KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04.pdf - 第649页
9 - 34 9-3-5. 基板吸着制御 基板吸着制御 基板吸着制御 基板吸着制御 [ 制御 （ C ） ][ 搬送系 （ C ） ] [ 基板吸着制御 （ P ） ...] を選択すると、 下記の基板吸着制御のダイアログが 表示されます。 図 図 図 図 9-3-5 基板吸着制御ダイアログ 基板吸着制御ダイアログ 基板吸着制御ダイアログ 基板吸着制御ダイアログ（表示例． （表示例． （表示例． （表示例． KE-2020 …
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2) 原点復帰
可動ステーションの原点復帰します。
制御項目の“原点復帰”がチェックされているときに＜実行（1
）＞ボタンを選択するかまた
は，Ｆ３キーを押して制御します。
3) 可動ステーション移動
可動ステーションを移動します。
制御項目の“可動ステーション移動”がチェックされているときに＜実行（1
）＞ボタンを選
択するかまたは，Ｆ３キーを押して制御します。
(3) 状態表示
各ユニットの状態を制御完了時に表示します。
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9-3-5. 基板吸着制御
基板吸着制御基板吸着制御
基板吸着制御
[制御（C）][搬送系（C）] [基板吸着制御（P）...]を選択すると、下記の基板吸着制御のダイアログが
表示されます。
図
図図
図 9-3-5 基板吸着制御ダイアログ
基板吸着制御ダイアログ基板吸着制御ダイアログ
基板吸着制御ダイアログ（表示例．
（表示例．（表示例．
（表示例．KE-2020）
））
）
ＫＥ−２０３０を除く機種に適用します。
(1) 制御項目
制御項目をラジオボタンにより選択します。
注意
注意注意
注意 :
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（2）制御ボタン
制御ボタンにより制御項目を実行します。
制御ボタンの表示は、制御項目により異なります。
1）バキューム制御
バキュームテーブルのバキュームの ON／OFF を制御します。
制御項目の“シリンダ制御”がチェックされているときに＜ON（O
）＞ボタン、＜OFF（F）
＞ボタン、＜ON／OFF（/
）＞ボタンを選択するかまたは、F3 キー、 F4 キー、 F5 キーを
押して制御します。
◇状態表示は、制御完了時に更新されます。
2）ブロー制御
バキュームテーブルのブローの ON／OFF を制御します。
制御項目の“シリンダ制御”がチェックされているときに＜ON（O
）＞ボタン、＜OFF（F）
＞ボタン、＜ON／OFF（/
）＞ボタンを選択するかまたは、F3 キー、 F4 キー、 F5 キーを
押して制御します。
◇状態表示は、制御完了時に更新されます。
3）バックアップ
バックアップテーブルの上／下を制御します。
制御項目の“バックアップテーブル”がチェックされているときに＜上（U
）＞ボタン、＜下
（D
）＞ボタン、＜上／下（/）＞ボタンを選択するかまたは、F3 キー、 F4 キー、 F5 キー
を押して制御します。
（3）状態表示
各ユニットの状態を制御完了時に表示します。