CUS1_ProgramingTool.pdf - 第192页

3-36 3 4 确认最优化的结果。 最优化的结果显示在跟踪栏。 如在「通用设置」中设置了保存结果信息,还可以按 [ 显示结果 (W)] 按钮,确认最优化的结果。 最优化结果的显示 显示最优化的结果 661C1-S1-00 参考 点击 [ 执行 CT 推测 (T)] 按钮,可以确认最优化后的推测周期等内容。

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4.执行最优化
设置完最优化的条件后,执行基板程序的最优化。
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要点
如要保存最优化的结果信息,必须在执行最优化之前将结果信息设置为保存。参照本章「3.4 通用设置」
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选择要执行最优化的已设置文件。
将光标对准「已设置过最优化条件的基板列表」中要执行最优化的文件,点击 [ 右箭 ] 按钮。所选择的文
件名显示在右侧「执行最优化的基板列表」中。
参考
选择「文件 (F)」菜单的「添加到列表中 (A)」,点击工具栏的 [ 添加设置 ] 按钮或双击对象基板都可以进行相同操作。
按此按钮后,读入左侧列表中光标选中的基板程序
基板名显示在右侧的列表中
选择要执行最优化的文件
设置最优化的方法
双击可以打开
「最优化的设置」画面
双击可以读入至
右侧的「执行最优化的基板列表」
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2
设置最优化的方法。
设置为「单独」或「依次」
3
[ 执行最优化 (E)] 按钮,执行最优化。
对所选的全部基板程序执行最优化并显示结果。
最优化的结果在最优化作业完毕时自动保存。
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确认最优化的结果。
最优化的结果显示在跟踪栏。
如在「通用设置」中设置了保存结果信息,还可以按 [ 显示结果 (W)] 按钮,确认最优化的结果。
最优化结果的显示
显示最优化的结果
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参考
点击 [ 执行 CT 推测 (T)] 按钮,可以确认最优化后的推测周期等内容。
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在送料器查看器画面确认最优化结果时
「基板列表窗口」中的「最优化结果」栏有「成功」或「失败」显示的基板,可以确认最优化的结果。
从「基板列表窗口」中选择要确认结果的基板后,选择「最优化 (O)」菜单的「显示最优化结果 (R)」,会显示「最优化结果」
画面。
最优化结果的确认
最优化结果为「成功」的例
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