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NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-0 2 个别 准备 2-5-3 -3 ENABLING ● 基板支撑块下降。 15 操作篇 2-5-3 基板支撑销的安装 2
NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02
2-5-3-2
至步骤
15
5
6
4
OFF
SERVO
7
SERVO
ON
13
12
14
把棉纱布盖到多
功能识别照相机
上
ENABLING
安装交换台车
(→『维修保养篇』
P.3-2)
前侧
卸下供料器工作台
盖
NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02
个别
准备
2-5-3-3
ENABLING
●基板支撑块下降。
15
操作篇
2-5-3
基板支撑销的安装 2
NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02
2-5-4
个别
准备
对传送带宽度的调整方法进行说明。
●变更为小基板时，请卸下基板支撑块、支撑销。
●请不要用手转动皮带来改变传送带的宽度。(否则有可能会导致基板检测无法正确进行。)
2
5
1
1
2
4
+
(传送轨道的宽度被调整)
■调整生产数据的基板宽度时
(调整宽度的数值栏，显示生产数据的
基板宽度)
■输入新的基板宽度时
(显示数字键画面)
输入基板宽度
5
6
7
确认提示
+
(会显示下一个操作画面)
可以轻触
5
3
3
7
■取消时
4
顺序
按准备下一步进行操作的按钮
操作篇
2-5-4
传送带宽度的调整