KE-3010_20V_使用说明书.pdf - 第358页
第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-16 <XL 基板规格 > IN,OUT 传感器 WAIT,STOP,C・OUT, 传感器 WAIT,STOP,C・OUT, 传感器
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-15
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
<M、L、L-Wide 基板规格>
清扫部位
3-3-3 各种传送传感器
实施频度 ：每月
清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
WAIT,STOP,C・OUT 传感器
IN,OUT 传感器
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3-16
<XL 基板规格>
IN,OUT 传感器
WAIT,STOP,C・OUT, 传感器
WAIT,STOP,C・OUT, 传感器
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3-17
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
3-3-4 CAL 块
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
①
②