KE-3010_20V_使用说明书.pdf - 第398页
第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-56 3-9 管道系统图 （ 1 ）管道系统图（主机） a- （正气压） <M 、 L 、 L-Wide 基板规格 > X p lastic rail X p lastic rail Y p lastic rail Y p lastic rail 【OUT】 【IN】 车间推车气压 后侧 车间推车气压 前侧 Y形三通接头 Y形三通接头 驱动气缸 后侧 切带器(OP） 台架升降机 （O…
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-55
真空泵分解图
No. 名称 No. 名称
1 壳 10 O 环 S-67
2 泵头护罩 11 密封圈
3 泵头盘 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O 环 P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（M5×20）
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-56
3-9 管道系统图
（1）管道系统图（主机）
a-（正气压） <M、L、L-Wide 基板规格>
X
p
lastic rail X
p
lastic rail
Y
p
lastic rail Y
p
lastic rail
【OUT】
【IN】
车间推车气压
后侧
车间推车气压
前侧
Y形三通接头 Y形三通接头
驱动气缸
后侧
切带器(OP）
台架升降机
（OP）
传送电磁阀
Y形三通接头 MTC IF板
MTS IF板
Y形三通接头 Y形三通接头
驱动气缸
前侧
贴片头上升气缸 HEAD正圧
插头φ8
减压弯头
减压弯头
减压弯头
正压计
ATC
Y形三通接头
插头φ8
空气供给
插头
指状阀
气源处理联件
歧管
节流器
节流器
节流器
插头φ8
调压器
異型接头
異型接头
直接接头
直接接头
直接接头
直接接头
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-57
a-（正压） <XL 基板规格>
X
p
lastic rail X
p
lastic rail
Y
p
lastic rail Y
p
lastic rail
【OUT】
【IN】
HEAD正圧贴片头上升气缸
直接接头直接接头
切带器(OP）
车间推车气压
前侧
台架升降机
（OP）
Y形三通接头 Y形三通接头
驱动气缸
后侧
车间推车气压
后侧
SOT方向检査台三通
Y形三通接头
锁罩 后
传送电磁阀
锁罩 前
ATC
異型接头
助焊剂涂敷装置
调压器
插头φ8 Y形三通接头 Y形三通接头
驱动气缸
前侧
Y形三通接头 MTC IF板
减压弯头
MTS IF板
插头φ8
插头φ8
减压弯头
减压弯头
节流器 正压计
直接接头直接接头
节流器
Y形三通接头 異型接头
Y形三通接头 节流器
歧管
空气供给
插头
节流器 三通
CAL模玦
指状阀
气源处理联件