CX-1_使用说明书.pdf - 第483页
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作 ● 当标记识别不稳定时，按下照明条件设置按钮，设置 照明图案 。 请在指定测定框的左上方前，设置照明图案。 图 4-5-2-3-1-3 照明条件设置 按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请进行照明图案的设置。 图 4-5-2-3-1-4 照明图案设置 ·可通过<应用>按钮来确认所设置光量下的图像。 照明图案 处理 标准照明 识别通常的基板标记时使用。 RE GI ST/ CO VE R …
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
按继续按钮则继续进行示教，摄像机移动到标记的XY坐标，在监视画面上显示出示教对象(要
记忆的)的图案。
※当监视器画面上没有想示教的图案时，请确认输入的坐标是否正确。
※对于陶瓷基板标记(标记为白色)，确认后请再次按下“CAMERA”。在此按摄像机键，
可切换极性。
③ 请设置检测框。
按照上面、左面、下面及右面的顺序，利用上下左右箭头键(使用 FAST 键改变检测框的移
动速度)来调整、输入检测框。
此时，将自动识别标记，并获的校正所需的数据。
显示摄像机图形和长方形的框。
首先设置上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整完成后按 ENTER 键。
同样的，设置下面及右面的刻度框。
调整完成后按 ENTER 键。
自动获得标记周围的噪音隔离级别，并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见且周围的噪音非常小。
调整结束后请按ENTER键。
4-158
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
● 当标记识别不稳定时，按下照明条件设置按钮，设置照明图案。
请在指定测定框的左上方前，设置照明图案。
图 4-5-2-3-1-3 照明条件设置
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请进行照明图案的设置。
图 4-5-2-3-1-4 照明图案设置
·可通过<应用>按钮来确认所设置光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
REGIST/COVER FILM 在标记上有阻剂或保护膜，标准照明时标记反射不佳，识
别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设置垂直、角度照明的光量时使用。
与标记相关的信息相同，仅对检测框进行重新示教时，如果按下 HOD 的 NEXT 键，
则可略过③的操作。
此时，重新识别标记时，NEXT 键无效。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有
时光亮不稳定。
4-159
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)
选择正确的标记。
[＊]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检测框的示教。
④ 完成的操作后，自动将大小为标记尺寸 1.5 倍的窗口移动到画面中心(默认窗口)。
想改变检测框时，按照与④相同的步骤进行。
在此，如果按下 HOD 的 PREVIOUS 键，可以返回检测框的示教(③的操作)。
完成调整后，按 ENTER 键。
按与刻度框同样的方式来设置检测框}
设置的方法与刻度框相同。
4-160