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第1部 基本篇 第4章 生产程序制作 8) 跟踪时的 SOT 方向检查(可选项) 在跟踪暂停时，可进行SOT方向检查。 在SOT方向检查中，显示如下画面。 图 4-5-4-4- 4-10 SOT方向检查后，检查结果以“OK”或“NG”来显示。 9) 跟踪时的验证检查(可选项) 在跟踪暂停时，可进行验证检查。 进行元件验证时，显示如下画面。 图 4-5-4-4 -4-11 验证检查后，检查测定值及结果以“OK”或“NG”来显示。 4-23…
第1部 基本篇 第4章 生产程序制作
7) 吸取高度跟踪时在各点的动作
① 如果在吸取高度跟踪的条件设置中已设置为“如果与测量值间有差异则停止”
则与测量值间有差异时，显示如下信息。
自动传送将停止，请确认吸取数据的高度值。
图 4-5-4-4-4-6
② 如果在吸取高度跟踪的条件设置中已设置为“如果无法测量则停止”
则无法使用HMS测量时，显示如下对话框。
自动传送将停止，请确认吸取位置。
图 4-5-4-4-4-7
③ 如果在吸取高跟踪的条件设置中设置为“进行测量值的获取动作”
则显示询问：是否将通过HMS获得的测量值加入到吸取数据的Z坐标中的确认画面。
需加入时按下“是”。
图 4-5-4-4-4-8
④ 如果在吸取高度跟踪的条件设置中已设置为“使用摄像机进行位置确认”
则将在VCS监视器中显示吸取位置。当显示以下的确认信息时，请目视进行确认。如果位
置正确，按下“是”，如果想用示教来改变吸取位置，则按下“否”，进行示教操作。
图 4-5-4-4-4-9
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8) 跟踪时的 SOT 方向检查(可选项)
在跟踪暂停时，可进行SOT方向检查。
在SOT方向检查中，显示如下画面。
图 4-5-4-4-4-10
SOT方向检查后，检查结果以“OK”或“NG”来显示。
9) 跟踪时的验证检查(可选项)
在跟踪暂停时，可进行验证检查。
进行元件验证时，显示如下画面。
图 4-5-4-4-4-11
验证检查后，检查测定值及结果以“OK”或“NG”来显示。
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10) 跟踪时的自动示教
跟踪暂时停止时，可以进行自动示教。
自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。
① 尺寸异常时
空洞指的是凹进部分里有元件。空洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时，会显示如下错误提
示。
浓度异常时
异常时，会显示如下错误提示。
③中心偏移时
据与自动示教矫正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。
②
空洞外周浓度
设置的吸取数
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