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NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-0 2 个别 准备 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 1 1 ENABLING 卸下基板 2 ENABLING 3 OFF SERVO 5 4 7 6 2-5-8 -1 前侧 ●基板支撑块上升 用棉纱布盖在多功 能识别照相机上 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 1 卸下更换台车 ( → 『维修保养篇』 P.3-2) 卸下供料器工作台 盖 操作篇 2-5-8

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1
1
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排出确认时的确认作业
1
+
■现在温度比动作时温度差警告判定值(判定参数)大时
(只限温度警告确认的选项被设定为ON 时)
1
■没有设置擦拭站的时候
1
+
■当在擦拭站上没有设置缓冲材时
●确认擦拭站的设置状态。
●选择 时，只会排出材料。
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个别
准备
支撑销(自动更换用)的安装 1
1
ENABLING
卸下基板
2
ENABLING
3
OFF
SERVO
5
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7
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前侧
●基板支撑块上升
用棉纱布盖在多功
能识别照相机上
支撑销(自动更换用)的安装 1
卸下更换台车
(→『维修保养篇』
P.3-2)
卸下供料器工作台
盖
操作篇
2-5-8
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卸下基板支撑块(自动更换用)
基板支撑块(自动更换用)
●用双手向上慢慢卸下。
●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识别照相机
(LED照明上) 。
●按照相同方法取下各个轨道。
顺序
9
●拉出基板支撑块(自动更换用)。