2RGXBA020207ElectricalSchematic(AIMEXII) .pdf - 第161页
ＮＡＭＥ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. 部品配置図 PARTS ARRANGEMENT 2 R G XB A0 18 00 0 制御盤 CONTROL BOX ＴＹＰＥ ＡＩＭＥＸⅡ ７ １３ FUJI SECRET ＦＨ１４５２Ｂ＊Ｆ 電源 ＤＩ／Ｏ１ ＤＩ／Ｏ２ モジュールＡ ＳＩＤＥ１ モジュールＢ ＳＩＤＥ１ 圧力ＳＷ、タイムカウンタ ＳＩＤＥ １ シグナルタワー Ｐ Ｏ Ｗ Ｅ Ｒ Ｄ Ｉ ／ Ｏ １ Ｄ Ｉ ／…
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGXBA018000
制御盤
CONTROL BOX
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
６
１３
FUJI SECRET
ＦＨ１４５２Ｂ＊Ｆ
ＡＦ５
ＢＤＰ５ ＢＤＰ６
ＤＰ２－１
ＤＰ２－２
ＯＮ
1 ４
2
３
ＯＮ
1 ４
2
３
ＯＮ
1 ４
2
３
ＡＦ１４
ＡＤＰ５－１
ＡＤＰ５－２
ＡＤＰ５－３
ＡＤＰ６
ＡＤＰ７
ＯＮ
1 ４
2
３
ＯＮ
1 ４
2
３
Ｍ０ＣＲ７Ｘ
ＢＤＰ５－１
ＢＤＰ５－２
ＢＤＰ５－３
ＢＤＰ６
ＢＤＰ７
ＢＦ１３
ＡＦ６
ＤＰ２
ＡＭ２ＣＲ６Ｘ
ＢＭ２ＣＲ５Ｘ
ＡＤＰ５ ＡＤＰ６
ＡＭ２ＣＲ３Ｘ
Ｍ０ＣＲ１Ｘ１
Ｍ０ＣＲ６Ｘ
ＢＭ２ＣＲ６Ｘ
ＡＭ２ＣＲ４Ｘ
Ｆ９
ＢＭ２ＣＲ４Ｘ
ＢＭ２ＣＲ３Ｘ
Ｍ０ＣＲ１Ｘ
Ｆ１
ＡＦ１３
Ｆ１０
ＢＭ１２ＣＲ１Ｘ
ＢＭ２ＣＲ１７Ｘ
ＡＭ１２ＣＲ１Ｘ
ＡＭ２ＣＲ１８Ｘ
Ｆ８
Ｆ２
ＡＭ２ＣＲ１７Ｘ
ＡＭ２ＣＲ１１Ｅ
ＡＭ２ＣＲ１１Ｅ１
Ｍ０ＣＲ２Ｘ
ＢＭ２ＣＲ１８Ｘ
Ｍ１ＣＲ２１Ｘ
Ｍ０ＣＲ２Ｘ１
Ｆ１１
Ｆ３
ＢＦ５
Ｆ１２
ＢＭ２ＣＲ１６Ｘ
ＢＭ２ＣＲ１１Ｅ
ＢＭ２ＣＲ１５Ｘ
ＢＭ２ＣＲ１１Ｅ１
Ｒ３
Ｆ７
ＡＭ２ＣＲ１６Ｘ
ＡＭ２ＣＲ５Ｘ
ＡＭ２ＣＲ１５Ｘ
ＣＮ７
ＣＮ２０
ＣＮ２１
ＢＦ１４
ＣＮ１２
ＣＮ１１
ＣＮ８
ＣＮ９
ＣＮ２２ ＢＣＮ１８
ＡＣＮ９
ＣＮ２７
ＢＣＮ９
ＣＮ１５
ＣＮ１６
ＡＣＮ１８
ＡＣＮ１７ ＢＣＮ１７
ＣＮ１
ＣＮ１４
ＡＣＮ２９ ＣＮ１３ ＢＣＮ８
ＢＣＮ７
ＡＣＮ７ ＡＣＮ８
ＣＮ２３
ＦＨ１４５２＊＊＊
Ｍａｄｅ Ｉｎ Ｊａｐａｎ
ＢＣＮ２９
ＢＣＮ１１ ＢＣＮ１２
ＡＣＮ１０ ＡＣＮ１１
ＡＣＮ１２
ＡＣＮ１３
ＣＮ１７
ＢＦ６
ＢＣＮ１０
ＢＣＮ１３
ＣＮ１８ ＣＮ１９
ＣＮ２８
ＣＮ２５
ＣＮ２６
Ｆ４
ＡＣＮ１４
ＡＣＮ１５
ＢＣＮ１４ ＢＣＮ１５
ＣＮ２
ＢＣＮ２１
ＡＣＮ２１
ＡＣＮ２３
ＡＣＮ２４ ＡＣＮ２５ ＡＣＮ２６
ＡＣＮ２２
ＢＣＮ２２ ＢＣＮ２３
ＢＣＮ２４
ＢＣＮ２５ ＢＣＮ２６
ＣＮ３０
ＢＣＮ２
ＡＣＮ６
ＢＣＮ６
ＡＣＮ２
ＡＣＮ５
ＢＣＮ５
ＣＮ２９
ＢＣＮ１９
ＣＮ３１
ＣＮ３２
ＢＣＮ４
ＡＣＮ１９
ＡＣＮ４
ＣＮ４
ＢＣＮ３
ＣＮ３
ＡＣＮ３
９４Ｖ－０
ＭＳ－１１
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGXBA018000
制御盤
CONTROL BOX
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
７
１３
FUJI SECRET
ＦＨ１４５２Ｂ＊Ｆ
電源 ＤＩ／Ｏ１ ＤＩ／Ｏ２ モジュールＡ ＳＩＤＥ１ モジュールＢ ＳＩＤＥ１ 圧力ＳＷ、タイムカウンタ ＳＩＤＥ１ シグナルタワー
ＰＯＷＥＲ ＤＩ／Ｏ１ ＤＩ／Ｏ２ ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＳＩＤＥ１ ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＳＩＤＥ１ ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＳＷ、ＴＩＭＥ ＣＯＵＮＴＥＲ ＳＩＤＥ１ ＳＩＧＮＡＬ ＴＯＷＥＲ
ＣＮ１ ＣＮ３ ＣＮ４ ＣＮ７ ＣＮ９ ＣＮ１２ ＣＮ１３
線番 線番 線番 線番 線番 線番 線番
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１ ＋２４ＶＡ １ ＧＡ １ ＧＡ １ １ １ ＋２４ＶＭ１ １ ＋２４ＶＭ１
２ ＧＡ ２ ＢＸ０００ ２ ＢＸ０１０ ２ ２ ２ ＢＸ００６ ２ ＧＡ
３ Ａ＋２４ＶＢ３ ３ ＢＸ００１ ３ ＢＸ０１１ ３ ３ ３ ＧＡ ３ ＢＹ０１０Ａ
４ ＡＧＢ ４ ＢＸ００２ ４ ＢＸ０１２ ４ ＋２４ＶＭ１ ４ ＋２４ＶＭ１ ４ ＋２４ＶＭ１ ４ ＢＹ０１１Ａ
５ Ｂ＋２４ＶＢ３ ５ ＢＸ００３ ５ ＢＸ０１３ ５ ＢＸ０１Ｂ ５ ＢＸ０１Ｄ ５ ＢＸ００７ ５ ＢＹ０１２Ａ
６ ＢＧＢ ６ ＢＸ００４ ６ ６ ＡＲＹ０１２ ６ ＢＲＹ０１２ ６ ＧＡ ６ ＢＬＩＮＫ１
７ ＢＸ００５ ７ ＢＸ０１５ ７ ＡＲＹ０１２Ａ ７ ＢＲＹ０１２Ａ ７ ＢＹ００６ ７ ＢＹ００Ｅ
８ ＢＸ００６ ８ ＢＸ０１６ ８
＋２４ＶＭ４（Ｂ７）
８
＋２４ＶＭ４（Ｂ５）
８ ＧＡ ８ ＢＹ０１６
９ ＢＸ００７ ９ ＢＸ０１７ ９ Ｍ０００３（Ｂ８） ９ Ｍ０００４（Ｂ６） ９ ＋２４ＶＭ１ ９ ＧＡ
１０ ＢＸ００８ １０ ＢＸ０１８ １０ Ｍ０００１（Ａ５） １０ Ｍ００２３（Ａ７） １０ ＢＸ００Ａ １０ ＢＹ０１７
制御回路
ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ
１１ ＢＸ００９ １１ １１ Ｍ０００２（Ａ６） １１ Ｍ００１５（Ａ８） １１ ＧＡ １１ ＧＡ
１２ ＢＸ００Ａ １２ ＢＸ０１Ａ １２ ＋２４ＶＭ１ １２ ＋２４ＶＭ１ １２
ＣＮ２
線番 １３ ＢＸ００Ｂ １３ ＢＸ０１Ｂ １３ ＧＡ １３ ＧＡ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１４ ＢＸ００Ｃ １４ ＢＸ０１Ｃ １４
＋２４ＶＭ１（ＢＸ０１２）
１４
１ ＋２４ＶＭ１ １５ ＢＸ００Ｄ １５ ＢＸ０１Ｄ １５
＋２４ＶＭ１（ＢＸ０１３）
１５
２ ＧＡ １６ ＢＸ００Ｅ １６ ＢＸ０１Ｅ １６ １６
３ ＋２４ＶＭ４ １７ ＢＸ００Ｆ １７ ＢＸ０１Ｆ
４ ＧＡ １８ ＧＡ １８ ＧＡ
５ Ｍ１５１ １９ １９
ＳＩＤＥ２ 残テープＢＯＸ パーツ真空ポンプ ＳＩＤＥ２ シグナルタワー
ＳＩＤＥ２ ＷＡＳＴＥ ＴＡＰＥ ＢＯＸ ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＳＩＤＥ２ ＳＩＧＮＡＬ ＴＯＷＥＲ
６ Ｍ１５２ ２０ ２０
７ ＋２４ＶＭ４ ２１ ２１
ＣＮ８ ＣＮ１１ ＣＮ１４
８ Ｍ１５３ ２２ ＢＹ０００ ２２ ＢＹ０１０ 線番 線番 線番
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
９ Ｍ１５４ ２３ ＢＹ００１ ２３ ＢＹ０１１
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１０ Ｍ１５５ ２４ ＢＹ００２ ２４ ＢＹ０１２ １ ＋２４ＶＭ１ １ ＋２４ＶＭ１ １ ＋２４ＶＭ１
１１ Ｍ１５６ ２５ ＢＹ００３ ２５ ＢＹ０１３ ２ ＢＸ０１Ｃ ２ ＢＸ００８ ２ ＧＡ
１２ Ｍ１７１ ２６ ＢＹ００４ ２６ ＢＹ０１４ ３ ＡＲＹ０３２ ３ ＋２４ＶＭ１ ３ ＢＹ０１８Ａ
１３ ＢＸ００Ｄ ２７ ＢＹ００５ ２７ ＢＹ０１５ ４ ＡＲＹ０３２Ａ ４ Ｍ１４１ ４ ＢＹ０１９Ａ
１４ ２８ ＢＹ００６ ２８ ＢＹ０１６ ５ ＋２４ＶＭ１ ５ ＢＹ００６ ５ ＢＹ０１ＡＡ
１５ ２９ ＢＹ００７ ２９ ＢＹ０１７ ６ ＢＸ０１Ｅ ６ ＧＡ ６ ＢＬＩＮＫ２
１６ ３０ ＢＹ００８ ３０ ＢＹ０１８ ７ ＢＲＹ０３２ ７ ７ ＢＹ００Ｆ
１７ ３１ ＢＹ００９ ３１ ＢＹ０１９ ８ ＢＲＹ０３２Ａ ８ ８ ＢＹ０１Ｅ
１８ ３２ ＢＹ００Ａ ３２ ＢＹ０１Ａ ９ Ｍ１４３ ９ ＧＡ
１９ ３３ ＢＹ００Ｂ ３３ ＢＹ０１Ｂ １０ １０ ＢＹ０１Ｆ
２０ ３４ ＢＹ００Ｃ ３４ ＢＹ０１Ｃ １１ ＧＡ
３５ ＢＹ００Ｄ ３５ ＢＹ０１Ｄ １２
３６ ＢＹ００Ｅ ３６ ＢＹ０１Ｅ
３７ ＢＹ００Ｆ ３７ ＢＹ０１Ｆ
３８ ３８
３９ ＋２４ＶＭ１ ３９ ＋２４ＶＭ１
４０ ＋２４ＶＭ１ ４０ ＋２４ＶＭ１
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGXBA018000
制御盤
CONTROL BOX
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
８
１３
FUJI SECRET
ＦＨ１４５２Ｂ＊Ｆ
予備（エンジニアリングパネル） 予備Ｉ／Ｏ１ 予備Ｉ／Ｏ２ 予備Ｉ／Ｏ３ ＳＩＤＥ１ 非常停止ＰＢ ＳＩＤＥ１ ファン系電源
ＳＰＡＲＥ（ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ ＰＡＮＥＬ） ＳＰＡＲＥ Ｉ／Ｏ１ ＳＰＡＲＥ Ｉ／Ｏ２ ＳＰＡＲＥ Ｉ／Ｏ３ ＳＩＤＥ１ ＥＭＥＲＧＥＮＣＹ ＳＴＯＰ ＰＢ ＳＩＤＥ１ ＦＡＮ ＰＯＷＥＲ
ＣＮ１５ ＣＮ１７ ＣＮ１８ ＣＮ１９ ＣＮ２０ ＣＮ２２
線番 線番 線番 線番 線番 線番
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１ ＋２４ＶＭ１ １ ＋２４ＶＭ１ １ ＢＹ０００ １ ＢＹ００８ １ Ｍ１５３ １ ＋２４ＶＦ
２ ＧＡ ２ ＋２４ＶＭ１ ２ ＢＹ００１ ２ ＢＹ００９ ２ Ｍ１５７ ２ ＧＦ
３ ＢＸ０００ ３ ＧＡ ３ ＧＡ ３ Ｍ１５５ ３ ＋２４ＶＦ
４ ＢＸ００１ ４ ＧＡ ４ ＧＡ ４ Ｍ１５８ ４ ＧＦ
５ ＧＡ ５ ＢＹ００２ ５ ＢＹ００Ａ ５ ＡＫ３１０７
６ ＧＡ ６ ＢＹ００３ ６ ＢＹ００Ｂ ６ ＡＭ２１０
７ ＋２４ＶＭ１ ７ ＧＡ ７ ＧＡ ７ ＢＫ３１０７
８ ＋２４ＶＭ１ ８ ＧＡ ８ ＧＡ ８ ＢＭ２１０
９ ＢＸ００２ ９ ９
１０ ＢＸ００３ １０ １０
１１ ＧＡ １１ Ａ＋２４ＶＡ１ １１ Ｂ＋２４ＶＡ１
１２ ＧＡ １２ Ａ＋２４ＶＡ１ １２ Ｂ＋２４ＶＡ１
基板バキュームポンプ ＳＩＤＥ２ 非常停止ＰＢ ＳＩＤＥ１ ファン系電源
ＢＯＡＲＤ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＳＩＤＥ２ ＥＭＥＲＧＥＮＣＹ ＳＴＯＰ ＰＢ ＳＩＤＥ１ ＦＡＮ ＰＯＷＥＲ
１３ ＋２４ＶＭ１ １３ ＡＦＸ００８ １３ ＢＦＸ００８
１４ ＋２４ＶＭ１ １４ ＡＦＸ００９ １４ ＢＦＸ００９
ＣＮ１６ ＣＮ２１ ＣＮ２３
線番 １５ ＢＸ０１Ａ １５ ＧＡ １５ ＧＡ 線番 線番
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＰＩＮ
ＮＯ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１６ ＢＸ０１Ｆ １６ ＧＡ １６ ＧＡ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１ ＋２４ＶＭ１ １７ ＧＡ １７ Ａ＋２４ＶＡ１ １７ Ｂ＋２４ＶＡ１ １ Ｍ１５７ １ ＋２４ＶＨ
２ ＢＸ００Ｂ １８ ＧＡ １８ Ａ＋２４ＶＡ１ １８ Ｂ＋２４ＶＡ１ ２ Ｍ１５４ ２ ＧＨ
３ ＋２４ＶＭ１ １９ ＢＹ００４ １９ ＡＦＸ００Ａ １９ ＢＦＸ００Ａ ３ Ｍ１５８ ３ ＋２４ＶＨ
４ Ｍ１４２ ２０ ＢＹ００５ ２０ ＡＦＸ００Ｂ ２０ ＢＦＸ００Ｂ ４ Ｍ１５６ ４ ＧＨ
５ ＢＹ００７ ２１ ＧＡ ２１ ＧＡ ２１ ＧＡ ５ ＡＫ３２０７
６ ＧＡ ２２ ＧＡ ２２ ＧＡ ２２ ＧＡ ６ ＡＭ２２０
７ ２３ ２３ ＡＦＹ０１０ ２３ ＢＦＹ０１０ ７ ＢＫ３２０７
８ ２４ ２４ ＡＦＹ０１１ ２４ ＢＦＹ０１１ ８ ＢＭ２２０
９ Ｍ１４４ ２５ ＧＡ ２５ ＧＡ
１０ ２６ ＧＡ ２６ ＧＡ
２７ ＡＦＹ０１２ ２７ ＢＦＹ０１２
２８ ＡＦＹ０１３ ２８ ＢＦＹ０１３
２９ ＧＡ ２９ ＧＡ
３０ ＧＡ ３０ ＧＡ
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS