2RGXBA020207ElectricalSchematic(AIMEXII) .pdf - 第307页
ＮＡＭＥ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. 機関接続図 CONNECTION DIAGRAM 2 RGX YL 00 02 01 ＭＢ ＬＣＲチェッカ MB LCR CHECKER ＴＹＰＥ ＡＩＭＥＸⅡ ６ ６ FUJI SECRET 5 後側（ＳＩＤＥ２） Ｒ Ｅ Ａ Ｒ Ｓ Ｉ Ｄ Ｅ （ Ｓ Ｉ Ｄ Ｅ ２ ） リモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ Ｒ Ｅ Ｍ Ｏ Ｔ Ｅ Ｉ ／ Ｏ Ｂ Ｏ Ａ Ｒ Ｄ Ｂ Ｋ Ｔ Ｓ２ ＣＵ－Ｎ…
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXYL000201
ＭＢ ＬＣＲチェッカ
MB LCR CHECKER
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
５
６
FUJI SECRET
6
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
前側（ＳＩＤＥ１）
ＦＲＯＮＴ ＳＩＤＥ（ＳＩＤＥ１）
リモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＫＴ
Ｓ１
ＣＵ－ＮＥＴ ＭＢ Ｒ１ ＣＮ１７
２ＥＧＸＧＣ０００２＊＊
ＭＢ ＳＩＤＥ１のプレースヘッドへ
２ＥＧＴＹＬ０００３＊＊
ＣＮ－Ａ
ＭＢ Ｒ１ ＣＮ１７
ＢＭ２ＰＣＢ１
ＣＮ１４
２ＥＧＫＹＬ０００８＊＊
プローブＴＹＰＥ１単載仕様
コネクタ基板
ＣＮ１４へ
２ＥＧＹＹＬ００１０＊＊
ＭＢ ＣＮＴ
ＣＮ１４
ＣＮ－Ｃ プローブＴＹＰＥ１ オプション混載仕様
３６ＣＮ２ ＭＢ ＳＩＤＥ１ＬＣＲ測定プローブ源位置確認
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＰＲＯＢＥ
ＯＲＩＧＩＮ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
２ＡＧＫＹＬ０００３＊＊
３６ＬＳ１
ＭＢ ＳＩＤＥ１ＬＣＲ測定台源位置確認
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＳＴＡＮＤ
ＯＲＩＧＩＮ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫＥＲ ＯＫ
３６ＬＳ２
Ｓ１
ＬＣＲ ＣＮ１
２ＥＧＸＹＬ００２５＊＊
３６ＣＮ３
ＭＢ ＳＩＤＥ１ＬＣＲ測定台着座確認
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ
ＳＴＡＮＤ ＳＥＴ ＣＨＥＣＫ
２ＥＧＹＹＬ０００８＊＊ ２ＡＧＫＹＬ０００１＊＊
ＣＮ－Ｂ ３６ＬＳ３
３６ＣＮ４
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ測定プローブ前進
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ
ＰＲＯＢＥ ＦＯＲＷＡＲＤ
２ＡＧＫＹＬ０００４＊＊
３６ＳＯＬ１
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ測定台後退
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ
ＳＴＡＮＤ ＢＡＣＫＷＡＲＤ
３６ＳＯＬ２
Ｓ１
ＬＣＲ ＣＮ３
ＮＺ１ ＣＮ１Ａ
２ＥＧＸＹＬ００２３＊＊
ＣＮ－Ｅ
ＣＮ１ ＭＢ ＳＩＤＥ１ ﾉｽﾞﾙﾁｪﾝｼﾞｬｰ着座確認中継側へ
ＭＢ４２ＰＣＢ１１
ＮＺ１ ＣＮ１Ａ
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ﾉｽﾞﾙﾁｪﾝｼﾞｬｰ着座確認ｾﾝｻ側へ
Ｓ１
ＬＣＲ ＣＮ２
２ＥＧＸＹＬ００２６＊＊
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＬＣＲ用
ＮＧパーツ廃棄BOX着座確認
３６ＬＳ４
ＭＢ ＳＩＤＥ１ ＰＡＲＴＳ
ＥＪＥＣＴ ＢＯＸ ＳＥＴ ＣＨＥＣＫ（ＬＣＲ）
３６ＣＮ５
２ＥＧＴＹＬ０００５＊＊
ＣＮ－Ｄ
ＭＢ４２ＰＣＢ２１
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ
ＭＢ ＳＩＤＥ１のリモートＩ／Ｏ基板へ
ＯＲ
リモートＩ／Ｏ基板（３） ＣＮ１－２へ
制御基板
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
電源基板
ＰＯＷＥＲ ＢＯＡＲＤ
ＭＢ４２ＰＣＢ３１
ＣＮ６ＣＮ３
インターロック基板
ＩＮＴＥＲＬＯＣＫ ＢＯＡＲＤ
b0X361Gq
b0X361Gq
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ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
機関接続図
CONNECTION DIAGRAM
2RGXYL000201
ＭＢ ＬＣＲチェッカ
MB LCR CHECKER
ＴＹＰＥ
ＡＩＭＥＸⅡ
６
６
FUJI SECRET
5
後側（ＳＩＤＥ２）
ＲＥＡＲ ＳＩＤＥ（ＳＩＤＥ２）
リモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＫＴ
Ｓ２
ＣＵ－ＮＥＴ ＭＢ Ｒ１ ＣＮ１７
２ＥＧＸＧＣ０００４＊＊
ＭＢ ＳＩＤＥ２のプレースヘッドへ
２ＥＧＴＹＬ０００３＊＊
ＣＮ－Ａ
ＭＢ Ｒ１ ＣＮ１７
２ＥＧＫＹＬ０００８＊＊
プローブＴＹＰＥ１単載仕様
２ＥＧＹＹＬ００１０＊＊
ＣＮ－Ｃ プローブＴＹＰＥ１ オプション混載仕様
３６ＣＮ２ ＭＢ ＳＩＤＥ２ＬＣＲ測定プローブ源位置確認
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＰＲＯＢＥ
ＯＲＩＧＩＮ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
２ＡＧＫＹＬ０００３＊＊
３６ＬＳ１
ＭＢ ＳＩＤＥ２ＬＣＲ測定台源位置確認
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＳＴＡＮＤ
ＯＲＩＧＩＮ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫＥＲ ＯＫ
３６ＬＳ２
Ｓ２
ＬＣＲ ＣＮ１
２ＥＧＸＹＬ００２７＊＊
３６ＣＮ３
ＭＢ ＳＩＤＥ２ＬＣＲ測定台着座確認
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ
ＳＴＡＮＤ ＳＥＴ ＣＨＥＣＫ
２ＥＧＹＹＬ０００８＊＊ ２ＡＧＫＹＬ０００１＊＊
ＣＮ－Ｂ ３６ＬＳ３
３６ＣＮ４
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ測定プローブ前進
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ
ＰＲＯＢＥ ＦＯＲＷＡＲＤ
２ＡＧＫＹＬ０００４＊＊
３６ＳＯＬ１
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ測定台後退
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ
ＳＴＡＮＤ ＢＡＣＫＷＡＲＤ
３６ＳＯＬ２
Ｓ２
ＬＣＲ ＣＮ３
ＮＺ２ ＣＮ１Ａ
２ＥＧＸＹＬ００２２＊＊
ＣＮ－Ｅ
ＣＮ１ ＭＢ ＳＩＤＥ２ ﾉｽﾞﾙﾁｪﾝｼﾞｬｰ着座確認中継側へ
ＭＢ４２ＰＣＢ１２
ＮＺ２ ＣＮ１Ａ
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ﾉｽﾞﾙﾁｪﾝｼﾞｬｰ着座確認ｾﾝｻ側へ
Ｓ２
ＬＣＲ ＣＮ２
２ＥＧＸＹＬ００２８＊＊
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＬＣＲ用
ＮＧパーツ廃棄BOX着座確認
３６ＬＳ４
ＭＢ ＳＩＤＥ２ ＰＡＲＴＳ
ＥＪＥＣＴ ＢＯＸ ＳＥＴ ＣＨＥＣＫ（ＬＣＲ）
３６ＣＮ５
２ＥＧＴＹＬ０００５＊＊
ＣＮ－Ｄ
ＭＢ４２ＰＣＢ２２
ＭＢ ＣＮＴ
ＣＮ１４
ＭＢ ＣＮＴ
ＣＮ１４
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ
インターロック基板
ＩＮＴＥＲＬＯＣＫ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ３ ＣＮ６
電源基板
ＰＯＷＥＲ ＢＯＡＲＤ
制御基板
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
ＭＢ４２ＰＣＢ３２
ＭＢ ＳＩＤＥ２のリモートＩ／Ｏ基板へ
ＯＲ
リモートＩ／Ｏ基板（４） ＣＮ１－２へ
：ＤＣ線（ＤＣ ＷＩＲＩＮＧ）
：シールド、通信線（ＳＨＩＥＬＤ、ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮ ＷＩＲＩＮＧ）
：アース線（ＥＡＲＴＨ ＷＩＲＩＮＧ）
：ＡＣ、動力用配線（ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
：ＡＣ、動力用シールド配線（ＳＨＩＥＬＤ ＷＩＲＩＮＧ ＦＯＲ ＡＣ＆ＰＯＷＥＲ）
b0X361Gq
b0X361Gq
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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
Ｉ／Ｆ接続図
I/F JUNCTION DIAGRAM
ＡＩＭＥＸ
ＴＩＴＬＥ
機械間Ｉ／Ｆ
INTERFACE BETWEEN MACHINES
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
４
RL03860
ＡＩＭＥＸ
ＣＮ－Ｍ２
レーン２－Ｒ
ＬＡＮＥ２－Ｒ
レーン１－Ｒ
ＬＡＮＥ１－Ｒ
後工程側
（Ｎｅｘｔ ｓｉｄｅ）
ＲＨ３９０２＊（１．０ｍ）
ＲＨ３９０２＊（１．０ｍ）
前工程側
（Ｐｒｅｖｉｏｕｓ ｓｉｄｅ）
ＣＮ－Ｍ１
レーン２－Ｆ
ＬＡＮＥ２－Ｆ
レーン１－Ｆ
ＬＡＮＥ１－Ｆ
前工程基板搬送信号ＢＫＴ
ＡＩＭＥＸ
後工程基板搬送信号ＢＫＴ
ＣＮ－Ｍ２
レーン２－Ｒ
ＬＡＮＥ２－Ｒ
レーン１－Ｒ
ＬＡＮＥ１－Ｒ
後工程側
（Ｎｅｘｔ ｓｉｄｅ）
ＣＮ－Ｍ２
ＲＨ６０７８＊
ＲＨ３９０２＊（１．０ｍ）
ＲＨ３９０２＊（１．０ｍ）
ＲＨ６０７９＊
ＣＮ－Ｍ１
前工程側
（Ｐｒｅｖｉｏｕｓ ｓｉｄｅ）
ＣＮ－Ｍ１
レーン２－Ｆ
ＬＡＮＥ２－Ｆ
レーン１－Ｆ
ＬＡＮＥ１－Ｆ
ＡＩＭＥＸ
接続
CONNECTION
接続
CONNECTION
接続
CONNECTION
接続
CONNECTION
接続
CONNECTION
接続
CONNECTION
接続
CONNECTION
接続
CONNECTION
PANEL TRANSFER I/F BOXPANEL TRANSFER I/F BOX
前工程基板搬送信号ＢＫＴ
PANEL TRANSFER I/F BOX
後工程基板搬送信号ＢＫＴ
PANEL TRANSFER I/F BOX
ＲＨ６０７８＊
ＣＮ－Ｍ２
ＲＨ６０７９＊
ＣＮ－Ｍ１
ＡＩＭＥＸとＡＩＭＥＸの接続
ＣＯＮＮＥＣＴＩＯＮ ＯＦ ＡＩＭＥＸ ＡＮＤ ＡＩＭＥＸ
b0X361Gq
b0X361Gq
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