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第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-61 (3) 管道系统图(统一更换台) No. 货 号 品 名 ① P A630750300 AIR CYLINDER ② PC015203000 SPEED CONTROLLER ③ PV0151 170A0 SELECT OR ④ PX055104000 SILENCER ⑤ PV010505000 MECHANICAL V AL VE ⑥ PX050501000 SILENCER ⑦ 40…

第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-60
(2) 管道系统图(Head)
第
7
排
第
1
排
过滤器
吸嘴
压力
传感器
V:从负压(φ8)真空泵 V:从负压(φ8)真空泵
P:从正压(φ8)真空泵
大气开放
气缸 气缸
气缸
检查阀
P:从正压(φ6)空气单元

第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-61
(3) 管道系统图(统一更换台)
No.
货 号 品 名
①
PA630750300 AIR CYLINDER
②
PC015203000 SPEED CONTROLLER
③
PV0151170A0 SELECTOR
④
PX055104000 SILENCER
⑤
PV010505000 MECHANICAL VALVE
⑥
PX050501000 SILENCER
⑦
40094346 CHECK_VALVE
⑧
40094347 CYLINDER CM2B40-75
⑨
40094348 CYLINDER CDM2B40-200
⑩
PV010505100 MECHANICAL VALVE
⑪
40094349 AIR_OPE_VALVE
<机械更换台、电动更换台通用规格>
前侧
后侧
通向歧管
台架支撑气缸
台架气缸
台架气缸
台架支撑气缸
台架
SW
DC
升降气缸
A
C
阀
1
A
C
阀
2
台架支撑气缸
台架支撑气缸
台架气缸
台架气缸
台架
SW
DC
升降气缸
A
C
阀
2
A
C
阀
1

第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-62
<电动更换台专用规格>
前侧
后侧
通向歧管
台架支撑气缸
台架支撑气缸
台架气缸
台架气缸
台架
SW
台架支撑气缸 台架支撑气缸
台架气缸
台架气缸
台架
SW
<机械更换台专用规格>
后侧
前侧
通向歧管
台架气缸 台架气缸
台架
SW
台架
SW
台架气缸
台架气缸