2RGXBA020207ElectricalSchematic(AIMEXII) .pdf - 第18页
１ ０ １ １ ０ ２ １ ０ ３ １ ０ ４ １ ０ ５ １ ０ ６ １ ０ ７ １ ０ ８ １ ０ ９ １ １ ０ １ １ １ １ １ ２ １ １ ３ １ １ ４ １ １ ５ １ １ ６ １ １ ７ １ １ ８ １ １ ９ １ ２ ０ １ ２ １ １ ２ ２ １ ２ ３ １ ２ ４ １ ２ ５ １ ２ ６ １ ２ ７ １ ２ ８ １ ２ ９ １ ３ ０ １ ３ １ １ ３ ２ １ ３ ３ １ ３ ４ １ ３ ５ １ ３ ６ １ ３ …
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
Ｉ／Ｏアドレス表
I/O ADDRESS LIST
ＡＩＭＥＸⅡ
ＴＩＴＬＥ
モジュールＢ ＳＩＤＥ２ Ｉ／Ｏ
MODULE B SIDE2 I/O
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
５
５
FUJI SECRET
2RGXBA014201
モジュールＢ ＳＩＤＥ２ ＣＰＵ基板 Ｉ／Ｏアドレス表
MODULE B SIDE 2 CPU PANEL I/O ADDRESS
【ＩＮＰＵＴ】 【ＯＵＴＰＵＴ】
ADDRESS 信号名称 SIGNAL NAME ADDRESS 信号名称 SIGNAL NAME
ＢＴＸ０００ ＢＴＹ０００
ＢＴＸ００１ ＢＴＹ００１
ＢＴＸ００２ ＢＴＹ００２
ＢＴＸ００３ ＢＴＹ００３
ＢＴＸ００４ ＢＴＹ００４
ＢＴＸ００５ ＢＴＹ００５
ＢＴＸ００６ ＢＴＹ００６
ＢＴＸ００７ ＢＴＹ００７
ＢＴＸ００８ ＢＴＹ００８
ＢＴＸ００９ ＢＴＹ００９
ＢＴＸ００Ａ ＢＴＹ００Ａ
ＢＴＸ００Ｂ ＢＴＹ００Ｂ
ＢＴＸ００Ｃ ＢＴＹ００Ｃ
ＢＴＸ００Ｄ ＢＴＹ００Ｄ
ＢＴＸ００Ｅ ＢＴＹ００Ｅ
ＢＴＸ００Ｆ ＢＴＹ００Ｆ
ＢＴＸ０１０ ＢＴＹ０１０
ＢＴＸ０１１ ＢＴＹ０１１
ＢＴＸ０１２ ＢＴＹ０１２
ＢＴＸ０１３ ＢＴＹ０１３
ＢＴＸ０１４ ＢＴＹ０１４
ＢＴＸ０１５ ＢＴＹ０１５
ＢＴＸ０１６ ＢＴＹ０１６
ＢＴＸ０１７ ＢＴＹ０１７
ＢＴＸ０１８ ＢＴＹ０１８
ＢＴＸ０１９ ＢＴＹ０１９
ＢＴＸ０１Ａ ＢＴＹ０１Ａ
ＢＴＸ０１Ｂ ＢＴＹ０１Ｂ
ＢＴＸ０１Ｃ ＢＴＹ０１Ｃ
ＢＴＸ０１Ｄ ＢＴＹ０１Ｄ
ＢＴＸ０１Ｅ ＢＴＹ０１Ｅ
ＢＴＸ０１Ｆ ＢＴＹ０１Ｆ
< > : Single robot specification
＜ ＞ : シングルロボット仕様
ＭＯＤＵＬＥ ＫＩＮＤ ＆
ＲＥＶＩＳＩＯＮ
ＲＥＶＩＳＩＯＮ
ＲＥＶ．０
ＢＴＸ０１３ ０
ＢＴＸ０１４ １
ＭＯＤＵＬＥ ＫＩＮＤ
ＢＴＸ０１５ ０
ＢＴＸ０１Ｃ ＢＴＸ０１Ｄ ＢＴＸ０１Ｅ ＢＴＸ０１Ｆ ＡＩＭＥＸ
０ １ １ １ ＡＩＭＥＸ
ＣＯＮＶＥＹＯＲ ＫＩＮＤ
ＲＥＶＩＳＩＯＮ
ＲＥＶ．０
ＢＴＸ００２ ０
ＢＴＸ００Ｆ ０
ＭＯＤＵＬＥ ＫＩＮＤ ＣＯＮＴＲＯＬＬＥＲ ＫＩＮＤ
ＡＩＭＥＸ ＭＯＤＵＬＥ Ａ ３ ＡＸＩＳ ＳＩＮＧＬＥ
ＡＩＭＥＸ ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ３ ＡＸＩＳ ＳＩＮＧＬＥ
ＡＩＭＥＸ ＭＯＤＵＬＥ Ａ ７ ＡＸＩＳ ＤＯＵＢＬＥ
ＡＩＭＥＸ ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ７ ＡＸＩＳ ＤＯＵＢＬＥ
モジュールＢ ＳＩＤＥ２ リモートＩ／Ｏ基板 Ｉ／Ｏアドレス表
MODULE B SIDE 2 REMOTE I/O PANEL I/O ADDRESS
【ＩＮＰＵＴ】 【ＯＵＴＰＵＴ】
ADDRESS 信号名称 SIGNAL NAME ADDRESS 信号名称 SIGNAL NAME
ＢＲＸ０２０ ＢＲＹ０２０
ＢＲＸ０２１ ＢＲＹ０２１
ＢＲＸ０２２ ＢＲＹ０２２
ＢＲＸ０２３ ＢＲＹ０２３
ＢＲＸ０２４ ＢＲＹ０２４
ＢＲＸ０２５ ＢＲＹ０２５
ＢＲＸ０２６ ＢＲＹ０２６
ＢＲＸ０２７ ＢＲＹ０２７
ＢＲＸ０２８ ＢＲＹ０２８
ＢＲＸ０２９ ＢＲＹ０２９
ＢＲＸ０２Ａ ＢＲＹ０２Ａ
ＢＲＸ０２Ｂ ＢＲＹ０２Ｂ
ＢＲＸ０２Ｃ ＢＲＹ０２Ｃ
ＢＲＸ０２Ｄ ＢＲＹ０２Ｄ
ＢＲＸ０２Ｅ ＢＲＹ０２Ｅ
ＢＲＸ０２Ｆ ＢＲＹ０２Ｆ
ＢＲＸ０３０ ＢＲＹ０３０
ＢＲＸ０３１ ＢＲＹ０３１
ＢＲＸ０３２ ＢＲＹ０３２
ＢＲＸ０３３ ＢＲＹ０３３
ＢＲＸ０３４ ＢＲＹ０３４
ＢＲＸ０３５ ＢＲＹ０３５
ＢＲＸ０３６ ＢＲＹ０３６
ＢＲＸ０３７ ＢＲＹ０３７
ＢＲＸ０３８ ＢＲＹ０３８
ＢＲＸ０３９ ＢＲＹ０３９
ＢＲＸ０３Ａ ＢＲＹ０３Ａ
ＢＲＸ０３Ｂ ＢＲＹ０３Ｂ
ＢＲＸ０３Ｃ ＢＲＹ０３Ｃ
ＢＲＸ０３Ｄ ＢＲＹ０３Ｄ
ＢＲＸ０３Ｅ ＢＲＹ０３Ｅ
ＢＲＸ０３Ｆ ＢＲＹ０３Ｆ
ＢＲＸ０５０
ＢＲＸ０５１
ＢＲＸ０５２
ＢＲＸ０５３
ＢＲＸ０５４
ＢＲＸ０５５
ＢＲＸ０５６
ＢＲＸ０５７
ＢＲＸ０５８
ＢＲＸ０５９
ＢＲＸ０５Ａ
ＢＲＸ０５Ｂ
ＢＲＸ０５Ｃ
ＢＲＸ０５Ｄ
ＢＲＸ０５Ｅ
ＢＲＸ０５Ｆ
ＲＯＢＯＴ ２ ＴＹＰＥ ＣＨＥＣＫ
ＲＯＢＯＴ
ＢＲＸ０２Ｄ ＢＲＸ０２Ｅ ＢＲＸ０２Ｆ
０ ０ ０ ＮＯＴ ＵＳＥ
０ ０ １ １．５Ｉｎｃｈ
０ １ ０
０ １ １ ＳＴＡＮＤＥＲＤ
１ ０ ０
１ ０ １
１ １ ０
１ １ １ ＮＯＴ ＲＯＢＯＴ
ＤＥＶＩＣＥ ＵＮＩＴ ２ ＴＹＰＥ ＣＨＥＣＫ
ＤＥＶＩＣＥ
ＵＮＩＴ
ＢＲＸ０３Ｂ ＢＲＸ０３Ｅ ＢＲＸ０３Ｆ
０ ０ ０ ＮＯＴ ＤＥＶＩＣＥ
０ ０ １ ＴＲＡＹ ＬＴ
０ １ ０ ＴＲＡＹ Ｌ
０ １ １
１ ０ ０ ＰＡＬＥＴＴＥ
１ ０ １
１ １ ０
１ １ １
セーフティーリレー正常
SAFETY RELAY OK
コンベア種０
CONVEYOR TYPE 0
Ｓｉｄｅ２ パーツカメラ無し
SIDE2 NO PARTS CAMERA
Ｓｉｄｅ２ ライトカーテン確認
SIDE2 LIGHT CURTAIN CHECK
Ｙ軸インターロック確認
Y AXIS INTERLOCK CHECK
コンベア種１
CONVEYOR TYPE 1
Ｆ→Ｔ ハンドリング信号１３
F TO T HANDLING SIGNAL 13
ヘッド２レバー戻り確認センサー（原点位置）
HEAD 2 LEVER RETURN CHECK SENSOR (ORIGIN POSITION)
Ｆ→Ｔ ハンドリング信号１４
F TO T HANDLING SIGNAL 14
モジュールリビジョン２
MODULE REVISION 2
モジュールリビジョン０
MODULE REVISION 0
モジュールリビジョン１
MODULE REVISION 1
モジュールアドレス確認１
MODULE ADDRESS CHECK 1
モジュールアドレス確認２
MODULE ADDRESS CHECK 2
モジュールアドレス確認３
MODULE ADDRESS CHECK 3
モジュールアドレス確認４
MODULE ADDRESS CHECK 4
Ｆ→Ｔ ハンドリング信号１５
F TO T HANDLING SIGNAL 15
Ｆ→Ｔ ハンドリング信号１６
F TO T HANDLING SIGNAL 16
モジュール種確認１
MODULE TYPE CHECK 1
モジュール種確認２
MODULE TYPE CHECK 2
モジュール種確認３
MODULE TYPE CHECK 3
モジュール種確認４
MODULE TYPE CHECK 4
Ｓｉｄｅ２ フィーダＤＯ信号
SIDE2 FEEDER DO SIGNAL
＜Ｓｉｄｅ１ フィーダＤＯ信号＞
<SIDE1 FEEDER DO SIGNAL>
Ｓｉｄｅ２ 段取替え
SIDE2 CHANGEOVER
コプラナリティトリガ信号２
COPLANARITY TRIGGER SIGNAL 2
パーツカメラ２側射Ａ
PARTS CAMERA 2 SIDELIGHT A
パーツカメラ２側射Ｂ
PARTS CAMERA 2 SIDELIGHT B
パーツカメラ２側射Ｃ
PARTS CAMERA 2 SIDELIGHT C
パーツカメラ２落射
PARTS CAMERA 2 INCIDENT LIGHT
＜パーツカメラ１側射Ａ＞
<PARTS CAMERA 1 SIDELIGHT A>
＜パーツカメラ１側射Ｂ＞
<PARTS CAMERA 1 SIDELIGHT B>
＜パーツカメラ１側射Ｃ＞
<PARTS CAMERA 1 SIDELIGHT C>
＜パーツカメラ１落射＞
<PARTS CAMERA 1 INCIDENT LIGHT>
Ｔ→Ｆ ハンドリング信号１３
T TO F HANDLING SIGNAL 13
Ｔ→Ｆ ハンドリング信号１４
T TO F HANDLING SIGNAL 14
パーツカメラ２トリガ信号
PARTS CAMERA 2 TRIGGER SIGNAL
＜パーツカメラ１トリガ信号＞
<PARTS CAMERA 1 TRIGGER SIGNAL>
マークカメラ２トリガ信号
MARK CAMERA 2 TRIGGER SIGNAL
予約
RESERVE
Ｔ→Ｆ ハンドリング信号１５
T TO F HANDLING SIGNAL 15
Ｔ→Ｆ ハンドリング信号１６
T TO F HANDLING SIGNAL 16
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー上昇端１確認
SIDE2 NOZZLE CHANGER UPPER LIMIT 1 CHECK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー上昇端２確認
SIDE2 NOZZLE CHANGER UPPER LIMIT 2 CHECK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー下降端確認
SIDE2 NOZZLE CHANGER LOWER LIMIT CHECK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャーテーブルシャッター閉確認
SIDE2 NOZZLE CHANGER TABLE SHUTTER CLOSED CHECK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャーテーブルシャッター開確認
SIDE2 NOZZLE CHANGER TABLE SHUTTER OPEN CHECK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー着座確認
SIDE2 NOZZLE CHANGER DOCKING CHECK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー接続確認
SIDE2 NOZZLE CHANGER CONNECTION CHECK
Ｙ２軸リニアモータ温度正常
Y2 AXIS LINEAR MOTOR TEMPERATURE OK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャ右側
SIDE2 NOZZLE CHANGER RIGHT SIDE
ハイブリットキャリブ吸着確認
HYBRID CALIBRATION PICK UP CHECK
Ｓｉｄｅ２ フィーダ浮き上がり検知
SIDE2 RAISED FEEDER CHECK
Ｓｉｄｅ２ デバイスパレット取外し
SIDE2 DEVICE PALLET RELEASE
ヘッド接続確認２
HEAD CONNECTION CHECK 2
ロボット２種確認１
ROBOT 2 TYPE CHECK 1
ロボット２種確認２
ROBOT 2 TYPE CHECK 2
ロボット２種確認３
ROBOT 2 TYPE CHECK 3
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレット密着確認（右）
SIDE2 FEEDER PALLET SET CHECK (RIGHT)
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレット密着確認（左）
SIDE2 FEEDER PALLET SET CHECK (LEFT)
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレット確認
SIDE2 FEEDER PALLET CHECK
Ｓｉｄｅ２ イベント報告
SIDE2 EVENT REPORT
Ｓｉｄｅ２ 異常イベント報告
SIDE2 ERROR EVENT REPORT
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレットクランプ確認
SIDE2 FEEDER PALLET CLAMP CHECK
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレットアンクランプ確認
SIDE2 FEEDER PALLET UNCLAMP CHECK
Ｓｉｄｅ２ 部品廃棄ＢＯＸ着座確認
SIDE2 PARTS EJECT BOX SET CHECK
基板高さセンサあり確認
PANEL HIGHT SENSOR CHECK
Ｓｉｄｅ２ 残テープカッター動作端確認
SIDE2 TAPE CUTTER STROKE END CHECK
Ｓｉｄｅ２ 残テープカッター原位置確認
SIDE2 TAPE CUTTER ORIGIN POSITION CHECK
Ｓｉｄｅ２ ユニット接続確認０
SIDE2 UNIT CONNECTION CHECK 0
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレット前進位置確認
SIDE2 FEEDER PALLET FRONT POSITION CHECK
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレット標準位置確認
SIDE2 FEEDER PALLET NORMAL POSITION CHECK
Ｓｉｄｅ２ ユニット接続確認１
SIDE2 UNIT CONNECTION CHECK 1
Ｓｉｄｅ２ ユニット接続確認２
SIDE2 UNIT CONNECTION CHECK 2
Ｓｉｄｅ１ 正面カバー開閉確認
SIDE1 FRONT COVER CLOSED CHECK
Ｓｉｄｅ２ 正面カバー開閉確認
SIDE2 FRONT COVER CLOSED CHECK
Ｓｉｄｅ１ 非常停止ＳＷ
SIDE1 EMERGENCY SWITCH
Ｓｉｄｅ２ 非常停止ＳＷ
SIDE2 EMERGENCY SWITCH
制御ＢＯＸ内ヒューズＯＫ
CONTROL BOX FUSES OK
セーフティリレー正常（ディレー）
SAFETY RELAY OK (DELAY)
ＤＣ２４Ｖ 正常
DC24V OK
パレット冷却ファン正常
PALLET BASE COOLING FAN OK
シングルロボット確認
SINGLE ROBOT CHECK
Ｓｉｄｅ１ 側面カバー開閉確認
SIDE1 SIDE COVER CLOSED CHECK
Ｓｉｄｅ２ 側面カバー開閉確認
SIDE2 SIDE COVER CLOSED CHECK
レーン１側基板バキューム圧確認
LANE1 PANEL VACUUM PRESSURE OK
レーン２側基板バキューム圧確認
LANE2 PANEL VACUUM PRESSURE OK
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー上昇端１
SIDE2 NOZZLE CHANGER UP 1
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー下降端１
SIDE2 NOZZLE CHANGER DOWN 1
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー上昇端２
SIDE2 NOZZLE CHANGER UP 2
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャー下降端２
SIDE2 NOZZLE CHANGER DOWN 2
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャーテーブルシャッター開
SIDE2 NOZZLE CHANGER TABLE SHUTTER OPEN
Ｓｉｄｅ２ ノズルチェンジャーテーブルシャッター閉
SIDE2 NOZZLE CHANGER TABLE SHUTTER CLOSE
ハイブリットキャリブ吸着バキュームＯＮ
HYBRID CALIBRATION VACUUM ON
ハイブリットキャリブ吸着バキュームＯＦＦ
HYBRID CALIBRATION VACUUM OFF
レーン１側基板吸着バキュームＯＮ
LANE1 PANEL VACUUM PRESSURE ON
レーン１側基板吸着バキュームＯＦＦ
LANE1 PANEL VACUUM PRESSURE OFF
Ｓｉｄｅ２ パレット電源入り
SIDE2 PALLET POWER ON
Ｓｉｄｅ１ 側面カバーロック
SIDE1 SIDE COVER LOCK
Ｓｉｄｅ２ ノズル清掃バキューム
SIDE2 NOZZLE DUST VACUUM
Ｓｉｄｅ２ デバイスパレット取外し
SIDE2 DEVICE PALLET RELEASE
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレットクランプ
SIDE2 FEEDER PALLET CLAMP
Ｓｉｄｅ２ フィーダパレットアンクランプ
SIDE2 FEEDER PALLET UNCLAMP
Ｓｉｄｅ２ 残テープカッター動作指示
SIDE2 TAPE CUT
レーン２側基板吸着バキュームＯＮ
LANE2 PANEL VACUUM PRESSURE ON
レーン２側基板吸着バキュームＯＦＦ
LANE2 PANEL VACUUM PRESSURE OFF
基板高さセンサＯＮ
SIDE2 SIDE COVER LOCK
Ｓｉｄｅ２ 側面カバーロック
SIDE2 SIDE COVER LOCK
運転準備ＯＫ
MACHINE READY ON
マスターＯＮ
MASTER ON
Ｓｉｄｅ１ 正面カバーロック
SIDE1 FRONT COVER LOCK
Ｓｉｄｅ２ 正面カバーロック
SIDE2 FRONT COVER LOCK
サーボ制御電源、ヘッド電源入り
SERVO CONTROL POWER,HEAD POWER ON
Ｓｉｄｅ２ 基板高さセンサゼロシフト
SIDE2 PH2 SENSOR ZERO CONFIGURATION
Ｓｉｄｅ２ 基板高さセンサ投光停止
SIDE2 PH2 SENSOR LASER STOP
ＢＲＸ０７０
Ｓｉｄｅ２ オートツールステーション有確認
SIDE2 AUTO-TOOL STATION CHECK
ＢＲＸ０７１
Ｓｉｄｅ２ オートツールステーション上昇端確認
SIDE2 AUTO-TOOL STATION UPPER LIMIT CHECK
ＢＲＸ０７２
Ｓｉｄｅ２ オートツールステーション下降端確認
SIDE2 AUTO-TOOL STATION LOWER LIMIT CHECK
ＢＲＸ０７３
Ｓｉｄｅ２ オートツールステーションシャッター閉じ確認
SIDE2 AUTO-TOOL STATION SHUTTER CLOSE CHECK
ＢＲＸ０７４
Ｓｉｄｅ２ オートツールステーションシャッター開き確認
SIDE2 AUTO-TOOL STATION SHUTTER OPEN CHECK
ＢＲＸ０７５
ＢＲＸ０７６
ＢＲＸ０７７
ＢＲＸ０７８
ＢＲＸ０７９
ＢＲＸ０７Ａ
ＢＲＸ０７Ｂ
ＢＲＸ０７Ｃ
ＢＲＸ０７Ｄ
ＢＲＸ０７Ｅ
ＢＲＸ０７Ｆ
ＢＲＹ０７０ Ｓｉｄｅ２ オートツールステーション上昇
SIDE2 AUTO-TOOL STATION RAISE
ＢＲＹ０７１ Ｓｉｄｅ２ オートツールステーション下降
SIDE2 AUTO-TOOL STATION LOWER
ＢＲＹ０７２
Ｓｉｄｅ２ オートツールステーションシャッター閉じ
SIDE2 AUTO-TOOL STATION SHUTTER CLOSE
ＢＲＹ０７３
Ｓｉｄｅ２ オートツールステーションシャッター開き
SIDE2 AUTO-TOOL STATION SHUTTER OPEN
ＢＲＹ０７４
ＢＲＹ０７５
ＢＲＹ０７６
ＢＲＹ０７７
ＢＲＹ０７８
ＢＲＹ０７９
ＢＲＹ０７Ａ
ＢＲＹ０７Ｂ
ＢＲＹ０７Ｃ
ＢＲＹ０７Ｄ
ＢＲＹ０７Ｅ
ＢＲＹ０７Ｆ
Ｓｉｄｅ２ リモートＩ／Ｏ基板有り
Ｓｉｄｅ１ リモートＩ／Ｏ基板有り
SIDE2 REMOTE I/O BOARD CHECK
SIDE1 REMOTE I/O BOARD CHECK
予約
RECEIVED
使用不可
Not used
b0X361Gq
b0X361Gq
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１ ０１
１ ０２
１ ０３
１ ０４
１ ０５
１ ０６
１ ０７
１ ０８
１ ０９
１ １０
１ １１
１ １２
１ １３
１ １４
１ １５
１ １６
１ １７
１ １８
１ １９
１ ２０
１ ２１
１ ２２
１ ２３
１ ２４
１ ２５
１ ２６
１ ２７
１ ２８
１ ２９
１ ３０
１ ３１
１ ３２
１ ３３
１ ３４
１ ３５
１ ３６
１ ３７
１ ３８
１ ３９
１ ４０
１ ４１
１ ４２
１ ４３
１ ４４
１ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１２
１
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
動力回路（ＡＣ）
POWER SOURCE CIRCUIT (AC)
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
２
FUJI SECRET
2RGXBA014400
ＣＰ１ＣＮ４
ＣＰ１ＣＮ１０
M1NFB2
(20A)
SW
M1NFB1
(30A)
M1NFB3
(20A)
M1NFB5
(10A)
M1CP12
(10A)
ＡＤＤＲＥＳＳ
205
ＡＤＤＲＥＳＳ
1215
サーキットブレーカＢＫＴ
ＡＣ２００～２３０Ｖ ５０／６０Ｈｚ
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＡＫＥＲ ＢＫＴ
ＰＥ
Ｌ１
Ｌ２
Ｌ３
２
２．０ｍｍ
２
３．５ｍｍ
ＣＢＢ ＣＮ２
ＡＲ１１１
－Ａ１
ＡＳ１１１
－Ａ２
ＡＴ１１１
Ｒ００１
Ｓ００１
Ｔ００１
－Ｂ１
－Ｂ２
２
１．２５ｍｍ
ＣＢＢ ＣＮ６
Ｍ１ＳＫ１
－１
－２
オプション装置電源（ＩＮ）
１
ＯＰＴＩＯＮＡＬ ＤＥＶＩＣＥ ＰＯＷＥＲ（ＩＮ）
２
－３
３
－４
２
２．０ｍｍ
Ｒ０１０
Ｓ０１０
Ｔ０１０
２
３．５ｍｍ
ＣＢＢ ＣＮ３
ＢＲ１１１
－Ａ１
ＢＳ１１１
Ｌ１ Ｌ２ Ｌ３
－Ａ２
Ｍ１ＮＦ１
ＢＴ１１１
－Ｂ１
Ｌ１’ Ｌ２’ Ｌ３’
－Ｂ２
２
１．２５ｍｍ
２
３．５ｍｍ
ＣＢＢ ＣＮ７
Ｒ１００
Ｓ１００
Ｔ１００
－１
－２
オプション装置電源（ＯＵＴ）
ＯＰＴＩＯＮＡＬ ＤＥＶＩＣＥ ＰＯＷＥＲ（ＯＵＴ）
－３
－４
２
１．２５ｍｍ
ＣＢＢ ＣＮ４
Ｒ１０１
－１
Ｓ１０１
－２
Ｔ１０１
－３
－４
ＣＢＢ ＣＮ５
－１
ＣＰＵ ＢＯＸ電源
ＣＰＵ ＢＯＸ ＰＯＷＥＲ
－２
－３
サーキットブレーカＢＫＴ
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＡＫＥＲ ＢＫＴ
２
１．２５ｍｍ
Ｒ１００
Ｓ１００
Ｔ１００
ＣＢＢ ＣＮ８
Ｒ１０２
－１
ＳＩＤＥ１ ＰＣ電源
Ｓ１０２
モジュールＡ電源
－２
ＳＩＤＥ１ ＰＣ ＰＯＷＥＲ
ＭＯＤＵＬＥ Ａ ＰＯＷＥＲ ＳＯＵＲＣＥ
Ｔ１０２
－３
ＣＢＢ ＣＮ９
－１
ＳＩＤＥ２ ＰＣ電源
－２
ＳＩＤＥ２ ＰＣ ＰＯＷＥＲ
－３
ＣＢＢ ＣＮ１０
－１
ＬＡＮ ハブ
－２
ＬＡＮ ＨＵＢ
モジュールＢ電源
－３
ＭＯＤＵＬＥ Ｂ ＰＯＷＥＲ ＳＯＵＲＣＥ
真空ポンプ
ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ
ＤＣ電源
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＯＵＲＣＥ
ＣＢ ＣＮ１
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
制御盤
ＣＢ ＡＣＮ１
－Ａ１
－Ａ２
－Ｂ１
－Ｂ２
制御盤
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＣＢ ＢＣＮ１
－Ａ１
－Ａ２
－Ｂ１
－Ｂ２
ＡＣ ＰＯＷＥＲ
Ｒ１０１
Ａ１
Ｓ１０１
Ａ２
Ａ３
① ② ③
④ ⑤ ⑥
b0X361Gq
b0X361Gq
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２ ０１
２ ０２
２ ０３
２ ０４
２ ０５
２ ０６
２ ０７
２ ０８
２ ０９
２ １０
２ １１
２ １２
２ １３
２ １４
２ １５
２ １６
２ １７
２ １８
２ １９
２ ２０
２ ２１
２ ２２
２ ２３
２ ２４
２ ２５
２ ２６
２ ２７
２ ２８
２ ２９
２ ３０
２ ３１
２ ３２
２ ３３
２ ３４
２ ３５
２ ３６
２ ３７
２ ３８
２ ３９
２ ４０
２ ４１
２ ４２
２ ４３
２ ４４
２ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１２
２
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
動力回路（ＡＣ）
POWER SOURCE CIRCUIT (AC)
ＡＩＭＥＸⅡ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
２
FUJI SECRET
2RGXBA014400
ＣＰ１ＣＮ４
RS101_1
S101
ST101_1
RT101_1
R101
S101
R101
T101
T101
Ｍ
～
M1M1
M1F2
（７２℃）
ＦＵ
ＡＤＤＲＥＳＳ
118
ＡＤＤＲＥＳＳ
1005
RS101_1
ＡＤＤＲＥＳＳ
1105
ST101_1
ＡＤＤＲＥＳＳ
1205
RT101_1
(M1IV1)
U1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
(M1PCB1)
AP1/M1
パーツ真空ポンプ制御ＢＫＴ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＫＴ
ＣＢ ＣＮ１ ＣＢ ＣＮ２ ＭＳ１ ＣＮ１
Ｒ１０１
－１ －１ －１
Ｓ１０１
サーキットブレーカＢＫＴ
－２ －２ －２
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＡＫＥＲ ＢＫＴ
ＣＢＢ ＣＮ４
Ｔ１０１
－３ －３ －３
－４ －４
－４
インタフェース基板
ＭＳ１ ＣＮ３
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
－６
－５
ＣＮ１１ －９
＋２４ＶＭ１
－１
ＢＸ００８
－２
－１
＋２４ＶＭ１
－３ －２
Ｍ１４１
－４ －１０
ＢＹ００６
－５
ＧＡ
－６
－７
－８
Ｍ１４３
－９
－１０
ＣＢ ＣＮ３
－１
－２
－３
－４
インタフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１６
＋２４ＶＭ１
－１
ＢＸ００Ｂ
－２
＋２４ＶＭ１
－３
Ｍ１４２
－４
ＢＹ００７
－５
ＧＡ
－６
－７
－８
Ｍ１４４
－９
－１０
インタフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１２
＋２４ＶＭ１
－９
ＢＸ００Ａ
－１０
ＮＥＸＴ ＰＡＧＥ
ＧＡ
－１１
２
１．２５ｍｍ
Ｍ１ＩＶ１
Ｐ１ Ｐ２
ＭＳ１ ＣＮ２
Ｒ１０１ Ｍ１Ｕ１
Ｒ／Ｌ１ Ｕ
－１
パーツ真空ポンプモータ
Ｓ１０１ Ｍ１Ｖ１
Ｓ／Ｌ２ Ｖ
－２
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＭＯＴＯＲ
４００Ｗ
Ｔ１０１ Ｍ１Ｗ１
Ｔ／Ｌ３ Ｗ
－３
－６
パーツ温度ヒューズ
ＳＨＩＥＬＤ
ＳＨＩＥＬＤ
－５
ＰＡＲＴＳ ＴＨＥＲＭＯ ＦＵＳＥ
ＧＡ ＢＸ００８
ＣＭ ３０Ｂ
ＢＹ００６
ＦＷＤ
Ｍ１４３ ＋２４ＶＭ１
Ｘ１ ３０Ｃ
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
制御盤
b0X361Gq
b0X361Gq
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