KE-3010_20V_使用说明书.pdf - 第401页
第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-59 b- 负压 <XL 基板规格 > X Plastic rail X Plastic rail 出 口 出 口 X Plastic rail X Plastic rail Y Prastic rail Y Plastic rail L側 HEAD R側 弯头 弯头 弯头 直接接头 直接接头 弯头 弯头 直接接头 直接接头 弯头 弯头 真空泵 减压计 負圧計 插头φ8 万能弯头
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-58
b-负压 <M、L、L-Wide 基板规格>
X Plastic rail
出口
X Plastic rail X Plastic rail
Y Prastic rail Y Plastic rail
真空泵
负压计
弯头
R側L側 HEAD
弯头
直接接头
直接接头
弯头
直接接头
弯头
插头φ8
万能弯头
减压计
弯头
直接接头
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-59
b-负压 <XL 基板规格>
X Plastic rail X Plastic rail
出
口
出
口
X Plastic rail X Plastic rail
Y Prastic rail Y Plastic rail
L側 HEAD R側
弯头
弯头 弯头
直接接头 直接接头
弯头 弯头
直接接头 直接接头
弯头 弯头
真空泵
减压计 負圧計
插头φ8
万能弯头
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-60
(2) 管道系统图（Head）
第
7
排
第
１
排
过滤器
吸嘴
压力
传感器
V：从负压（φ8）真空泵 V：从负压（φ8）真空泵
P：从正压（φ8）真空泵
大气开放
气缸 气缸
气缸
检查阀
P：从正压（φ6）空气单元