ＦＥＲＲＩＴＥ ＣＯＲＥ
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ３
ＭＡ
ＲＥＰＥＡＴＥＲ１
ＣＨ３
ＲＨ６２８１＊ ＲＨ６３０１＊
ＭＡ ＣＰＵ１ ＭＡ ＲＥＰＥＡＴＥＲ１
ＸＨ００８１０
ＳＥＩＷＡ
Ｅ０４ＳＲ３０１３３４
２ＡＧＸＳＡ０００７＊＊
ＨＥＡＤ ＣＡＭ
ヘッド接続確認１
ＭＡ １４ＬＳ１２
ＨＥＡＤ ＣＯＮＮＥＣＴＩＯＮ
ＣＨＥＣＫ １
ＣＮ－Ｈ３
２ＥＧＸＳＡ００２９＊＊
Ｙ２平型ケーブル
Ｙ２ ＦＬＡＴ ＣＡＢＬＥ
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ４
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ４
ＲＨ６２８３＊
ヘッド
ＨＥＡＤ
一体型サーボアンプ
ＣＮ－Ｈ２
ＵＮＩＴＥＤ ＳＥＲＶＯ ＡＭＰ
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ５
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ５
２ＥＧＭＢＡ０４８９＊＊ ＲＨ６２８５＊
ＰＧ２
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ ＰＧ２
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ６
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ６ ＣＮ－Ｈ１
２ＥＧＸＢＡ０１０１＊＊ ２ＥＧＸＳＡ００２１＊＊ ２ＥＧＸＳＡ０００１＊＊
Ｍ２
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ Ｍ２
ＭＡ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ１
２ＡＧＸＳＡ００１５＊＊
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ７
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ７
ＲＨ６２８９＊ ２ＡＧＸＳＡ００２７＊＊
Ｙ軸インターロック確認
ＭＡ １２ＬＳ１
Ｙ ＡＸＩＳ
ＩＮＴＥＲＬＯＣＫ ＣＨＥＣＫ
前側（ＳＩＤＥ１）
ＦＲＯＮＴ ＳＩＤＥ（ＳＩＤＥ１）
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
レーザー基板高さセンサアンプ
リモートＩ／Ｏ基板
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ
ＳＥＮＳＯＲ ＡＭＰＬＩＦＩＥＲ
ＦＯＲ ＰＡＮＥＬ ＨＥＩＧＨＴ ＬＡＳＥＲ
ＭＡ
ＨＳ－ＣＮＣ１
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ１１
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ８
２ＥＧＸＢＡ００７０＊＊ ２ＡＧＸＢＡ００２８＊＊ ２ＡＧＸＢＡ００３２＊＊ ２ＥＧＸＳＡ０００５＊＊ ２ＥＧＸＳＡ０００９＊＊
ＣＮ２５
ＭＡ Ｒ１
ＣＮ２５
Ａ１３ＡＭＰ１
ｄ－１
通信変換基板
ＭＡ Ｒ１
Ｙｄ－１
ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ
ＣＯＮＶＥＲＳＩＯＮ ＢＯＡＲＤ
ｄ－２ ＣＮ３ ＣＮ１
ＭＡ Ｒ１
Ｙｄ－２
Ａ２ＰＣＢ１１
２ＥＧＸＢＡ００７４＊＊
ＣＮ２
Ａ１＿ＵＡＲＴ３
Ａ２ＰＣＢ１
基板高さセンサ
ＭＡ
ＨＳ－ＣＮＡ１
２ＡＧＸＢＡ００３２＊＊
ＣＮ１
ＰＡＮＥＬ
ＨＥＩＧＨＴ ＳＥＮＳＯＲ
Ａ１３ＬＳ１
ＰＧ１
ＭＡ
Ｙ１ＣＮ１２
ＭＡ
Ｘ１ＣＮ１２
２ＥＧＸＢＡ０１０２＊＊
２ＥＧＸＳＡ００１３＊＊ ２ＥＧＸＳＡ００１７＊＊
ＭＡ ＳＥＲＶＯ
ＢＯＸ１ ＰＧ１
ＯＰＴＩＯＮ（ＰＡＮＥＬ ＨＥＩＧＨＴ ＳＥＮＳＯＲ）
オプション（基板高さセンサ）
ＯＰＴＩＯＮ（ＰＡＮＥＬ ＨＥＩＧＨＴ ＳＥＮＳＯＲ）
オプション（基板高さセンサ）
ＣＮ－Ｈ５
ＣＮ－Ｈ４
２ＡＧＸＳＡ００１１＊＊
b0X361Gq
b0X361Gq
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