KE-3010_20V_使用说明书.pdf - 第397页
第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-55 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 壳 10 O 环 S-67 2 泵头护罩 11 密封圈 3 泵头盘 12 排气阀按压件 4 碗形密封气缸 13 排气阀 5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫 6 固定器 15 O 环 P-10 7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（ M5×20 ） 8 吸气阀 17 平头小螺钉 (M4×8) 9 连接管 18 圆头小螺钉 (M3×5)
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
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吸气阀、排气阀的更换
1） 松开圆头螺钉(M3×5) ，按下并取下排气阀。
2） 擦干净泵头盘，更换新的排气阀。
3） 盖上排气阀按压件，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)
对泵头盘进行固定。
4） 松开固定吸气阀的圆头螺钉(M3×5)，取下吸气阀和垫片。
5） 擦干净泵头盘，更换新的吸气阀。在将吸气孔、排气孔完全覆盖状态下，安装吸气阀、排气阀。
6） 叠好垫片，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)对
泵头盘进行固定。
※请按照密封材料更换步骤安装护罩。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部位的更换
步骤操作。
泵头盘
吸气阀
排气阀
垫片
排气阀按压件
※涂抹在螺钉头纹路2～3圈。
※螺钉前端处不要涂抹。
Loctite涂抹量
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
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真空泵分解图
No. 名称 No. 名称
1 壳 10 O 环 S-67
2 泵头护罩 11 密封圈
3 泵头盘 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O 环 P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（M5×20）
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)
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3-9 管道系统图
（1）管道系统图（主机）
a-（正气压） <M、L、L-Wide 基板规格>
X
p
lastic rail X
p
lastic rail
Y
p
lastic rail Y
p
lastic rail
【OUT】
【IN】
车间推车气压
后侧
车间推车气压
前侧
Y形三通接头 Y形三通接头
驱动气缸
后侧
切带器(OP）
台架升降机
（OP）
传送电磁阀
Y形三通接头 MTC IF板
MTS IF板
Y形三通接头 Y形三通接头
驱动气缸
前侧
贴片头上升气缸 HEAD正圧
插头φ8
减压弯头
减压弯头
减压弯头
正压计
ATC
Y形三通接头
插头φ8
空气供给
插头
指状阀
气源处理联件
歧管
节流器
节流器
节流器
插头φ8
调压器
異型接头
異型接头
直接接头
直接接头
直接接头
直接接头