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NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02 个别 准备 2-5-8 -3 9 在基板支撑块 ( 自动更换用 ) 上设置支撑销 ●设置支撑销时，必需设置在基准位置。 ( 可能与传送带 有干扰 ) ●在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销 。 (在进行配置动作 时，有可能会发生与所吸附支撑销相 干涉的危险。) ●基板流向是左 → 右时，从右端按顺序设置。 基板流向是右 → 左时，从左端按顺序设置。 ●单轨模式时，只设置在固定轨道侧 。…

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卸下基板支撑块(自动更换用)
基板支撑块(自动更换用)
●用双手向上慢慢卸下。
●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识别照相机
(LED照明上) 。
●按照相同方法取下各个轨道。
顺序
9
●拉出基板支撑块(自动更换用)。
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个别
准备
2-5-8-3
9
在基板支撑块(自动更换用)上设置支撑销
●设置支撑销时，必需设置在基准位置。(可能与传送带有干扰)
●在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销。 (在进行配置动作
时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●基板流向是左→右时，从右端按顺序设置。
基板流向是右→左时，从左端按顺序设置。
●单轨模式时，只设置在固定轨道侧。
支撑销(自动更换用)的安装 2
左 右流向
后侧
前侧
单轨模式的配置
前侧
轨道2
轨道1
双轨模式的配置
前侧
4321
･･･
4321
･･･
4321
･･･
右 左流向
后侧
前侧
单轨模式的配置
前侧
轨道1
双轨模式的配置
前侧
4321
･･･
1234
･･･
1234
･･･
轨道2
螺栓
支撑销(自动更换用)的安装 2
操作篇
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安装基板支撑块(自动更换用)时，注意请勿倾斜安装
(可能与轨道有干扰)
●设置支撑销时，注意请勿碰撞到轨道等。
●设置好基板支撑块后，将支撑销安装到螺栓侧，并确
认支撑销紧靠螺栓。
12 11
取下棉纱布
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ENABLING
15 16
14
SERVO
ON
顺序
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安装交换台车
(→『维修保养篇』
P.3-2)
前侧
安装供料器工作台
盖