2RGXBA020207ElectricalSchematic(AIMEXII) .pdf - 第262页
ＮＡＭＥ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. 機関接続図 CONNECTION DIAGRAM 2 RGX BA 00 68 05 操作パネル OPERATION PANEL ＴＹＰＥ ＡＩＭＥＸⅡ ４ ０ ７９ FUJI SECRET コントロールＢＯＸ 前側（ＳＩＤＥ１） Ｃ Ｏ Ｎ Ｔ Ｒ Ｏ Ｌ Ｂ Ｏ Ｘ Ｆ Ｒ Ｏ Ｎ Ｔ Ｓ Ｉ Ｄ Ｅ （ Ｓ Ｉ Ｄ Ｅ １ ） Ｓｉｄｅ１非常停止ＰＢ Ｍ １ Ｐ Ｂ １ Ｅ Ｓ…
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXBA006805
装置カバー
MACHINE COVER
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
３９
７９
FUJI SECRET
コントロールＢＯＸ
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
インターフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
Ｉ／Ｆ
ＡＣＮ２９
オプション（ＭＡ サイド１ 側面カバー）
ＯＰＴＩＯＮ（ＭＡ ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ）
ＡＣＮ２９
２ＥＧＭＢＡ０３８２＊＊
Ｉ／Ｆ
ＡＣＮ２９
ＭＡ Ｍ２ＬＳ１６Ｅ
－ＣＮ１ ＳＩＤＥ１ 側面カバー開閉確認
ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ
ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ
２ＥＧＭＢＡ０６１５＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０３９８＊＊
ＭＡ Ｍ２ＬＳ１６Ｅ
リモートＩ／Ｏ基板
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ
Ｉ／Ｆ
ＡＣＮ２９
ａ－３
ＭＡ Ｒ２
Ｙａ－３
ｃ－４
ＭＡ Ｒ２
Ｙｃ－４
Ａ２ＰＣＢ１２
オプション（ＭＡ サイド２ 側面カバー）
ＯＰＴＩＯＮ（ＭＡ ＳＩＤＥ２ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ）
ＭＡ Ｍ２ＬＳ２６Ｅ
－ＣＮ１ ＳＩＤＥ２ 側面カバー開閉確認
ＳＩＤＥ２ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ
ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ
２ＥＧＭＢＡ０３５７＊＊
ＭＡ Ｍ２ＬＳ２６Ｅ
２ＥＧＭＢＡ０６１３＊＊
Ｉ／Ｆ
ＢＣＮ２９
オプション（ＭＢ サイド１ 側面カバー）
ＢＣＮ２９
２ＥＧＭＢＡ０３８３＊＊
ＯＰＴＩＯＮ（ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ）
Ｉ／Ｆ
ＢＣＮ２９
ＭＢ Ｍ２ＬＳ１６Ｅ
－ＣＮ１ ＳＩＤＥ１ 側面カバー開閉確認
ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ
ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ
２ＥＧＭＢＡ０６１６＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０４００＊＊
ＭＢ Ｍ２ＬＳ１６Ｅ
リモートＩ／Ｏ基板
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ
Ｉ／Ｆ
ＢＣＮ２９
ａ－３
ＭＢ Ｒ２
Ｙａ－３
ｃ－４
ＭＢ Ｒ２
Ｙｃ－４
Ｂ２ＰＣＢ１２
オプション（ＭＢ サイド２ 側面カバー）
ＯＰＴＩＯＮ（ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ）
ＭＢ Ｍ２ＬＳ２６Ｅ
－ＣＮ１ ＳＩＤＥ２ 側面カバー開閉確認
ＳＩＤＥ２ ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ
ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ
２ＥＧＭＢＡ０３５８＊＊
Ｍ１ＰＣＢ１
ＭＢ Ｍ２ＬＳ２６Ｅ
２ＥＧＭＢＡ０６１４＊＊
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXBA006805
操作パネル
OPERATION PANEL
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
４０
７９
FUJI SECRET
コントロールＢＯＸ 前側（ＳＩＤＥ１）
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ ＦＲＯＮＴ ＳＩＤＥ（ＳＩＤＥ１）
Ｓｉｄｅ１非常停止ＰＢ
Ｍ１ＰＢ１Ｅ
Ｓｉｄｅ１ ＥＭＥＲＧＥＮＣＹ
ＳＴＯＰ ＰＢ
インターフェース基板
デバイス表示ユニット
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ ＵＮＩＴ
操作パネル
２ＥＧＭＢＡ０５０９＊＊ ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＣＮ２０
ＭＡ ＤＤＵ１
ＣＮ１
Ｉ／Ｆ ＣＮ２０
２ＥＧＭＢＡ０５１４＊＊ ２ＥＧＸＢＡ０１７１＊＊
ＤＣ／ＩＯ
ＤＥＶＩＣＥ
ＩＮ
ＤＥＶＩＣＥ
ＯＵＴ
ＭＡ ＰＡＮＥＬ１
ＤＣ／ＩＯ
ＭＡ ＰＡＮＥＬ１
ＤＥＶＩＣＥ ＩＮ
ＭＡ ＤＤＵ１
ＤＥＶＩＣＥ ＯＵＴ
２ＥＧＸＢＡ０２２２＊＊
ＣＮ２１
Ｉ／Ｆ ＣＮ２１ ＭＡ ＤＤＵ１
ＤＦＰ ＩＮ
Ｍ１ＰＣＢ１
ＭＡ ＰＡＮＥＬ１
ＤＦＰ ＩＮ
ＭＡ ＰＡＮＥＬ１
画像分配器
デバイス表示ユニット
コネクタ基板
ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＢＯＡＲＤ ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ ＵＮＩＴ
操作パネル
ＰＡＮＥＬ
ＤＩＳＴＲＩＢＵＴＯＲ
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
２ＥＧＭＢＡ０５０６＊＊
ＭＢ ＤＤＵ１
ＣＮ１
２ＥＧＭＢＡ５１５＊＊ ２ＥＧＸＢＡ０１０９＊＊
ＤＣ／ＩＯ
ＤＥＶＩＣＥ
ＩＮ
ＤＥＶＩＣＥ
ＯＵＴ
ＣＮ１２ ＤＣ
ＦＲＯＮＴ
ＤＦＰ
ＭＢ ＰＡＮＥＬ１
ＤＣ／ＩＯ
ＭＢ ＰＡＮＥＬ１
ＤＥＶＩＣＥ ＩＮ
ＭＢ ＤＤＵ１
ＤＥＶＩＣＥ ＯＵＴ
ＭＡ ＰＤＩＳＴ
ＤＣ
ＭＡ ＰＤＩＳＴ
ＦＲＯＮＴ ＤＦＰ
ＭＡ ＣＮＴ
ＣＮ１２
ＭＢ ＤＤＵ１
ＤＦＰ ＩＮ
ＡＭ２ＰＣＢ１
ＭＢ ＰＡＮＥＬ１
ＤＦＰ ＩＮ
ＭＢ ＰＡＮＥＬ１
ＤＦＰ
ＩＮ
ＲＥＡＲ
ＤＦＰ
ＭＡ ＰＤＩＳＴ
ＤＦＰ ＩＮ
ＭＡ ＰＤＩＳＴ
ＲＥＡＲ ＤＦＰ
コネクタ基板
Ａ２ＰＤＩＳＴ１
ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＢＯＡＲＤ
後側（ＳＩＤＥ２）
２ＥＧＸＢＡ０１１６＊＊
ＲＥＡＲ ＳＩＤＥ（ＳＩＤＥ２）
ＣＮ１２
Ｓｉｄｅ２非常停止ＰＢ
Ｍ１ＰＢ２Ｅ
Ｓｉｄｅ２ ＥＭＥＲＧＥＮＣＹ
ＳＴＯＰ ＰＢ
ＭＢ ＣＮＴ
ＣＮ１２
デバイス表示ユニット
ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ ＵＮＩＴ
ＢＭ２ＰＣＢ１
操作パネル
画像分配器
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＭＡ ＤＤＵ２
ＣＮ１
ＰＡＮＥＬ
ＤＩＳＴＲＩＢＵＴＯＲ ２ＥＧＭＢＡ０５１６＊＊ ２ＥＧＸＢＡ０１１０＊＊
ＤＣ／ＩＯ
ＤＥＶＩＣＥ
ＩＮ
ＤＥＶＩＣＥ
ＯＵＴ
ＭＡ ＰＡＮＥＬ２
ＤＣ／ＩＯ
ＭＡ ＰＡＮＥＬ２
ＤＥＶＩＣＥ ＩＮ
ＭＡ ＤＤＵ２
ＤＥＶＩＣＥ ＯＵＴ
モジュールＣＰＵ ＢＯＸ
ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ ＢＯＸ
ＤＣ
ＦＲＯＮＴ
ＤＦＰ
ＭＡ ＤＤＵ２
ＭＢ ＰＤＩＳＴ
ＤＣ
ＭＢ ＰＤＩＳＴ
ＦＲＯＮＴ ＤＦＰ
ＤＦＰ ＩＮ
ＣＰＵボード
ＭＡ ＰＡＮＥＬ２
ＤＦＰ ＩＮ
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
ＭＡ ＰＡＮＥＬ２
ＰＡＮＥＬ
ＬＩＮＫ
デバイス表示ユニット
ＭＡ ＣＰＵ２
ＰＡＮＥＬ
ＬＩＮＫ
ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ ＵＮＩＴ
ＲＥＡＲ
ＤＦＰ
ＰＣＢ１
操作パネル
ＤＦＰ
ＩＮ
ＭＢ ＰＤＩＳＴ
ＲＥＡＲ ＤＦＰ
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＭＢ ＰＤＩＳＴ
ＤＦＰ ＩＮ
ＭＢ ＤＤＵ２
ＣＮ１
２ＥＧＭＢＡ０５１７＊＊ ２ＥＧＸＢＡ０１７０＊＊
ＤＣ／ＩＯ
ＤＥＶＩＣＥ
ＩＮ
ＤＥＶＩＣＥ
ＯＵＴ
ＭＡ ＣＰＵ２ Ｂ２ＰＤＩＳＴ１
ＭＢ ＰＡＮＥＬ２
ＤＣ／ＩＯ
ＭＢ ＰＡＮＥＬ２
ＤＥＶＩＣＥ ＩＮ
ＭＢ ＤＤＵ２
ＤＥＶＩＣＥ ＯＵＴ
モジュールＣＰＵ ＢＯＸ
ＭＢ ＤＤＵ２
ＭＯＤＵＬＥ ＣＰＵ ＢＯＸ
ＤＦＰ ＩＮ
ＭＢ ＰＡＮＥＬ２
ＤＦＰ ＩＮ
ＣＰＵボード
ＭＢ ＰＡＮＥＬ２
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
ＰＡＮＥＬ
ＬＩＮＫ
ＭＢ ＣＰＵ２
ＰＡＮＥＬ
ＬＩＮＫ
ＰＣＢ１
ＭＢ ＣＰＵ２
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
ＲＨ３３００＊
ＲＨ３３００＊
ＲＨ３３００＊
ＲＨ３３００＊
２ＥＧＸＢＡ００５３＊＊
２ＥＧＸＢＡ００５４＊＊
ラベルを［図番：２ＥＧＸＢＡ０２４９＊＊］へ貼替えて使用
ラベルを［図番：２ＥＧＸＢＡ０２４９＊＊］へ貼替えて使用
ラベルを［図番：２ＥＧＸＢＡ０２４９＊＊］へ貼替えて使用
ラベルを［図番：２ＥＧＸＢＡ０２４９＊＊］へ貼替えて使用
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXBA006805
前後工程インターフェース
Ｆ／Ｒ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
４１
７９
FUJI SECRET
26 26
1 1
ベースＣＰＵ ＢＯＸ
ＢＡＳＥ ＣＰＵ ＢＯＸ
ＣＰＵボード
ＣＮ－ＥＴＨＥＲ
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
２ＥＧＭＢＡ０５４０＊＊
ＬＡＮ
ＢＡＳＥ ＣＰＵ
ＬＡＮ
ＰＣＢ１
ＣＮ－Ｍ１ ＣＮ－Ｍ２
２ＥＧＭＢＡ０１７２＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０１７１＊＊
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板 後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
コントロールＢＯＸ
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＢＯＡＲＤ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＢＯＡＲＤ
インターフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ２ ＣＮ２
ＳＭＦ
ＣＮ２
ＳＭＲ
ＣＮ２
２ＥＧＭＢＡ０１６６＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０１６７＊＊
ＣＮ３ ＣＮ７ ＣＮ９ ＣＮ３
ＳＭＦ
ＣＮ３
ＳＭＲ
ＣＮ３
Ｉ／Ｆ
ＣＮ７
Ｉ／Ｆ
ＣＮ９
２ＥＧＭＢＡ０１６８＊＊ ２ＥＧＭＢＡ０１７０＊＊
Ｍ１ＰＣＢ１
ＣＮ５
Ｍ１ＬＳ１７
－ＣＮ１
Ｍ１ＬＳ２７
－ＣＮ１
ＣＮ５
ＳＭＦ
ＣＮ５
ＳＭＲ
ＣＮ５
Ｍ０ＰＣＢ１ Ｍ０ＰＣＢ２
ＬＡＮＥ１－Ｆ ＣＮ－ＣＶＩＦ Ｆ ＣＮ－ＣＶＩＦ Ｒ ＬＡＮＥ１－Ｒ
２ＥＧＭＢＡ０１６９＊＊
ＬＡＮＥ２－Ｆ ＬＡＮＥ２－Ｒ
ＣＢＢ ＣＮ６Ａ ＣＢＢ ＣＮ７Ａ
ＡＲ１１１
ＡＳ１１１
ＡＴ１１１
ＢＲ１１１
ＢＳ１１１
ＢＴ１１１
ＣＢＢ
ＣＮ６
ＣＢＢ
ＣＮ７
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS