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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ ブロック図 BLOCK DIAGRAM ＡＩＭＥＸ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ AIMEXｼｽﾃﾑ構成 AIMEX SYSTEM CONFIGURATION DIAGAM ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. ３ ４ RL 038 52 シ ング ル ロ ボッ ト 仕 様 Si ng le r ob ot s pe ci fi ca ti on Ｍ Ｏ Ｄ Ｕ Ｌ Ｅ Ａ パ ネル 分 配 器 Ｓ Ｉ Ｄ Ｅ １ Ｐ Ａ Ｎ Ｅ Ｌ Ｄ …
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
ブロック図
BLOCK DIAGRAM
ＡＩＭＥＸ
ＴＩＴＬＥ
AIMEXｼｽﾃﾑ構成
AIMEX SYSTEM CONFIGURATION DIAGAM
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
４
RL03852
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＧＥ
ＲＳ４８５
ＲＳ４８５
ＩＥＥＥ１３９４
ＩＥＥＥ１３９４
ＶＡＣＵＵＭ
ＡＩＲ
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ
パネル分配器
ＳＩＤＥ１
ＰＡＮＥＬ ＤＩＳＴＲＩＢＵＴＯＲ
操作パネル ＣＰＵ ＢＯＸ １ ＣＰＵ ＢＯＸ ２
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＣＰＵ ＢＯＸ １ ＣＰＵ ＢＯＸ ２
ＳＩＤＥ１
ＡＴＸ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ ＡＴＸ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＭＡＩＮ ＢＯＡＲＤ ＭＡＩＮ ＢＯＡＲＤ
ＰＡＮＥＬ ＬＩＮＫ ＰＡＮＥＬ ＬＩＮＫ
Ｙ１ ＡＸＩＳ
Ｍ
Ｙ１ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
（ＬＩＮＥＡＲ ＭＯＴＯＲ）
ＣＵ ＮＥＴ ＣＵ ＮＥＴ
デバイス表示器
Ｙ１ ＳＣＡＬＥ
ＵＡＲＴ８ ＵＡＲＴ８
ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ
ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ １
ＩＥＥＥ１３９４ ＩＥＥＥ１３９４
ＳＩＤＥ１ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ １
Ｄ Ｉ／Ｏ Ｄ Ｉ／Ｏ
ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＶＩＳＩＯＮ ＶＩＳＩＯＮ
Ｘ ＡＸＩＳ
Ｍ
Ｘ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｚ ＡＸＩＳ
Ｍ
Ｚ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
ＨＥＡＤ １ Ｒ ＡＸＩＳ
Ｍ
Ｒ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｑ ＡＸＩＳ
Ｍ
Ｑ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
ＳＥＲＶＯ ＳＥＲＶＯ
ＳｙｎｑＮｅｔ ＳｙｎｑＮｅｔ
パレット
ＰＡＬＬＥＴ
制御盤
ＳＩＤＥ１
ＣＯＮＴＯＲＯＬ ＢＯＸ
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＣＯＮＴＲＯＬ
ヘッドユニット１
ＨＥＡＤ ＵＮＩＴ １
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＡＣＵＴＵＡＴＯＲ ＡＣＵＴＵＡＴＯＲ
リモートＩ／Ｏ１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ １
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
４８／３２
ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ
ＳＡＦＥＴＹ ＣＩＲＣＵＩＴ
ＳＩＤＥ２
操作パネル
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＳＩＤＥ２
Ｍ
Ｙ２ ＡＸＩＳ
Ｙ２ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
（ＬＩＮＥＡＲ ＭＯＴＯＲ）
Ｙ２ ＳＣＡＬＥ
デバイス表示器
ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ
ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ ２
ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ ２ ＳＩＤＥ２
ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
Ｘ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｘ２ ＡＸＩＳ
Ｚ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｚ ＡＸＩＳ
Ｒ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｒ ＡＸＩＳ ＨＥＡＤ ２
Ｑ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｑ ＡＸＩＳ
パレット
ＰＡＬＬＥＴ
ＳＩＤＥ２
コンベアコントローラ
ＣＯＮＶＥＹＯＲ ＣＯＮＴＲＯＬＥＲ
ヘッドユニット２
ＨＥＡＤ ＵＮＩＴ ２
Ｍ
Ｃ／Ｖ ＭＯＴＯＲ １
ＲＳ２３２Ｃ
Ｍ
Ｃ／Ｖ ＭＯＴＯＲ ２
リモートＩ／Ｏ２
Ｍ
ＣＬＡＭＰ ＭＯＴＯＲ １
ＲＳ４８５
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ２
Ｍ
ＣＬＡＭＰ ＭＯＴＯＲ ２
４８／３２
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ １
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ ２
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ ３
ＡＩＲ
ＶＡＣＵＵＭ
ダブルボット仕様
Double robot specification
Ｂ Ｂ ＢＢＢＢ
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭ １
ＭＡＲＫ ＣＡＭ １
ＨＥＡＤ ＣＡＭ １
ＲＥＰＥＴＥＲ
Ｂ
Ｃ
ＰＡＲＴＳ１
ＰＡＲＴＳ２
ＭＡＲＫ
ＨＥＡＤ
ＴＲＩＧＥＲ
ＰＡＲＴＳ１
ＰＡＲＴＳ２
ＴＲＩＧＥＲ
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭ ２
ＭＡＲＫ ＣＡＭ ２
ＨＥＡＤ ＣＡＭ ２
ＲＥＰＥＴＥＲ
Ｂ
Ｃ
ＭＡＲＫ
ＨＥＡＤ
b0X361Gq
b0X361Gq
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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
ブロック図
BLOCK DIAGRAM
ＡＩＭＥＸ
ＴＩＴＬＥ
AIMEXｼｽﾃﾑ構成
AIMEX SYSTEM CONFIGURATION DIAGAM
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
３
４
RL03852
シングルロボット仕様
Single robot specification
ＭＯＤＵＬＥ Ａ
パネル分配器
ＳＩＤＥ１
ＰＡＮＥＬ ＤＩＳＴＲＩＢＵＴＯＲ
ＳＩＤＥ２
操作パネル ＣＰＵ ＢＯＸ ２ 操作パネル
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＣＰＵ ＢＯＸ ２
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ２
ＡＴＸ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＭＡＩＮ ＢＯＡＲＤ
ＰＡＮＥＬ ＬＩＮＫ
Ｍ
Ｙ２ ＡＸＩＳ
Ｙ２ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
ＣＵ ＮＥＴ
（ＬＩＮＥＡＲ ＭＯＴＯＲ）
デバイス表示器
Ｙ２ ＳＣＡＬＥ
デバイス表示器
ＵＡＲＴ８
ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ
ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ ２
ＩＥＥＥ１３９４
ＳＩＤＥ１ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ ２ ＳＩＤＥ２
Ｄ Ｉ／Ｏ
ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＶＩＳＩＯＮ
Ｘ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｘ２ ＡＸＩＳ
Ｚ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｚ ＡＸＩＳ
Ｒ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｒ ＡＸＩＳ ＨＥＡＤ ２
Ｑ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｑ ＡＸＩＳ
ＳＥＲＶＯ
ＳｙｎｑＮｅｔ
パレット パレット
ＰＡＬＬＥＴ ＰＡＬＬＥＴ
制御盤
ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ２
ＣＯＮＴＯＲＯＬ ＢＯＸ
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
コンベアコントローラ
ＣＯＮＴＲＯＬ
ＣＯＮＶＥＹＯＲ ＣＯＮＴＲＯＬＥＲ
ヘッドユニット２
ＨＥＡＤ ＵＮＩＴ ２
Ｍ
Ｃ／Ｖ ＭＯＴＯＲ １
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＲＳ２３２Ｃ
Ｍ
Ｃ／Ｖ ＭＯＴＯＲ ２
ＡＣＵＴＵＡＴＯＲ ＡＣＵＴＵＡＴＯＲ
リモートＩ／Ｏ２
Ｍ
ＣＬＡＭＰ ＭＯＴＯＲ １
ＲＳ４８５
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ２
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
Ｍ
ＣＬＡＭＰ ＭＯＴＯＲ ２
ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ
４８／３２
ＳＡＦＥＴＹ ＣＩＲＣＵＩＴ
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ １
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ ２
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ ３
ＮＥＸＴ ＰＡＧＥ
ＲＳ４８５
ＲＳ４８５
ＥＴＨＥＲ ＮＥＴ
ＩＥＥＥ１３９４
ＡＩＲ
ＶＡＣＵＵＭ
ＶＡＣＵＵＭ
基板搬送ＢＫＴ（前工程）
ＲＳ４８５
ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ
ＳＩＧＮＡＬ
（ＰＲＥＶＩＯＵＳ）
ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＢＫＴ（ＰＲＥＶＩＯＵＳ） ＡＩＲ
基板搬送ＢＫＴ（後工程）
ＲＳ４８５
ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ
ＳＩＧＮＡＬ
（ＮＥＸＴ）
ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＢＫＴ（ＮＥＸＴ）
安全確認信号（前工程）
ＳＡＦＥＴＹ ＣＨＥＣＫ
ＳＩＧＮＡＬ
（ＰＲＥＶＩＯＵＳ）
ＳＡＦＥＴＹ ＣＨＥＣＫ ＳＩＧＮＡＬ（ＰＲＥＶＩＯＵＳ）
ＣＰＵ ＢＯＸ
ＣＰＵ ＢＯＸ
安全確認信号（後工程）
ＳＡＦＥＴＹ ＣＨＥＣＫ
ＳＩＧＮＡＬ
（ＮＥＸＴ）
ＩＥＥＥ１３９４
ＨＵＢ
ＳＡＦＥＴＹ ＣＨＥＣＫ ＳＩＧＮＡＬ（ＮＥＸＴ）
ＡＴＸ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＭＡＩＮ ＢＯＡＲＤ
エア３点セット
ＡＩＲ ＲＥＧＵＬＡＴＯＲＳ
パーツ真空ポンプ制御ＢＫＴ
Ｄ Ｉ／Ｏ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＫＴ
ＩＥＥＥ１３９４
ＡＩＲ
ＣＵ ＮＥＴ
ポンプモータ
Ｍ
ＰＵＭＰ ＭＯＴＯＲ
ＬＡＮ
開閉器 ブレーカ ノイズフィルタ サーキットブレーカ
ＳＷＩＴＣＨＩ ＢＲＥＡＫＥＲ ＮＯＩＳＥ ＦＩＬＴＥＲ ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＥＡＫＥＲ
ＡＣ２００～２３０Ｖ ３φ
５０／６０Ｈｚ
リモートＩ／Ｏ１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ １
４８／３２
Ａ
Ｂ Ｂ Ｂ
ＰＡＲＴＳ１
ＰＡＲＴＳ２
ＭＡＲＫ
ＨＥＡＤ
ＴＲＩＧＥＲ
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭ １
ＭＡＲＫ ＣＡＭ ２
ＨＥＡＤ ＣＡＭ ２
ＲＥＰＥＴＥＲ
Ｂ
Ｃ
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭ ２
b0X361Gq
b0X361Gq
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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
ブロック図
BLOCK DIAGRAM
ＡＩＭＥＸ
ＴＩＴＬＥ
AIMEXｼｽﾃﾑ構成
AIMEX SYSTEM CONFIGURATION DIAGAM
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
４
４
RL03852
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＧＥ
ＲＳ４８５
ＲＳ４８５
ＩＥＥＥ１３９４
ＡＩＲ
ＶＡＣＵＵＭ
ＡＩＲ
ＶＡＣＵＵＭ
シングルロボット仕様
Single robot specification
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ
パネル分配器
ＳＩＤＥ１
ＰＡＮＥＬ ＤＩＳＴＲＩＢＵＴＯＲ
ＳＩＤＥ２
操作パネル ＣＰＵ ＢＯＸ ２ 操作パネル
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＣＰＵ ＢＯＸ ２
ＯＰＥＲＡＴＩＯＮ ＰＡＮＥＬ
ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ２
ＡＴＸ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＭＡＩＮ ＢＯＡＲＤ
ＰＡＮＥＬ ＬＩＮＫ
Ｍ
Ｙ２ ＡＸＩＳ
Ｙ２ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
ＣＵ ＮＥＴ
（ＬＩＮＥＡＲ ＭＯＴＯＲ）
デバイス表示器
Ｙ２ ＳＣＡＬＥ
デバイス表示器
ＵＡＲＴ８
ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ ＤＥＶＩＣＥ ＤＩＳＰＬＡＹ
ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ ２
ＩＥＥＥ１３９４
ＳＩＤＥ１ ＳＥＲＶＯ ＢＯＸ ２ ＳＩＤＥ２
Ｄ Ｉ／Ｏ
ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＶＩＳＩＯＮ
Ｘ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｘ２ ＡＸＩＳ
Ｚ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｚ ＡＸＩＳ
Ｒ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｒ ＡＸＩＳ ＨＥＡＤ ２
Ｑ ＡＸＩＳ ＡＭＰ．
Ｍ
Ｑ ＡＸＩＳ
ＳＥＲＶＯ
ＳｙｎｑＮｅｔ
パレット パレット
ＰＡＬＬＥＴ ＰＡＬＬＥＴ
制御盤
ＳＩＤＥ１ ＳＩＤＥ２
ＣＯＮＴＯＲＯＬ ＢＯＸ
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
コンベアコントローラ
ＣＯＮＴＲＯＬ
ＣＯＮＶＥＹＯＲ ＣＯＮＴＲＯＬＥＲ
ヘッドユニット２
ＨＥＡＤ ＵＮＩＴ ２
Ｍ
Ｃ／Ｖ ＭＯＴＯＲ １
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＲＳ２３２Ｃ
Ｍ
Ｃ／Ｖ ＭＯＴＯＲ ２
ＡＣＵＴＵＡＴＯＲ ＡＣＵＴＵＡＴＯＲ
リモートＩ／Ｏ１ リモートＩ／Ｏ２
Ｍ
ＣＬＡＭＰ ＭＯＴＯＲ １
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ １
ＲＳ４８５
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ２
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
Ｍ
ＣＬＡＭＰ ＭＯＴＯＲ ２
４８／３２
ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ
４８／３２
ＳＡＦＥＴＹ ＣＩＲＣＵＩＴ
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ １
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ ２
Ｍ
ＷＩＤＴＨ ＭＯＴＯＲ ３
Ｂ Ｂ Ｂ
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭ １
ＰＡＲＴＳ ＣＡＭ ２
ＭＡＲＫ ＣＡＭ ２
Ｃ
ＨＥＡＤ ＣＡＭ ２
ＲＥＰＥＴＥＲ
Ｂ
ＰＡＲＴＳ１
ＰＡＲＴＳ２
ＭＡＲＫ
ＨＥＡＤ
ＴＲＩＧＥＲ
b0X361Gq
b0X361Gq
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