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NPM-D3 EJM6DC-MB-04O-02 4-5-2 -3 再投入用条形码的读取画面 读取条形码后，即可进行下一个基板 的生产。 A A 确认提示 ●在可读取条形码的状态下，将显示 “等 待读取不良基板条形码”，使用扫描 器 读取再投入用条形码。 ●完成条形码的读取后，这个信息消 失。
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4-5-2-2
配置有条形码扫描器时的
运用 2
不良基
板处理
操作篇
4-5-2
3
1
抽出不良基板
读取在LNB设定的
“再投入基板ID”
5
保管基板
2
在基板上粘贴再投
入用条形码
检查排出传送带
●之后通过手动进行调整。
6
重新开始生产
●将重新开始搬送开关
置于ON。
●直到读取了条形码，不会
排出下一个不良基板。
不良基板
基板
条形码
4
读取再投入用条形
码
条形码
扫描器
再投入基板ID
条形码
扫描器
这是抽出检查结果为不良的基板后，进行手动调整并暂时保管基板的作业。
不良基板的抽出与条形码的粘贴作业
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再投入用条形码的读取画面
读取条形码后，即可进行下一个基板的生产。
A
A
确认提示
●在可读取条形码的状态下，将显示“等
待读取不良基板条形码”，使用扫描器
读取再投入用条形码。
●完成条形码的读取后，这个信息消失。
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配置有条形码扫描器时的
运用 3
不良基
板处理
操作篇
4-5-2
1
●上游侧的基板搬出停止，设备转
为单一停止状态。
●存在搬入完毕的基板时，搬出这
个基板后再转为单一停止状态。
在这里，对从检查排出传送带抽出不良基板后，以手动进行调整之后再次搬入的方法加以说明。
2
确认提示
再投入手动调整基板时的作业流程
“请扫描条形码”
9
■中止再投入时
开始生产
ENABLING
START
开始基板传送
●重新传送开关置于ON，开
始进行再投入传送带上的
基板传送。
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