CX-1_使用说明书.pdf - 第490页
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作 当不需要改变检测框时，只按 ENTER 键输入。 ********** ********** 与刻度框同样，设置检测 框 。 设置方法与刻度框的设置方法相同。 虚线部分为模板设置框，实际不显示。 在画面下方显示“Set Left-T op Point” 。 调整完成后按 ENTER 键。 在画面下显示“Set Right-Bo ttom Point” 。 此时，如果按下 HOD 的 PREVIOUS…
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
然后，用标记判定设置来选择PR
*请将标记对准PR的位置(HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键))，然后按下ENTER键。
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[ *]ＰＲ
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模板的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)。当模板过大时，会显示错
误并返回③。
④ 进行模板画面重心的示教。
在画面中显示
刻度框和十字光标。
用“HOD”移动十字光标，决定模板的重心(该位置与
基板数据的标记坐标一致)。
画面下方显示“TempMatch－Set Center”。
画面下方显示“Select Mark
by Up or Down Key”。
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⑤ 请进行检测框的示教。
完成④的操作后，自动将④操作中所设置的大小为框尺寸1.5倍的窗口与画面中心对准。(默
认窗口)想改变检测框时，按照与③相同的步骤进行。
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第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
当不需要改变检测框时，只按ENTER键输入。
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与刻度框同样，设置检测
框。
设置方法与刻度框的设置方法相同。
虚线部分为模板设置框，实际不显示。
在画面下方显示“Set Left-Top Point”。
调整完成后按 ENTER 键。
在画面下显示“Set Right-Bottom Point”。
此时，如果按下 HOD 的 PREVIOUS 键，可以返回检测框的示教(③的操作)中。
⑥ 识别的示教结束后，标记数据的旁边显示(T)，表示示教已完成。
需对使用的全部标记进行识别示教。
此外，在示教过程中按下HOD的CANCEL键，将结束当前的示教。(此时，至此输入的数据全
部无效)
按下CANCEL键时，装置不移动。
● 关于模板设置的注意事项
1) 请确认在检测框内没有与已设置的模板相类似的图案。
2) 图案的大小与标准标记相同,为 0.5～3mm。
3) 坐标值请采用设计值(CAD 数据)。用若户指定模板数据，则不能求出精确的图案中心位置。
由于是以十字光标的移动来进行示教，所以用户所指定的位置将直接被视作中心位置(当
为一般的标记时，将计算获得的重心位置作为图案的中心位置，所以不会产生误差)。
4) 不能对用户指定的模板进行图像复制。
5) 将使用了用户指定模板的生产程序保存到 FD 时，如果空余空间不足，可能无法保存生产
程序。
6) 从 FD 种读取使用了用户指定模板的生产程序很花时间，所以建议不要直接用 FD 读取或保
存。
7) 复制保存在 HD 中的生产程序时，请从主菜单的“文件”中的“文件管理(参照)”中复制
到 FD 中。
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第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
4-5-2-4 吸取位置校正的示教 4-5-2-4 吸取位置校正的示教
吸取位置校正的识别示教取位置校正的识别示教
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
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吸
现就识别示教的基本操作方法进行说明如下。
操作顺序：
①将元件数据附加信息中的吸取位置校正(OCC)校正设置为[执行]。
设置后，把光标移动到示教的编辑框内。
图 4-5-2-4-1 吸取位置校正示教
② 按下 HOD 的 CAMERA 键后，显示如下画面。
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