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第 2 部 功能详解编 第 9 章 手动控制 9-59 9-9-4 真空泵控制 从下拉菜单中选择 “ 其他 (O)”-“ 真空泵控制 (P)” , 或选择命令按钮中的 “ 真空泵控制 ” 后, 可显示真空泵控 制画面。 (1) 控制按钮 选择 “ON( 0 )” 按钮、 “OFF ( F )” 按钮、 “ON/OFF ( / ) ” 按钮,或按下 “F3” 键、 “F4” 键、 “F5” 键来进行控制。

第 2 部 功能详解编 第 9 章 手动控制
9-58
9-9-3 校准台控制
从下拉菜单中点击“其他(O)”-“校准台控制(C)”,或点击命令按钮中的“校准台控制”后,可显示校准台控
制画面。
(1) 控制项目
通过单选按钮选择控制项目。
选择“ON (O)”按钮、“OFF(F)”按钮、“ON/OFF (/)”按钮或按下“F3”键、“F4”键、“F5”键来进行控
制。
1) LED 控制
控制 LED 的 ON/OFF。
2) 真空控制
控制真空的 ON/OFF。

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9-59
9-9-4 真空泵控制
从下拉菜单中选择“其他(O)”-“真空泵控制(P)”,或选择命令按钮中的“真空泵控制”后,可显示真空泵控
制画面。
(1) 控制按钮
选择“ON(0)”按钮、“OFF (F)”按钮、“ON/OFF(/)”按钮,或按下“F3”键、“F4”
键、“F5”键来进行控制。

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9-9-5 其他传感器
从菜单中选择“其他(O)”-“其他传感器(O)”,或选择命令按钮中的“其他传感器”后,可显示其他传感器画
面。
(1) 状态的显示
显示各传感器的状态。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响(没有选中(不使用)单元的状态也会显示)。
传感器的状态显示,会连续读入状态和显示。