SER08989020_YV64 Service_J.pdf - 第37页
3- 16 SER08989020 調整 第 3 章 1 5 ヘッド部分のエア漏れ（真空度低下）をチェックします。 下図のように、 「タイプ 3 2 」ノズルとエアチューブをノズルホルダー部に継ぎ 足してから真空ゲージを接続して、真空度 （ mmHg ） を測定してください。 真空度が -500mHg 以上であれば正常です。 ■ 真空ゲージ接続例 20843104-00 エアチューブ 真空ゲージ 参考 真空ゲージで測定した結果が -…
3-
15
SER08989020
調整
第
3
章
1
1.1.2 真空発生動作の確認
ヘッド1 ∼ 4 の真空発生動作の確認方法を説明します。また、真空発生器の発
生真空度を測定することで、メンテナンス（清掃または交換）の必要性が判断で
きます。あらかじめ、元圧が適正値（本章の「5. 空圧装置」参照）になってい
ることを確認し、適当なエアチューブと真空ゲージを用意してください。
e
1
非常停止ボタンを押します。
2
出力モニタ−画面を開き、対象ヘッドを選択します。
1.「3/4/C1 出力モニター」を選択実行します。
2. 矢印キーを使って、カーソルを「ヘッド吸着」欄の「TH01∼4」に合わ
せます。
6A043012-00
[↑↓←→]で選択し [Enter]で実行
[ESC]:中断,ｺﾏﾝﾄﾞｳｨﾝﾄﾞｳﾍ
出力ﾓﾆﾀｰ 指定ｱｰﾑ
軸移動速度
TH01
本機
100
通常 0
ﾍｯﾄﾞ吸着
TH01-08 10000000
名 称 名 称OUT
IN
ﾍｯﾄﾞ1 吸着
XY軸:
:
/吸着 1
3
[ENTER]キーを押して、対象ヘッドの真空発生をさせます。
出力モニター表示は、真空発生時に "1" に変わります。
4
真空発生を確認します。
対象ヘッドのノズル先端開口部に指を当てて、実際に吸着が発生していること
を確認します。
■ 真空発生の確認
10843102-00
3-
16
SER08989020
調整
第
3
章
1
5
ヘッド部分のエア漏れ（真空度低下）をチェックします。
下図のように、「タイプ32」ノズルとエアチューブをノズルホルダー部に継ぎ
足してから真空ゲージを接続して、真空度 （mmHg ）を測定してください。
真空度が-500mHg以上であれば正常です。
■ 真空ゲージ接続例
20843104-00
エアチューブ真空ゲージ
参考
真空ゲージで測定した結果が -500mmHg 以下になる場合は、真空発生経路（ノズルシャフト、エ
アホース等）の汚れ、またはノズル詰まりが考えられます。上記以外の場合は、真空発生装置の機
能低下が考えられます。
3-
17
SER08989020
調整
第
3
章
1
1.1.3 真空センサーの機能の確認
以下の手順で真空センサーの機能を確認します。
1
前述のStep 1 ∼3 で対象ヘッドの真空発生器を動作させて
おきます。
2
「3/4/ 手動」→「3A 真空センサー」コマンドを実行します。
操作ディスプレイに真空センサーレベルが表示されます。
■ 真空センサーレベル表示
60843104-00
<ｺﾏﾝﾄﾞﾘｽﾄ> A/状態選択
真空ｾﾝｻｰﾚﾍﾞﾙ
現在値
137
0
0
0
上限値
215
0
0
0
下限値
135
0
0
0
ﾍｯﾄﾞ
A1
A2
A3
A4
3
吸着センサーの機能を確認します。
対象ヘッドのノズル先端開口部に指を当てたり離したりして、対応する吸着セ
ンサーの「現在値」表示（棒グラフと数字）が変化することを確認します。吸
着センサーが正常であれば、ノズル開口部を指で塞いだときに表示レベルが上
がります。
4
出力モニター画面 に戻り、対象ヘッドの吸着動作を止めます。
カーソルが「ヘッド吸着」欄の対象ヘッドにあることを確認して[ENTER]キー
を押すと、真空発生器が止まります。