N7201A587C.pdf - 第187页
NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02 2-5-8 -6 确认支撑销的数量 1 1 + 输入设备内的支撑销数量 (XY 单元退避，成为可以增减支撑销的状 态 ) 当为双轨模式时，请在需要注册销的 轨道上切换轨道显示图标 。 ( → P2-2-1- 9 ‘ 轨道切换按钮 ’) 3 3 + ■设备内配置的支撑销的数量和登录的支 撑销使用数量不同时 ●重新登录或者设置，使两者数量相 同。 ( 确认支撑销的数量和位置，信息被更新 )…
NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02
个别
准备
2-5-8-5
支撑销(自动更换用)的安装 3
●基板支撑块下降。
17
ENABLING
●然后，确认在基准位置实际配
置的支撑销数量和设备内保持
的支撑销数量。
支撑销(自动更换用)的安装 3
操作篇
2-5-8
NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02
2-5-8-6
确认支撑销的数量
1
1
+
输入设备内的支撑销数量
(XY单元退避，成为可以增减支撑销的状
态)
当为双轨模式时，请在需要注册销的
轨道上切换轨道显示图标。
(→P2-2-1-
9 ‘轨道切换按钮’)
3
3
+
■设备内配置的支撑销的数量和登录的支
撑销使用数量不同时
●重新登录或者设置，使两者数量相同。
(确认支撑销的数量和位置，信息被更新)
4
4
在以下步骤说明中，画面采用了长规格的示例，短规格的步骤也与此相同。
2
2
NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02
个别
准备
2-5-8-7
支撑销的更换
1
1
+
请事先读入有支撑销配置信息的生产数据。
(把支撑销配置在生产数据的配置坐标的位
置。)
B
C
D
支撑销的状态
支撑销返回
支撑销返回基准位置。
重新配置支撑销
识别被配置的支撑销，如果配置位置在支
撑销偏位的容许范围外，需要重新配置。
C D
EB
E
删除支撑销信息
从设备取出支撑销时使用，执行后，配置
数据被清零。
●更换支撑销时如果紧急停止，支撑销可
能会落下，不可直接再启动。或者将脱
落的支撑销重新设置到主站上，或者更
换上新的支撑销。
●支撑销更换时如果打开安全盖，同时需
要更换。
■支撑销使用数量比生产数据上配置的数
量多时
生产时不使用的支撑销，设备根据基板
尺寸判断数量，使其自动退避到基板的
范围外。
*请不要超出在(支撑销持有数)-(生产
数据上的配置数量)
(→P2-5-8-
10)所示的可退避销的数量。
■支撑销使用数量比生产数据上配置的数
量少时
会显示错误，需要变更支撑销使用数量。
※分别用颜色表示支撑销的状态
主: 支撑销在基准位置。(以黄绿色显示)
配置: 支撑销在生产数据的配置坐标位置。
(以蓝色显示)
不定: 支撑销的状态，不在基准位置也不
在配置位置，处于不明状态。
(以黄色显示)
无: 没有支撑销。(以灰色显示)
支撑销(自动更换用)的安装 4
操作篇
2-5-8