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第 2 部 功能详解编 第 9 章 手动控制 9-32 9-5-1-2 控制对象:自动调整基板宽度 按下 “ 自动调整基板宽度 ” 按钮,会显示如下画面。 此外,传感器调谐仅在 XL 基板规格中为可选项目。 若机器设置的 [ 使用单元 ] 未勾选 「自动调整基板宽度」 ,在 M 基板 /L 基板 /L-Wide 基板规格时不被 显示,在 XL 基板规格时,控制项目中除了传感器调谐外其他项目均无效。 (1) 状态 显示各传感器、基板传送宽…

第 2 部 功能详解编 第 9 章 手动控制
9-31
9-5-1-1 控制对象:基板传送
按下“基板传送”按钮,会显示如下画面。
(1) 状态
显示传送马达/传感器的 ON、OFF 状态。
(2) 控制项目
点击“执行(E)”按钮,或按下“F3”键后,开始执行控制处理。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
按定位方式指定的方式搬入基板。
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
用在定位方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
(3) 定位方式
通过单选按钮选择定位方式。
控制项目中的“初始化”、“基板搬出”、“基板固定解除”被选中时,将无法设置此项。
(4) 执行
开始控制。

第 2 部 功能详解编 第 9 章 手动控制
9-32
9-5-1-2 控制对象:自动调整基板宽度
按下“自动调整基板宽度”按钮,会显示如下画面。
此外,传感器调谐仅在 XL 基板规格中为可选项目。
若机器设置的[使用单元]未勾选「自动调整基板宽度」,在 M 基板/L 基板/L-Wide 基板规格时不被
显示,在 XL 基板规格时,控制项目中除了传感器调谐外其他项目均无效。
(1) 状态
显示各传感器、基板传送宽度的状态。
(2) 控制项目
点击“执行(E)”按钮,或按下“F3”键后,开始执行控制处理。
1)返回原点
自动调整基板宽度恢复原点。
2)变更幅度
变更传送宽度。
3)传感器调谐(仅 XL 基板规格)
调整传送传感器。
(3) 执行
开始控制。
先用手把,把传送通道扩大到最大宽度后,再执行传感器调谐。
在传送通道窄的状态下进行传感器调谐,或在原状态下未进行传感器调谐就扩大传送通
道时,则会无法传送基板。

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9-33
9-5-1-3 控制对象:马达
按下“马达”按钮后,会显示如下画面。
(1) 马达选择
选择各种控制马达。
(2) 旋转方向
选择马达的旋转方向。
(3) ON/OFF 按钮
控制所选择的传送马达的 ON/OFF。
选择[ON(O)]按钮、[OFF(F)]按钮、[ON/OFF(/)]按钮,或按[F3]键、[F4] 键、[F
5] 键进行控制。