2RGXBA020207ElectricalSchematic(AIMEXII) .pdf - 第20页
３ ０ １ ３ ０ ２ ３ ０ ３ ３ ０ ４ ３ ０ ５ ３ ０ ６ ３ ０ ７ ３ ０ ８ ３ ０ ９ ３ １ ０ ３ １ １ ３ １ ２ ３ １ ３ ３ １ ４ ３ １ ５ ３ １ ６ ３ １ ７ ３ １ ８ ３ １ ９ ３ ２ ０ ３ ２ １ ３ ２ ２ ３ ２ ３ ３ ２ ４ ３ ２ ５ ３ ２ ６ ３ ２ ７ ３ ２ ８ ３ ２ ９ ３ ３ ０ ３ ３ １ ３ ３ ２ ３ ３ ３ ３ ３ ４ ３ ３ ５ ３ ３ ６ ３ ３ …
２ ０１
２ ０２
２ ０３
２ ０４
２ ０５
２ ０６
２ ０７
２ ０８
２ ０９
２ １０
２ １１
２ １２
２ １３
２ １４
２ １５
２ １６
２ １７
２ １８
２ １９
２ ２０
２ ２１
２ ２２
２ ２３
２ ２４
２ ２５
２ ２６
２ ２７
２ ２８
２ ２９
２ ３０
２ ３１
２ ３２
２ ３３
２ ３４
２ ３５
２ ３６
２ ３７
２ ３８
２ ３９
２ ４０
２ ４１
２ ４２
２ ４３
２ ４４
２ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１２
２
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
動力回路（ＡＣ）
POWER SOURCE CIRCUIT (AC)
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
２
FUJI SECRET
2RGXBA014400
ＣＰ１ＣＮ４
RS101_1
S101
ST101_1
RT101_1
R101
S101
R101
T101
T101
Ｍ
～
M1M1
M1F2
（７２℃）
ＦＵ
ＡＤＤＲＥＳＳ
118
ＡＤＤＲＥＳＳ
1005
RS101_1
ＡＤＤＲＥＳＳ
1105
ST101_1
ＡＤＤＲＥＳＳ
1205
RT101_1
(M1IV1)
U1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
パーツ真空ポンプ制御ＢＫＴ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＫＴ
ＣＢ ＣＮ１ ＣＢ ＣＮ２ ＭＳ１ ＣＮ１
Ｒ１０１
－１ －１ －１
Ｓ１０１
サーキットブレーカＢＫＴ
－２ －２ －２
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＡＫＥＲ ＢＫＴ
ＣＢＢ ＣＮ４
Ｔ１０１
－３ －３ －３
－４ －４
－４
インタフェース基板
ＭＳ１ ＣＮ３
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
－６
－５
ＣＮ１１ －９
＋２４ＶＭ１
－１
ＢＸ００８
－２
－１
＋２４ＶＭ１
－３ －２
Ｍ１４１
－４ －１０
ＢＹ００６
－５
ＧＡ
－６
－７
－８
Ｍ１４３
－９
－１０
ＣＢ ＣＮ３
－１
－２
－３
－４
インタフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１６
＋２４ＶＭ１
－１
ＢＸ００Ｂ
－２
＋２４ＶＭ１
－３
Ｍ１４２
－４
ＢＹ００７
－５
ＧＡ
－６
－７
－８
Ｍ１４４
－９
－１０
インタフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１２
＋２４ＶＭ１
－９
ＢＸ００Ａ
－１０
ＮＥＸＴ ＰＡＧＥ
ＧＡ
－１１
２
１．２５ｍｍ
Ｍ１ＩＶ１
Ｐ１ Ｐ２
ＭＳ１ ＣＮ２
Ｒ１０１ Ｍ１Ｕ１
Ｒ／Ｌ１ Ｕ
－１
パーツ真空ポンプモータ
Ｓ１０１ Ｍ１Ｖ１
Ｓ／Ｌ２ Ｖ
－２
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＭＯＴＯＲ
４００Ｗ
Ｔ１０１ Ｍ１Ｗ１
Ｔ／Ｌ３ Ｗ
－３
－６
パーツ温度ヒューズ
ＳＨＩＥＬＤ
ＳＨＩＥＬＤ
－５
ＰＡＲＴＳ ＴＨＥＲＭＯ ＦＵＳＥ
ＧＡ ＢＸ００８
ＣＭ ３０Ｂ
ＢＹ００６
ＦＷＤ
Ｍ１４３ ＋２４ＶＭ１
Ｘ１ ３０Ｃ
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
制御盤
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
３ ０１
３ ０２
３ ０３
３ ０４
３ ０５
３ ０６
３ ０７
３ ０８
３ ０９
３ １０
３ １１
３ １２
３ １３
３ １４
３ １５
３ １６
３ １７
３ １８
３ １９
３ ２０
３ ２１
３ ２２
３ ２３
３ ２４
３ ２５
３ ２６
３ ２７
３ ２８
３ ２９
３ ３０
３ ３１
３ ３２
３ ３３
３ ３４
３ ３５
３ ３６
３ ３７
３ ３８
３ ３９
３ ４０
３ ４１
３ ４２
３ ４３
３ ４４
３ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１２
３
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
動力回路（ＤＣ）
POWER SOURCE CIRCUIT (DC)
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
１
FUJI SECRET
2RGXBA014500
F3
（３Ａ）
F4
（３Ａ）
F7
（２Ａ）
F8
（２Ａ）
F9
（３Ａ）
F10
（３Ａ）
F11
（２Ａ）
F12
（２Ａ）
F1
（２Ａ）
F2
（１Ａ）
AF13
（２Ａ）
AF14
（２Ａ）
AF5
（１Ａ）
BF13
（２Ａ）
BF14
（２Ａ）
AF6
（２Ａ）
BF6
（２Ａ）
BF5
（１Ａ）
(M1PCB1)
AP1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
(BM2PCB1)
AP1/AM2
(AM2PCB1)
AP1/AM2
(BM2PCB1)
AP1/AM2
(AM2PCB1)
AP1/AM2
２
１．２５ｍｍ
２
１．２５ｍｍ
（Ｍ１ＲＥＣ１）
ＧＳ１／Ｍ１
Ｌ
ＣＮ１－１
＋Ｖ
ＣＮ５１－８
Ｎ
ＣＮ１－３
－Ｖ
ＣＮ５１－４
ＦＧ
ＣＮ１－５
＋２４ＶＡ
＋Ｖ
ＣＮ５１－７
ＧＡ
－Ｖ
ＣＮ５１－３
＋２４ＶＡ
＋Ｖ
ＣＮ５１－６
ＧＡ
－Ｖ
ＣＮ５１－２
＋Ｖ
ＣＮ５１－５
－Ｖ
ＣＮ５１－１
ＤＣ２４Ｖ
２４０Ｗ
ＰＥＡＫ
制御盤
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＢＯＡＲＤ
モジュールＡ コネクタ基板
－１
ＣＮ１
＋２４ＶＡ
ＧＡ
－４
モジュールＢ コネクタ基板
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１
＋２４ＶＡ
－１
ＧＡ
－４
Ｒ１０１
Ｓ１０１
２
１．２５ｍｍ
２
１．２５ｍｍ
（Ｍ１ＲＥＣ２）
ＧＳ２／Ｍ１
Ｌ
ＣＮ１－１
＋２４ＶＦ
＋Ｖ
ＣＮ５１－８
Ｎ
ＣＮ１－３
ＧＦ
－Ｖ
ＣＮ５１－４
ＦＧ
ＣＮ１－５
＋２４ＶＦ
＋Ｖ
ＣＮ５１－７
ＧＦ
－Ｖ
ＣＮ５１－３
＋Ｖ
ＣＮ５１－６
－Ｖ
ＣＮ５１－２
＋Ｖ
ＣＮ５１－５
－Ｖ
ＣＮ５１－１
ＤＣ２４Ｖ
２４０Ｗ
ＰＥＡＫ
インターフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ２２
＋２４ＶＦ
－１
ＧＦ
－２
＋２４ＶＦ
－３
ＧＦ
－４
２
１．２５ｍｍ
２
１．２５ｍｍ
（Ｍ１ＲＥＣ３）
ＧＳ３／Ｍ１
Ｌ
ＣＮ１－１
＋２４ＶＨ
＋Ｖ
ＣＮ５１－８
Ｎ
ＣＮ１－３
ＧＨ
－Ｖ
ＣＮ５１－４
ＦＧ
ＣＮ１－５
＋２４ＶＨ
＋Ｖ
ＣＮ５１－７
ＧＨ
－Ｖ
ＣＮ５１－３
＋Ｖ
ＣＮ５１－６
－Ｖ
ＣＮ５１－２
＋Ｖ
ＣＮ５１－５
－Ｖ
ＣＮ５１－１
ＤＣ２４Ｖ
２４０Ｗ
ＰＥＡＫ
インターフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ２３
＋２４ＶＨ
－１
ＧＨ
－２
＋２４ＶＨ
－３
ＧＨ
－４
制御盤
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
Ｒ１０１
Ｓ１０１
＋２４ＶＦ１
＋２４ＶＦ２
Ａ＋２４ＶＦ３
Ｂ＋２４ＶＦ３
＋２４ＶＨ１
＋２４ＶＨ２
Ａ＋２４ＶＨ３
Ｂ＋２４ＶＨ３
＋２４ＶＭ１
＋２４ＶＭ４
Ａ＋２４ＶＦ４
Ａ＋２４ＶＨ４
Ａ＋２４ＶＡ１
モジュールＡ コネクタ基板
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ４
＋２４ＶＡ
－１
ＧＡ
－２
ＣＮ１
－１
－２
＋２４ＶＡ
ＧＡ
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
インターフェース基板
Ｂ＋２４ＶＦ４
Ｂ＋２４ＶＨ４
Ａ＋２４ＶＢ１
Ｂ＋２４ＶＢ１
－３
Ａ＋２４ＶＢ３
－４
ＡＧＢ
－５
Ｂ＋２４ＶＢ３
－６
ＢＧＢ
－３
Ａ＋２４ＶＢ３
－４
ＡＧＢ
モジュールＢ コネクタ基板
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ４
Ｂ＋２４ＶＢ３
－３
ＢＧＢ
－４
モジュールＡ ＳＩＤＥ１ 冷却ファン
モジュールＢ ＳＩＤＥ１ 冷却ファン
モジュールＡ ＳＩＤＥ１ リニアスケール基板
モジュールＢ ＳＩＤＥ１ リニアスケール基板
モジュールＡ ＳＩＤＥ１ 冷却ファン
モジュールＢ ＳＩＤＥ１ 冷却ファン
モジュールＡ ＳＩＤＥ２ 冷却ファン
モジュールＢ ＳＩＤＥ２ 冷却ファン
モジュールＡ ＳＩＤＥ２ リニアスケール基板
モジュールＢ ＳＩＤＥ２ リニアスケール基板
モジュールＡ ＳＩＤＥ２ 冷却ファン
モジュールＢ ＳＩＤＥ２ 冷却ファン
ベース制御回路電源
セーフティーリレーモジュール
モジュールＡ制御回路電源１
モジュールＡ制御回路電源２
モジュールＢ制御回路電源２
Ｂ＋２４ＶＡ１
モジュールＢ制御回路電源１
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＳＩＤＥ １ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＳＩＤＥ １ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＳＩＤＥ １ ＬＩＮＥＡＲ ＳＣＡＬＥ ＢＯＡＲＤ
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＳＩＤＥ １ ＬＩＮＥＡＲ ＳＣＡＬＥ ＢＯＡＲＤ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＳＩＤＥ １ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＳＩＤＥ １ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＳＩＤＥ ２ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＳＩＤＥ ２ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＳＩＤＥ ２ ＬＩＮＥＡＲ ＳＣＡＬＥ ＢＯＡＲＤ
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＳＩＤＥ ２ ＬＩＮＥＡＲ ＳＣＡＬＥ ＢＯＡＲＤ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＳＩＤＥ ２ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＳＩＤＥ ２ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ ＳＯＵＲＣＥ
ＳＡＦＥＴＹ ＲＥＬＡＹ ＭＯＤＵＬＥ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ ＳＯＵＲＣＥ １
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ ＳＯＵＲＣＥ ２
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ ＳＯＵＲＣＥ １
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ ＳＯＵＲＣＥ ２
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
４ ０１
４ ０２
４ ０３
４ ０４
４ ０５
４ ０６
４ ０７
４ ０８
４ ０９
４ １０
４ １１
４ １２
４ １３
４ １４
４ １５
４ １６
４ １７
４ １８
４ １９
４ ２０
４ ２１
４ ２２
４ ２３
４ ２４
４ ２５
４ ２６
４ ２７
４ ２８
４ ２９
４ ３０
４ ３１
４ ３２
４ ３３
４ ３４
４ ３５
４ ３６
４ ３７
４ ３８
４ ３９
４ ４０
４ ４１
４ ４２
４ ４３
４ ４４
４ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１２
４
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
インターフェース基板
INTERFACE BOARD
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
４
FUJI SECRET
2RGXBA014600
M1PB1E
11 12
M1PB2E
11 12
ｐ
M1PS1
ISE30-01-65ML
ｐ
M1PS2
ZSE30-01-65ML
M1LS17
M1LS27
M1LS18
M1LS28
(M1PCB1)
AP1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
インターフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ２０
－１
Ｍ１５３
－２
Ｍ１５７
－３
Ｍ１５５
－４
Ｍ１５８
－５
ＡＫ３１０７
－６
ＡＭ２１０
－７
ＢＫ３１０７
－８
ＢＭ２１０
21 22
21 22
31 32
41 42
ＣＮ２１
Ｍ１５７
－１
Ｍ１５４
－２
Ｍ１５８
－３
Ｍ１５６
－４
ＡＫ３２０７
－５
ＡＭ２２０
－６
ＢＫ３２０７
－７
ＢＭ２２０
－８
31 32
41 42
エアー圧力確認
茶 ＢＲＷ
AIR OK
黒 ＢＬＫ
青 ＢＬＵ
パーツバキューム圧力確認
茶 ＢＲＷ
PARTS VACUUM OK
黒 ＢＬＫ
青 ＢＬＵ
ＣＮ１２
＋２４ＶＭ１
－１
ＢＸ００６
－２
ＧＡ
－３
＋２４ＶＭ１
－４
ＢＸ００７
－５
ＧＡ
－６
ＳＩＤＥ１ 非常停止ＰＢ
SIDE 1 EMERGENCY SWITCH
ＳＩＤＥ２ 非常停止ＰＢ
SIDE 2 EMERGENCY SWITCH
ＴＭ１
ｔ
タイムカウンタ
ＴＩＭＥ ＣＯＵＮＴＥＲ
－７
ＢＹ００６
－８
ＧＡ
－４
ＣＮ７
＋２４ＶＭ１
ＢＸ０１Ｂ
－５
ＡＲＹ０１２
－６
ＡＲＹ０１２Ａ
－７
モジュールＡ ＳＩＤＥ１
残テープボックスあり
MODULE A SIDE 1 TAPE BOX CHECK
モジュールＢ ＳＩＤＥ１
残テープボックスあり
ＣＮ９
MODULE B SIDE1 TAPE BOX CHECK
＋２４ＶＭ１
－４
ＢＸ０１Ｄ
－５
ＢＲＹ０１２
－６
ＢＲＹ０１２Ａ
－７
インターフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
モジュールＡ ＳＩＤＥ２
残テープボックスあり
MODULE A SIDE 2 TAPE BOX CHECK
モジュールＢ ＳＩＤＥ２
残テープボックスあり
MODULE B SIDE2 TAPE BOX CHECK
ＣＮ８
－１
＋２４ＶＭ１
－２
ＢＸ０１Ｃ
－３
ＡＲＹ０３２
－４
ＡＲＹ０３２Ａ
－５
＋２４ＶＭ１
－６
ＢＸ０１Ｅ
－７
ＢＲＹ０３２
－８
ＢＲＹ０３２Ａ
－１
－２
－３
－１６
－１
－２
－３
－１４
－１５
－１６
b0X361Gq
b0X361Gq
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS
Downloaded at 2020/05/19 21:05:96 by 395B4578 DL#wIFD31dS