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NPM-D3 EJM6DC-MB-03O-0 2 3-2-16 -2 3 从设备上抽出发生错误的基板 4 确认已抽出后 ( 将会开始生产 ) 5 发生基板位置错误后 5 +
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生产
信息
基板弯曲检测错误 1
3-2-16-1
在这里对基板弯曲检测错误的处理方法进行说明。
1
●错误的种类共有下述五种。
A:基板弯曲范围超限、B:基板弯曲预计范围异常、C:基板弯曲结果倾斜异常、D:基板弯曲计测错误、
E:基板弯曲补正不可
●当发生基板弯曲检测错误时，请根据错误种类实施下述四种操作。
①重新计测基板弯曲形状
返回到主菜单后，重新开始生产
②抽出错误基板
按照下述流程实施操作
+
2
2
(返回到主画面)
1
操作方法 错误种类
①
重新计测基板弯曲形状
A、B、C
②
抽出错误基板
A、B、C
③
变更基板弯曲倾斜容许值
C
④
基板弯曲计测校正
A、B、C、D、E
操作篇
3-2-16
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3-2-16-2
3
从设备上抽出发生错误的基板
4
确认已抽出后
(将会开始生产)
5
发生基板位置错误后
5
+
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生产
信息
基板弯曲检测错误 2
3-2-16-3
6
(将删除错误发生位置的基板信息)
7
6
(返回到生产准备动作画面)
8
7
8
操作篇
3-2-16
+
●完成了基板抽取作业。
(开始生产)