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第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-51 ● 密封 圈 的更换 1) 取下泵头护罩的 4 个(左右合计共 8 个)内六角螺栓 (M5×20) 。 2) 取下泵头护罩内测的黑色 密封 圈 , 共 2 个,更换上新的密封圈。 ※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内,请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。 3) 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓 (M5×20) 用 5.0N ・ m 对角拧紧。 (在更换其它消耗部件时, 在 不关闭护罩…

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1 部 基本編 第 3 章 维护
3-50
XL 规格 更换准备>
电动台架规格时,请按照前项中的「切带单元的更换」,取下切带单元。
1) 请断开电源,确认真空泵处于未开动状态。
(开动后很快会发烫,务请注意。
2) 请取下前侧①和后侧②的护罩。
3)取下前侧的真空泵护罩。
4) 拆下连接在真空泵上的气管、成捆电线(电源、地线)
5)取下固定真空泵托盘前侧的圆头螺钉③。
6)拧松固定真空泵托盘后侧的凸缘螺母④。
7)将真空泵从前侧拉出。(拉出时请注意成捆的电线。
前侧
后侧
取下气管的位置
缆线捆束线
前侧
后侧
1 部 基本編 第 3 章 维护
3-51
密封的更换
1) 取下泵头护罩的 4 个(左右合计共 8 个)内六角螺栓(M5×20)
2) 取下泵头护罩内测的黑色
密封 2 个,更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内,请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3) 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20) 5.0Nm 对角拧紧。(在更换其它消耗部件时,
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工工序项目)
更换 O S-67
1) 用与更换密封圈同一要领,卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的O环 S-67 有时会粘连在一起,
遇此情况请抓住泵头盘向上提,碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后,再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气
泵头盘
O
S-67
泵头盘
1 部 基本編 第 3 章 维护
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2) 将碗形密封气缸上部的 O S-67,换上新的 O 环。
※请按照密封圈的更换顺序,安装护罩。更换其它消耗部件时,请不要关闭护罩,参照各部位的更换
步骤操作。
更换 O P-10
1) 用与更换密封圈同一要领,卸下泵头护罩和泵头盘。
2) O P-10 安装到位于连接泵头护罩之间的连接管。事先,请确认 O 环上涂有真空黄油。
3) 更换中,请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。1 根管内有 2 个)
※护罩的安装,请按照密封圈的更换顺序进行。在更换其它消耗部件时,请不要关闭护罩,参照各
部位的更换步骤操作。
O 环 S-67
碗形密封气缸
O 环 P-10 连接管